【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４と反射膜間ギャップＧ１を介して対向する可動反射膜５５と、反射膜間ギャップＧ１を変化させる静電アクチュエーター５６と、可動基板５２にに設けられ、接地された可動電極５６２と、を備え、可動電極５６２は、平面視において、光干渉領域Ａｒ１を覆って可動基板５２に設けられ、可動反射膜５５は、可動電極５６２を介して可動基板５２に設けられ、固定反射膜５４は、可動電極５６２に電気的に接続された。 （もっと読む）

【課題】実験室や実験室以外、またはその両方の条件下で使用される、合理的に良好に性能を果たす、サブミリ周波数帯域のための効率的かつ正確な較正標準を提供する。
【解決手段】主要吸収体７と、二次吸収体６とを備える、較正用黒体標準器であって、主要吸収体７は、空洞３に含まれ、二次吸収体６が、空洞３に含まれ、かつ二次吸収体６が、主要吸収体７を備える空洞３を囲繞するように配設される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、複数の異なる種類の光ファイバを用いて測定を行なえる光スペクトラム測定装置を提供する。
【解決手段】光バンドパスフィルタの中心波長を変化させ、被測定光の光スペクトラムを測定する光スペクトラム測定装置であって、異なる種類の光ファイバに対応した複数個の光コネクタと、分岐側の各光ファイバが複数個の光コネクタとそれぞれ接続し、バンドル側が光バンドパスフィルタの光入力端に接続したバンドル光ファイバと、を備えた光スペクトラム測定装置。 （もっと読む）

【課題】１次元に並んだ複数の領域の分光情報と位置情報を一度に精度良く取得することが可能な分光特性取得装置を提供すること。
【解決手段】本分光特性取得装置は、画像担持媒体へ光を照射する光照射手段と、前記光照射手段から前記画像担持媒体に照射された前記光の反射光を、複数の開口部を有する開口部列により複数の領域に分割する領域分割手段と、前記領域分割手段により複数の領域に分割された前記反射光を波長に応じて異なる方向に伝播し、前記複数の開口部に対応する複数の回折像を形成する分光手段と、前記分光手段により形成された前記複数の回折像を２次元に配列された複数の画素で受光する受光手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に犠牲膜を形成する工程（ａ）と、第１の膜であって、基板に接続された第１の部分と、犠牲膜の上方に位置する第２の部分と、第１の部分及び第２の部分の間に位置する第３の部分と、を含み、且つ、第３の部分の一部、又は、第２の部分と第３の部分との境界部分に、第１の部分より膜厚が薄い領域を有する第１の膜を形成する工程（ｂ）と、犠牲膜を除去する工程（ｃ）と、工程（ｃ）の後に、膜厚が薄い領域において第１の膜を曲げて、第１の膜の第２の部分を基板に対して傾斜させる工程（ｄ）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】焦点合わせに要する時間を短縮できる分光撮像装置を提供する。
【解決手段】被写体からの光を集光する集光レンズ１０と、集光された光のうち、被写体のライン状領域からの光を通過させるスリット２１ａが形成された遮光部材２１と、分光手段２２と、光の強度をライン状領域の長手方向の位置及び波長ごとに検出することにより、ライン状領域の画像を取得する光検出手段２６と、光検出手段からライン状領域の画像を順次受け付けて、撮像領域の画像を取得する画像取得部４１と、被写体に対する集光レンズ、スリット、分光手段又は光検出手段の光軸方向の相対距離を変更して、画像の焦点を合わせる焦点合わせ手段３０とを具備し、画像取得部が、焦点を合わせようとする部分を含み被写体における撮像領域よりも狭い領域の画像を、相対距離を設定して取得し、狭い領域の画像の焦点が合うときの相対距離で、撮像領域の画像を取得するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。
【解決手段】窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し、ウェッジプリズム型試料７の第１面７０１で反射した後に窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束か、または窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し第１面７０１から試料７内部に入射し第２面７０２の裏面で反射した後に第１面７０１を経て試料７外部へ射出し、窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束が、コリメータ部５に戻りコリメータミラー５０２で集光された後にミラースリット５０１のミラー面５０１ａで反射された光束を受信する測定光デテクタ１１と、試料回転ステージ８の回転制御を行い、測定光デテクタ１１からの出力と回転角度検出部８ａで検出された試料回転ステージ８の回転角度との関係に基づき、試料７の屈折率を算出する解析制御部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】露光処理の処理期間に光学基板の面間隔が変動せず、分光精度の高い画像を取得でき、高速で波長を切り替えて複数の波長からなる動画を取得しても、波長分解能が高いエタロン型の可変分光素子を用いた分光画像装置の提供。
【解決手段】対向する光学基板の面間隔を可変として複数の波長を選択して透過させる可変分光素子１、撮像素子２、撮像素子からの信号を用いて画像を生成する分光画像生成部３を有する分光画像装置であって、複数の波長の値を入力するための入力部４、入力された波長の値に基づいて光学基板間の面間隔を制御する面間隔制御部５、入力された複数の波長の値を用いて面間隔制御部に対し、撮像素子による当該時点での対象となっている波長での露光処理期間の終了よりも早い所定時期に、撮像素子による次の対象となる波長に対する光学基板間の面間隔制御の開始を指示する開始時期制御部６を有する。 （もっと読む）

