【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット４０、第１色消しレンズ２０、グリズム１０、第２色消しレンズ３０、検出器５０を備える分光器で、第１色消しレンズ２０と、グリズム１０と、第２色消しレンズ３０は、ＬｉＦ、ＭｇＦ２から選ばれて形成される。第１色消しレンズ２０は、第１屈折レンズ２１と複数のバイナリ型回折格子を有する第１回折レンズ２２とを有する。第２色消しレンズ３０は、第２屈折レンズ３２と複数のバイナリ型回折格子を有する第２回折レンズ３２とを有する。グリズム１０は、第１色消しレンズ２０と第２色消しレンズ３０との間に設置され、プリズム１１と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子１２とを有する。第１回折レンズ２２のバイナリ型回折格子と、第２回折レンズ３２のバイナリ型回折格子と、グリズム１０の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は５ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像画素中に複数の焦点検出画素が散在する撮像素子において、撮像画素の出力信号の飽和に先立って焦点検出画素の出力信号が飽和することを低減することができる撮像素子を提供する。
【解決手段】分光測定装置は、光源からの光束を波長に応じた回折角で分光する回折素子と、回折素子によって分光された所定波長の光束を検出する検出器と、分光された所定波長の光束の進行光路中に配置され、所定波長を透過するが、所定波長の略半分の波長を減衰する波長透過特性を有するフィルターと、を備える。 （もっと読む）

【課題】光源の光量変化によるベースラインのドリフトを抑制し、待ち時間の少ない分析を行うと共に、分析の定量精度を向上させる。
【解決手段】光源１９と、前記光源から放出された光束が入射する試料用セル１８と、前記セルを通過した光の吸光度を検出する検知素子２１と、前記検知素子の信号を電圧に変換する光電流電圧変換回路と、前記光源の光量を補正するための光量補正回路を有するクロマトグラフ装置において、光源に少なくとも１つ以上のピーク波長を持つ複数個の発光ダイオードを用いる。 （もっと読む）

【課題】達成可能な冷却温度を適切に設定できる測光装置を提供する。
【解決手段】ステップＳ３において、ＣＰＵ１１は、ステップＳ２で読み取られた温度Ｔ１を、予め設定された基準温度Ｔｒと比較する。比較の結果、Ｔ１＜Ｔｒである場合には、温度Ｔ＿Ｌが達成可能と判定し、ステップＳ４へ進み、冷却温度を温度Ｔ＿Ｌに設定する。一方、比較の結果、Ｔ１＜Ｔｒでない場合すなわちＴ１≧Ｔｒである場合には、温度Ｔ＿Ｌが達成不可能と判定し、ステップＳ６へ進み、冷却温度を温度Ｔ＿Ｈに設定する。 （もっと読む）

制御偏光子（Ｐ２）及びビーム偏光子（Ｐ）を、任意に介在する制御補償子（Ｃ）と併用して適用することにより、電磁ビームの強度を波長スペクトルにわたって制御する、エリプソメーター又はポラリメーターのシステム及びその方法。
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【課題】移動鏡が高速で往復運動する際の振動を抑制し、装置の振動による測定精度の低下を回避する。
【解決手段】反射鏡６１とこれに釣り合う重量を有するボイスコイルモータ６２のムービングコイル６３とをパンタグラフ構造体６５で連結する。ムービングコイル６３に駆動電流を流すことで往復運動のための駆動力を与えると、パンタグラフ構造体６５を介して反射鏡６１はムービングコイル６３と反対方向で同じ距離だけ移動する。そのため、両者のバランスにより可動部全体の重心位置は殆ど変化せず、これにより振動の発生を軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であって安価且つ組み立て調整が容易な分光装置を提供する。
【解決手段】分光装置１０は、回折格子１３と反射光学系１５とを備えており、入射スリット１１からの被測定光を回折格子１３に入射させて得られた光を反射光学系１５で反射させ、この反射光を再度回折格子１３に入射させて被測定光を分光する。反射光学系１５は、凸面鏡と凹面鏡とを含み、被測定光を回折格子１３に入射させて得られた光を凸面鏡と凹面鏡との間で複数回反射させる。凸面鏡と凹面鏡との間の反射回数が奇数回である場合には、反射光学系１５は入射した光の分散方向を逆向きにして射出する。 （もっと読む）

本発明の原理によれば、層状格子干渉計は、放射線をその波長成分に細分する。格子の２組の歯は、互いに対して動かされる。干渉計のスペクトル出力は、諸検出器の配列上に集束され、格子歯の多数の位置に対してデータが記憶される。次いで、収集されたデータはフーリエ変換されて、放射線のスペクトルを回復する。
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【課題】検出器において、構造的に簡潔な手段で特に高速検出を達成させる。
【解決手段】少なくとも１つの光電面（９）を備えた光電性アレイ（１）を備え、光路内において光電性アレイ（１）の前方に、スペクトル分割された光を光電性アレイ（１）に合焦させるための合焦手段が配置されている検出器において、合焦手段が少なくとも１つのマイクロレンズ（８）を備えたマイクロレンズアレイ（２）である。 （もっと読む）

