【課題】 高速で高感度な分光が可能であるとともに、分光可能な波長範囲が広く、かつ小型化を実現可能な分光装置を提供する。
【解決手段】 光源からの光が入力される光入力部１０２と、光学素子と、電気光学効果を有する材料で形成された屈折率変化領域１１９、及び屈折率変化領域１１９を挟むように電極１２０が配置された光偏向素子１０７と、波長選択性を有し、特定波長の光を共鳴反射する共鳴フィルタ１０８と、共鳴フィルタ１０８で反射された光を検出する光検出器１１４とを少なくとも備え、共鳴フィルタ１０８への光線の入射角及び共鳴フィルタ１０８の波長選択性の少なくともいずれかを変化させることにより、複数の波長帯域を分光することを特徴とする分光装置である。 （もっと読む）

【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】迅速なスペクトル特性の測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、光量を検出するディテクター１１と、測定対象光のスペクトル特性を測定する制御部２０と、を備え、制御部２０は、静電アクチュエーターに駆動電圧を印加して反射膜間ギャップを変化させるフィルター駆動部２１と、ディテクター１１により検出される光量を取得する検出光量取得部２３と、検出された光量の遷移状態及び可動基板が有する固有振動周期に基づいて、可動基板の振動中心に対応した光量を目的光量として取得する目的光量取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、波長可変干渉フィルター５により取り出された光の光強度を検出する検出部１１と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部２１及び電圧制御部１５と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部２２と、電圧監視部２２により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部１１により検出された光強度を取得する光強度取得部２４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】サイズと、重量と、コストとに関して、大幅に簡素化された、気体の検出用の３チャネルの分光計を提供する。
【解決手段】３チャネル分光計１００は、入射放射線１０１を受け取って、入射放射線の第１の部分と、第２の部分と、第３の部分とを透過するビームスプリッタ要素１０５と、第１の部分を受け取って、第１の波長の範囲の第１のスリット出力放射線を透過する第１のスリットと、第２の部分を受け取って、第２の波長の範囲の第２のスリット出力放射線を透過する第２のスリットと、入射放射線の第３の部分を受け取って、第３の波長の範囲の第３のスリット出力放射線を透過する第３のスリットと、第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、平行にする共通の光学フォーム１１１と、共通の光学フォームから、平行にされた第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、反射する分散要素１１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】精度の良い分光スペクトルを迅速に測定可能な分光測定装置、及び分光測定装置の制御方法を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、固定反射膜、可動反射膜、及び電圧印加により反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター５と、光の光強度を検出するディテクター１１と、測定対象光の分光スペクトルを測定する制御回路部２０と、を備え、制御回路部２０は、ピーク対応ギャップ量を検出するピーク検出部２３と、静電アクチュエーターに印加する電圧を設定するフィルター駆動部２２と、分光スペクトルを測定する分光測定部２４とを備える。フィルター駆動部２２は、ギャップ量を、定間隔ギャップ量及びピーク対応ギャップ量に段階的に変化させ、分光測定部２４は、各定間隔ギャップ量、ピーク対応ギャップ量に対する光強度を取得する。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高速、且つ小型化された分光光度計を提供する。
【解決手段】分光光度計は、円形アレイ状に配列された複数のＬＥＤ９０を含んでおり、各アレイは、パルス幅変調の使用によって確定される較正電力入力を有し、且つ、固有の蛍光燐光体被覆又はレンズの活用によって確定される固有の波長帯域を有している。ＬＥＤの内の少なくとも１つは、燐光体を含んでいない高エネルギーＵＶ ＬＥＤを備えている。分光光度計へと反射される光は、線形可変フィルター１１６と光検出器１１７を活用することによって所定の波長範囲に分割され、光検出器からのアナログ信号は、自動範囲設定利得技法を使用することによってデジタル値に変換される。 （もっと読む）

