【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】精度の良いスペクトル特性を測定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置１は、発光波長が異なる複数のＬＥＤを備えた光源部１６と、所定波長の光を選択して取り出す波長可変干渉フィルター５と、光量を検出するディテクター１１と、制御回路部２０と、を備え、制御回路部２０は、校正モード及び測定モードを切り替えるモード切替部２１と、校正モードにおいて外光の特性を解析する外光解析部２３と、外光の特性に基づいて各ＬＥＤの発光量を設定する基準光設定部２４と、測定モードにおいて設定された発光量に基づいて各ＬＥＤを駆動させる光源駆動部２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第１の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における２次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット１４０は、光を略平行光束にするコリメータ光学系１４１と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部１４８と、光路分割部１４８により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子１４３（１４３１〜１４３３）と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が２次元状に配置された受光器１４５と、分光素子からの分光光を受光器１４５の受光素子面に結像させる集光光学系１４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と回折効率をともに向上し、しかも反射損失を低減できる透過型回折格子を用いた分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】入射光を透過する透過型回折格子を含む分光装置であって、透過型回折格子は、基材１００より第１方向Ｘに沿って周期的に突出する複数の突起１１０を有し、複数の突起が傾斜面１４０を有し、傾斜面は、基材に垂直な基準線に対して傾斜し、透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線に対して角度βとする場合に、入射角度αは、傾斜面に対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度であり、複数の突起の各々は、傾斜面からの第１方向での距離が異なるに従い、複数の突起の各々と空気との界面に至る基材からの突出高さが異なる第１反射防止構造１５０（１６０）を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。
【解決手段】窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し、ウェッジプリズム型試料７の第１面７０１で反射した後に窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束か、または窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し第１面７０１から試料７内部に入射し第２面７０２の裏面で反射した後に第１面７０１を経て試料７外部へ射出し、窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束が、コリメータ部５に戻りコリメータミラー５０２で集光された後にミラースリット５０１のミラー面５０１ａで反射された光束を受信する測定光デテクタ１１と、試料回転ステージ８の回転制御を行い、測定光デテクタ１１からの出力と回転角度検出部８ａで検出された試料回転ステージ８の回転角度との関係に基づき、試料７の屈折率を算出する解析制御部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】応答性の向上した波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２と対向する面に形成された第１反射膜５４と、可動基板５２に設けられ、第１反射膜５４とギャップを有して対向する第２反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた第１電極５６１と、可動基板５２に設けられ、第１電極５６１と対向する第２電極５６２と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面に設けられ、固定基板５１と可動基板５２とを接合する接合部５３と、固定基板５１および可動基板５２の互いに対向する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた溝部５８と、を備え、第１反射膜５４と第２反射膜５５との間のギャップを形成する空間と外部とが溝部５８を介して連通している。 （もっと読む）

【課題】 外乱の影響を受けることなく正確に試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出することができる干渉分光光度計を提供する。
【解決手段】 往復移動可能な移動鏡２６２を有する移動鏡ユニット２６０と、固定鏡８５と、赤外光を出射する赤外光源部１０と、ビームスプリッタ７０と、試料を透過又は反射した光強度情報を検出する干渉光検出部２０と、移動鏡２６２の移動鏡速度情報を検出する移動鏡速度情報検出部３０と、光強度情報及び移動鏡速度情報を取得して、試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出する制御部５１とを備える干渉分光光度計１であって、目標移動鏡速度範囲を記憶する記憶部５２を備え、制御部５１は、移動鏡２６２の移動速度が目標移動鏡速度範囲から外れたときに得られた光強度情報を、試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出する際に採用しないようにする。 （もっと読む）

【課題】光学ビームの周波数を安定化する分光器アセンブリを提供する。
【解決手段】分光器アセンブリ７は熱分離プラットフォーム４００、ガス４１を囲い、熱分離プラットフォームに取り付けられるガス参照セル４０を含み、ガス参照セルは、少なくとも１つの光学透明窓４１５、囲まれるガスの温度を上昇させるように構成される少なくとも１つのヒーターを備える。ビームスプリッタ３０が、レーザー１０から放射される入力光学ビームの一部が反射されてガス参照セルの少なくとも１つの光学透明窓に入射するように構成される場合、入力光学ビーム２０の反射された部分は、ガスを二度通過する。検出器３５０がガスを二度通過した光学ビームを受け取るように構成される場合、レーザーを安定化させるために、レーザーにフィードバック信号５０が提供される。 （もっと読む）

【課題】 入射光の偏光方位に偏りがなく、かつ、回折層の偏光依存性が高くても、高い回折効率が得られる透過型回折格子及びそれを用いた検出装置を提供すること。
【解決手段】 透過型回折格子１０は、偏光変換層２０と、偏光変換層の一面側に配置される第１回折層３０と、偏光変換層の他面側に配置される第２回折層４０と、を有する。第１回折層３０及び第２回折層４０は共に、第１方向Ａに沿って周期Ｐで配列される屈折率変調構造３２，４２を有し、かつ、ＴＥ偏光成分に対する回折効率がＴＭ偏光成分に対する回折効率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】分光システムにおいて、反射しないで受信される信号と反射してから受信される信号を分離する。
【解決手段】各信号強度検出回路（狭帯域フィルタ１１８、検波器１１９、ＡＤ変換器１２０）は、受信用ミキサ１１５からの信号から予め定められた各周波数の成分を分離して抽出する。また、波長可変レーザ光源１０１からの光の波長が一定の期間において波長可変レーザ光源１０３からの光の波長を当該波長が複数の波長のそれぞれに等しくなる期間が離散的になるように変化させる。 （もっと読む）