【課題】 分光器光学系設計の自由度を確保しつつ、スペースをとらない空間光学系分光器を提供する。
【解決手段】入力ポート１から放出された光は、リトローレンズ２により、反射式平面グレーティング３の１点に集光されて分光反射される。分光反射された光は、再びリトローレンズ３を通って平行光束とされ、リレー光学系アレイ４の入側端面に、入力ポート１の出力端面のスペクトラム像Ｏを形成する。リレー光学系アレイ４に入射する際、リレー光学系アレイ４の各アレイ要素に入射する光は、一定波長間隔毎に分割されて、各分割区分に対応するアレイエレメントに入射する。各アレイエレメントに入射した光は、分割された複数波長帯の中心波長に対応する、リレー光学系アレイ４の入側端面に形成された前記スペクトラム像の共約像Ｉを出力ポートアレイ５の入側端面に形成するが、その際、この共約像Ｉの像点間距離がほぼ等間隔となるようになる。 （もっと読む）

【課題】 結像位置と一致させたＰＤアレイを実現する。
【解決手段】 入射光を波長分散素子を備えた分光装置に入射し、この分光装置からの出力光を検出するフォトダイオードレイにおいて、該フォトダイオードアレイを構成するダイオード素子の配列をずらして配置した。 （もっと読む）

【課題】 従来の大型の分光器は，高性能であるが、装置が大きくなり高価であり，また小型分光器は価格も比較的安く簡単に使用できるが、検出器として用いられているリニアアレイディテクタが微弱光の検出には不向きで、光量が必要となる。またフィルターとＰＭＴとから構成されるものでは、所望の数の蛍光波長毎にフィルターとＰＭＴが必要となり，蛍光波長同士が近接している場合には，フィルターでは波長分離ができない場合もある。
【解決手段】 そこで本発明では、光検出器３に連なる光ファイバー２の端部５を，色収差レンズ１に対向させて，その光軸６に沿って移動可能に設置すると共に，その移動位置を制御可能な移動制御機構７を設け，光ファイバーの端部のコアの中心側に遮光部を設けた分光ユニットを提案する。光ファイバーは高ＮＡのマルチモードファイバーとするのが好ましい。 （もっと読む）

本明細書は、少なくとも１つの吸収最大値（ＡＢＳ）又は最小値が知られている、所定のガス（たとえば、ＣＯ２）を測定することを目的とする、測定デバイス内のファブリペロー干渉計のミラー間の距離の電圧感度を決定する方法を開示する。この方法によれば、少なくとも２つの較正点は、較正点（ＡＢＳ）の少なくとも１つが、被測定ガスの１つの吸収最大値（ＡＢＳ）についての制御電圧信号対に関する情報を含み、他のものが、基準測定値（ＲＥＦ）についての対応する対に関する情報を含むように、制御された条件で基準ガス（Ｎ２）を使用してデバイス固有に定義され、信号−制御電圧感度が、所定のガス（たとえば、ＣＯ２）について決定される。本発明によれば、「仮想」信号−制御電圧感度曲線、たとえば、直線は、基準ガス（たとえば、Ｎ２）を使用して形成された較正点を使用して形成され、所定のガス（たとえば、ＣＯ２）の測定点と基準ガス曲線の対応する値の比が形成され、最小値又は最大値に対応する少なくとも１つの電圧値は、比から定義され、この場合、被測定ガス（ＣＯ２、Ｎ２）の吸収最小値又は最大値の波長に基づいて、ミラー間の距離の電圧感度を明確に定義することができ、一般的なＦＰＩ電圧値（Ｖａｂｓ、Ｖｒｅｆ）に対して必要な補正を行うことができる。
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【課題】 操作が簡単で分析時間が短縮可能な分光光度計を提供する。
【解決手段】 試料２０を回転試料台１２に設置した後、試料室カバー１７を閉じる。このとき試料室１内部は暗室となるので、照明４により回転試料台１２に光を照射する。次に、分光器部７をパーソナルコンピュータ２４にて光束波長を目視可能な波長に設定し、光を発生させる。分光器部７からの光束が通過している部分をＣＣＤカメラ３で撮影し、ＣＣＤカメラ３からの映像を表示機２５に表示することにより試料２０と光束との位置関係を確認する。光束の位置を確認し、回転試料台１２およびステージ１３により試料２０を光束に対して所定の位置に移動した後、測定を開始する。測定開始直前に照明４は消灯する。測定開始後は回転試料台１２およびステージ１３が動作シーケンスファイルにしたがって連続的に測定点を移動させ、連続的な測定をおこなう。 （もっと読む）