【課題】光の損失を抑制する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されたダイクロイックミラーアレイ２１と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと略平行に対面する反射部材２３と、を有する分光部５と、ダイクロイックミラーアレイ２１からの透過光を光電変換する光電面７と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍと、チャンネルＣ_ｍの各々に対応して設けられた複数のアノード１４とを有する光電子増倍管２と、を備え、分光部５は、ダイクロイックミラーアレイ２１と反射部材２３との間に透光性材料からなる透光ブロック２０を更に有し、透光ブロック２０の反射面２０ｃに反射部材２３が設けられ、反射面２０ｃと対向する分光面２０ｂにダイクロイックミラーアレイ２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分光装置における光学部材の位置調整を容易化する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列された分光部５と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対向して設けられた複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋを有する波長選択部２５と、光電面７、複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍ及び複数のアノード１４を有する光電子増倍管２と、波長選択部２５を筐体内で保持する保持部５０とを備え、保持部５０は、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋが一方向に配列された本体部５１と、本体部５１から互いに対向するように突出する一対の壁部５２，５２と、を含み、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの配列方向に沿って一対の壁部５２，５２の間に配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。また、任意の傾斜角度を有する光路を含む角度制限フィルターを製造する。
【解決手段】角度制限フィルターは、第１の開口部を有する第１の遮光層と、第２の開口部を有し、第１の遮光層の上方に位置する第２の遮光層と、を含み、第２の遮光層の上方から見て第１の開口部と第２の開口部とが一部重なり、且つ、ずれた位置に有するように、第１及び第２の遮光層が配置されている。分光センサーは、角度制限フィルターと、波長制限フィルターと、受光素子とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン５(波長可変干渉フィルター)は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１に設けられた固定反射膜５６と、可動基板５２に設けられ、固定反射膜５６とギャップを介して対向する可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた固定電極５４１と、可動基板５２に設けられ、固定電極５４１と対向する可動電極５４２と、を備え、可動電極５４２の固定電極５４１側の面には可動絶縁膜５４４が積層され、可動電極５４２は圧縮応力を有し、可動絶縁膜５４４は引張応力を有して構成された。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板２０に設けられた第１，第２固定電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２固定電極と対向する第１，第２可変電極７２，７４とを有し、第１、第２可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第２可変電極のスリット部を形成した。 （もっと読む）

【課題】空間的に小さな体積で済み、一体型で、振動にも強く、大きな電圧を必要とせず、持ち運びができる小型の分光器を提供する。
【解決手段】リニアセンサ１は、赤外線に感度のある複数の画素を所定のピッチで直線状に並べた構成の赤外線センサである。ファブリペロ干渉計２は、２枚の鏡が離間対向するように互いの両端が固定されており、リニアセンサ１を構成する複数の画素の配列方向と平行な方向に対して共振波長が変化する特性を有する。光線平行化装置３は、近赤外光を吸収する所定の厚みのシートにリニアセンサ１を構成する複数の画素の画素ピッチと同じ直径の孔が多数開けられた構成である。光学フィルタ４は、余計な波長の光がファブリペロ干渉計２に入射しないようにする。分光器１０は、人間の指などの被測定対象物７に光源６からの光を透過させることで、様々な情報を非侵襲で得ることができる。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線信頼性を向上でき、かつ基板の撓みをも抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動部５２１および保持部５２２を有する可動基板５２と、固定反射膜５６と、可動反射膜５７と、固定基板５１に設けられた第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４と、可動基板５２に設けられて各第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４にそれぞれ対向した第二電極５４７、５４７，５４６と、第一電極５４３Ａ、５４３Ｂ、５４４および第二電極５４７、５４７，５４６を接続する導電性部材５５と、を具備し、導電性部材５５は、平面視において、可動部５２１の中心点Ｏを中心とする仮想円Ｑ３の円周上に沿って等角度間隔となるように、可動基板５２の外周縁と保持部５２２の外周縁との間の領域内に設けられた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定電極５４１および可動電極５４２を備えた静電アクチュエーター５４を具備する。そして、固定電極５４１は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極５４３を備え、これらの固定部分電極５４３は、等角度間隔で配置され、可動電極５４２は、平面視において固定部分電極５４３と同一形状に形成され、かつ固定部分電極５４３と重なる複数の可動部分電極５４４を備え、互いに対向する固定部分電極５４３および可動部分電極５４４により部分アクチュエーター５５が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター５５は、２つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長可変バンドパスフィルタを用いた光スペクトラム測定装置及び光スペクトラム測定方法において、分解能が可変でありかつ分解能を狭くすることが可能でありかつ最大入力レベルを大きくすることを可能にすることを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、本願発明の光スペクトラム測定装置１０１は、遅延ループ光導波路１２に波長可変バンドパスフィルタ１４を挿入し、被測定光を波長可変バンドパスフィルタ１４にｎ（ｎは自然数。）回通過させる。さらに、遅延ループ光導波路１２と入力用光導波路１１とを入力側光スイッチ１３で接続し、波長可変バンドパスフィルタ１４に入力される被測定光を時間的に制限する。 （もっと読む）