【課題】省電力モードへの移行・解除動作の自動化を図ることが可能で、かつ、節電効果と光源の立ち上げ期間の短縮を同時に達成できる光学分析装置を提供すること。
【解決手段】光源１１および光源以外の各機器１２を有する光学分析手段１、電源供給手段２および制御手段３から構成される。電源供給手段２は、光源用スイッチ２３および機器用スイッチ２４を有する。制御手段３は、分析スケジュールに応じた予定時刻を記憶するメモリー３１、タイマー３２および各スイッチのオン・オフ指令を出すＣＰＵを有する。光源用スイッチ２３は、給電率が０％を超え１００％未満である複数の省電力モードＳ_１、Ｓ_２に切換え可能である。ＣＰＵは、モード切換え時刻Ｔ_１まで光源用スイッチ２３を低いレベルの省電力モードＳ_１に維持し、モード切換え時刻Ｔ_１で高いレベルの省電力モードＳ_２へ切換えて、立ち上げ開始時刻Ｔ_２でオンにする。 （もっと読む）

【課題】１つの縦モードおよび２つの縦モードが混在している状態で半導体レーザーからレーザー光が出射されているか否かを容易に検知することが可能な検知システムを得る。
【解決手段】検知システムは、固定鏡１５、移動鏡１６、半導体レーザー２２から出射されたレーザー光を分割し固定鏡１５および移動鏡１６の各々に反射したレーザー光を合成する光束分岐手段１４、光束分岐手段１４によって合成されたレーザー光を受光する受光手段２５、および制御部２６を備える。制御部２６は、検知システムが上記の検知を行なう際には、固定鏡１５に反射されるレーザー光と移動鏡１６に反射されるレーザー光との光路差が変化するように、移動鏡１６を移動させる。上記の検知は、受光手段２５により受光されるレーザー光の干渉信号がレーザー光のコントラストが変化することによって不連続になったか否かに基づいて行なわれる。 （もっと読む）

【課題】マルチバンド分光方法を利用し、高い精度の計測結果を安定して得ることができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 分光計測装置は、光源ユニット、マイクロレンズアレイ、開口部材、結像光学系、回折素子、及び受光器などを有している。受光器は、回折素子からの＋１次回折光を受光する位置に配置された第１ラインセンサ１６＿１、及び回折素子からの０次光を受光する位置に配置された第２ラインセンサ１６＿２を有している。処理装置は、第２ラインセンサ１６＿２の出力信号に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１ラインセンサ１６＿１の基準位置からの位置ずれ量を求める。さらに、処理装置は、変換行列テーブルを参照し、該位置ずれ量に応じて選択あるいは補間された変換行列を用いて、反射光波長スペクトルを推定演算する。 （もっと読む）

【課題】反射率の低い被計測物であっても輪郭を正確に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定の波長領域を有する光を照射し被測定物で反射した反射光と基準反射光との干渉光の各波長の光強度を検出して分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段を具備する３次元計測装置であって、被計測面が対物レンズの集光点位置と一致するように予め波形解析後の光強度のピーク位置と共焦点位置の対応をとっておき、制御手段はイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、対物レンズの集光点位置に対応する光強度を位置付け手段によって特定されたX、Y座標におけるZ座標の光強度としてメモリに保存し、該メモリに保存されたX、Y、Z座標に基づいて３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】平行板ばねの一端側がより高い精度で平行な姿勢を維持しつつ振動可能な平行板ばねの固定構造を得る。
【解決手段】平行板ばねの固定構造は、平板６１，６２、移動部６３および基台部６４を含む平行板ばね６０と、位置Ｓ１，Ｓ２から基台部６４を挟持し、基台部６４に付与する所定の保持力によって平行板ばね６０の他端６０Ｂ側を固定する固定部５０，７０とを備え、平行板ばね６０の共振状態において、平行板ばね６０の他端側６０Ｂにおける一次の自由振動モードの節Ｎ１は基台部６４の内部に位置し、固定部５０，７０に固定された平行板ばね６０が共振することにより、基台部６４には回転モーメントＲＡ，ＲＢが発生し、固定部５０，７０は、回転モーメントＲＡ，ＲＢを含む仮想平面ＸＹ内において上記保持力が作用するように基台部６４に上記保持力を付与し、位置Ｓ１，Ｓ２は節Ｎ１を中心とする点対称の位置関係にある。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】被測定光の分光特性をより短時間かつ高精度に測定可能な分光特性測定方法および分光特性測定装置を提供する。
【解決手段】分光特性測定方法は、第１の波長範囲に検出感度を有する分光測定器に対して、その波長範囲が第１の波長範囲の一部である第２の波長範囲となっている光を入射させるステップと、分光測定器で検出された第１のスペクトルのうち第２の波長範囲以外の範囲に対応する部分から迷光成分を示す特性情報を取得するステップと、特性情報を第１の波長範囲のうち第２の波長範囲まで外挿処理することで、分光測定器に生じる迷光成分を示すパターンを取得するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】高コスト化を招くことなく、活性層のＰＬピーク波長を精度良く取得することができるフォトルミネッセンス光のピーク波長取得方法を提供する。
【解決手段】 主制御装置は、複数の温度で、戻り光の光強度とＰＬ光の光強度を計測し、該戻り光の光強度に基づいて、試料に入射した励起光の光強度を算出し、計測されたＰＬ光の光強度を規格化する（Ｓ４１５〜Ｓ４２３）。そして、主制御装置は、規格化されたＰＬ光の光強度の温度依存性から、規格化されたＰＬ光の光強度が最大になる温度を求め、ＰＬピーク波長を算出する（Ｓ４４１〜Ｓ４４５）。 （もっと読む）