【課題】ウェル中の液体試料の蛍光、リン光および吸収の検出に関する感受性（感度）および柔軟性を改善した分光光度計を提供する。
【解決手段】試料を分析するための吸収または発光測定を目的として、試料と相互作用させるためにウェルプレートのウェル3中に入れられた液体試料に実質的に単色の励起光ビームを向けるための光学系を有する分光光度計。この光学系は、2つの開口の共役像18，21の間の励起ビーム領域であるケーラー照明領域をウェル外部に確立するための2つの開口46，28を含む。次に、この励起ビーム領域は縮小され、ウェル3中で結像する10，9。本発明は、照射している励起光ビームのいずれの部分をもウェルが遮ることなく液体試料すべてが均一に照射されるように、ウェル空間の形状と一致するようなケーラー照明領域の形状を提供する。
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【課題】 高い波長精度を維持しながら、被測定光に対する連続測定が可能で、広い波長範囲を高速に測定できるようにする。
【解決手段】 被測定光Ｘとともに光強度が極大または極小となる波長が既知の基準光Ｒを可変波長フィルタ２５に入射させ、被測定光Ｘに対する可変波長フィルタ２５の出射光Ｘｃを第１の受光器５０で受け、基準光Ｒに対する可変波長フィルタ２５の出射光Ｒｃを第２の受光器５１で受け、第１の受光器５０の出力信号Ｐａと第２の受光器５１の出力信号Ｐｂとを、可変波長フィルタ２５の選択波長の情報に対応づけてメモリ５３、５４にそれぞれ記憶する。そして、波長情報補正手段５６により、被測定光Ｘのスペクトラムデータの波長情報を、基準光Ｒのスペクトラムデータと既知波長とに基づいて補正処理する。 （もっと読む）

【課題】 均一な角度分布を有する分光された光を取り出すことが可能な分光装置を提供する。
【解決手段】 光源１からの光は、楕円鏡３に入射する。楕円鏡３の第１焦点は光源１の位置に位置している。楕円鏡３で反射された光は、楕円鏡４で再び反射される。楕円鏡３の第２焦点位置は、楕円鏡４の第１焦点位置に一致している。そして、楕円鏡４の第２焦点位置は、分光装置の入側スリット５の位置に一致するようにされている。よって、光源１からの光は、入側スリット５上に集光される。この光学系においては、楕円鏡３と楕円鏡４が、いわゆる「軸外し」となっており、楕円鏡３と楕円鏡４で反射された光は、光源１で遮られることなく入側スリット５上に集光される。又、このように、軸外し楕円鏡を２つ使用することにより、入側スリット５に入射する光の強さの角度分布を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】波長特性測定を実施するにあたって、広い波長範囲にわたって高速かつ高い波長確度で波長トラッキングを行える波長特性測定装置を実現する。
【解決手段】波長特性測定装置は、信号光を出力する波長可変光源１０１と、信号光を被測定物１１４に入射して得られる被測定光のスペクトル分布を計測する光スペクトラムアナライザ１００とを備える。波長可変光源１０１からの信号光の信号光波長が分光器１０４の持つ平坦な波長透過特性となっている所定波長範囲内に収束するように、分光器１０４および分光素子１１９の角度をそれぞれ可変させるモータ１０６，１２０の回転速度を予め決めておき、これらのモータ回転速度に従ってモータ１０６，１２０を等速度回転させながら、抽出波長及び信号光波長を掃引波長範囲にわたって掃引する。 （もっと読む）

【課題】同時に多チャンネルで高分解能のスペクトル検出し、かつスペクトル検出器と情報処理装置との間につなぐ信号線の数をスペクトル検出器のＡ/Ｄ変換器の数より少なくした装置を提供する。
【解決手段】スペクトル検出器１０２に、光を導入する光入力部と、光入力部からの光を分光する分光素子１４と、分光素子１４により分光された光をスペクトル毎に検出しアナログ電気信号に変換する複数の受光素子と、サンプリング回路１６とを設ける。サンプリング回路１６は、複数の受光素子毎に接続され、接続されている受光素子からのアナログ電気信号をデジタル電気信号に変換する複数のＡ/Ｄ変換器と、複数のＡ/Ｄ変換器の各々が出力する複数のデジタル電気信号の入力を受付け、受付けた複数のデジタル電気信号を順次選択しＡ/Ｄ変換器の数より少ない出力端子を介して情報処理装置１０３に出力する信号処理部とを有する。 （もっと読む）