【課題】光学ビームの周波数を安定化する分光器アセンブリを提供する。
【解決手段】分光器アセンブリ７は熱分離プラットフォーム４００、ガス４１を囲い、熱分離プラットフォームに取り付けられるガス参照セル４０を含み、ガス参照セルは、少なくとも１つの光学透明窓４１５、囲まれるガスの温度を上昇させるように構成される少なくとも１つのヒーターを備える。ビームスプリッタ３０が、レーザー１０から放射される入力光学ビームの一部が反射されてガス参照セルの少なくとも１つの光学透明窓に入射するように構成される場合、入力光学ビーム２０の反射された部分は、ガスを二度通過する。検出器３５０がガスを二度通過した光学ビームを受け取るように構成される場合、レーザーを安定化させるために、レーザーにフィードバック信号５０が提供される。 （もっと読む）

【課題】ラインイメージセンサーと同等の機能を有する比較的安価な受光装置を提供する。
【解決手段】所定の波長域に渡り分光された光の波長を検出する受光装置１０であって、ホトデテクター１４２と、ホトデテクター１４２に入光する光を規制する開孔１４３ａを有するマスク１４３を備えた受光手段１４と、光を波長域に渡り分光した回折光を受光手段１４に向ける回折格子１１と、回折格子１１を作動し波長域に渡り分光した回折光を選択的に該マスク１４３の開孔１４３ａに位置付ける作動手段１２と、回折格子１１の作動位置を検出する位置検出手段１３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化すること無く選択波長の可変範囲を容易に広げること。
【解決手段】この分光装置は、光源からの光Ｌ２を、光Ｌ２の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させる４枚のバンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄと、バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄが主面１０ａ上に立設され、主面１０ａに沿って回転中心Ｃ_１の周りを回転可能にされた平板状の回転テーブル１０とを備える分光装置であって、４枚のバンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄは、それぞれ、光入射面１２或いは光出射面１３が、回転テーブル１０の主面１０ａ上の回転中心Ｃ_１と主面１０ａ上の該バンドパスフィルタ１１ａ〜１１ｄの中心点１５ａ〜１５ｄとを結ぶ線に対して傾斜するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】反射率の低い被計測物であっても輪郭を正確に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定の波長領域を有する光を照射し被測定物で反射した反射光と基準反射光との干渉光の各波長の光強度を検出して分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段を具備する３次元計測装置であって、被計測面が対物レンズの集光点位置と一致するように予め波形解析後の光強度のピーク位置と共焦点位置の対応をとっておき、制御手段はイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、対物レンズの集光点位置に対応する光強度を位置付け手段によって特定されたX、Y座標におけるZ座標の光強度としてメモリに保存し、該メモリに保存されたX、Y、Z座標に基づいて３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】複数のＯＣＭを有する装置の小型化を図りつつクロストークを防止すること。
【解決手段】光チャンネルモニタは、偏波調整部、波長分離部、偏光分離部、第１強度検出部及び第２強度検出部を備える。偏波調整部は、波長多重光である第１光信号および第２光信号のうち第１光信号の偏波面を第１の方向に、第２光信号の偏波面を第１の方向と直交する第２の方向に調整する。波長分離部は、偏波面の方向が調整された第１光信号および第２光信号に多重化されている光信号それぞれを波長ごとに分離する。偏光分離部は、波長ごとに分離された光信号それぞれを、偏波面の方向に基づいて分離する。第１強度検出部は、分離された光信号のうち偏波面の方向が第１の方向である光信号を受光して第１光信号の強度を波長ごとに検出する。第２強度検出部は、分離された光信号のうち偏波面の方向が第２の方向である光信号を受光して第２光信号の強度を波長ごとに検出する。 （もっと読む）

【課題】応答速度が速く、小型の分光器を提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光器は、電気光学効果を有する電気光学結晶、および該電気光学結晶の内部に電界を印加するための電極対を含むビーム偏向器と、前記ビーム偏向器からの出射光を分光する分光手段と、該分光手段で分光された出射光の中から、任意の波長の光を選択する波長選択手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】少なくとも3つのカラーチャネルを含むフィルタ色測定デバイスのための較正方法を提供する。
【解決手段】カラーチャネルの出力信号を三刺激色値に変換するための較正行列が形成される。較正はスペクトル的に実行され、色測定デバイスのカラーチャネルのスペクトル感度、および一般的な光源のスペクトル放射特性が測定および記憶され、当該スペクトル感度および光源のスペクトル放射特性、ならびにCIE1931による標準観測者のスペクトル評価関数から較正行列が算出される。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板に設けられた第１，第２電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２電極と対向する第３，第４電極７２，７４とを有する。 （もっと読む）

【課題】入射光の入射制限角度を高精度に制御可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、受光素子（例えばフォトダイオード３０）と、受光素子の受光領域に対する入射光の入射角度を制限する角度制限フィルター４０と、を含む。入射光の波長をλとし、角度制限フィルターの高さをＲとし、角度制限フィルターの開口の幅をｄとする場合に、ｄ^２／λＲ≧２を満たす。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】基板の上方に第１の層を形成する工程（ａ）と、第１の層の上方に第２の層を形成する工程（ｂ）と、第２の層に、基板の面と交差する方向の端面を形成する工程（ｃ）と、第２の層の端面をエッチングすると同時に、第２の層の端面のエッチングによって露出した第１の層を順次エッチングする工程（ｄ）と、を含む。基板の面方向における第２の層のエッチングレートは、第１の層のエッチングレートより大きいことが望ましい。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）