【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を用いた試料測定方法を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止する。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット４０、第１色消しレンズ２０、グリズム１０、第２色消しレンズ３０、検出器５０を備える分光器で、第１色消しレンズ２０と、グリズム１０と、第２色消しレンズ３０は、ＬｉＦ、ＭｇＦ２から選ばれて形成される。第１色消しレンズ２０は、第１屈折レンズ２１と複数のバイナリ型回折格子を有する第１回折レンズ２２とを有する。第２色消しレンズ３０は、第２屈折レンズ３２と複数のバイナリ型回折格子を有する第２回折レンズ３２とを有する。グリズム１０は、第１色消しレンズ２０と第２色消しレンズ３０との間に設置され、プリズム１１と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子１２とを有する。第１回折レンズ２２のバイナリ型回折格子と、第２回折レンズ３２のバイナリ型回折格子と、グリズム１０の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は５ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、従来回折格子分光器が実用とならなかった数keVの軟X線領域において装置に入射する軟Ｘ線光に含まれる複数の所望の波長の光を分別し検出器または感光物質面に結像させうる多色計（ポリクロメータ）を提供するものである。
【解決手段】
上記課題を解決するために成された本発明は、回折格子１の格子面を測定を所望する波長数の区画に分割し、そのそれぞれの区画に所望する波長の内の一波長につき、回折格子の式及び拡張Bragg条件を同時に満たすような多層膜を形成する。回折格子１の格子面にはホログラフィック露光用のレーザー干渉系を用いて不等間隔の溝パターンが形成される。 （もっと読む）

【課題】照明光学システムおよび投影光学システムを有するスキャトロメータの収差を測定する方法が提供される。
【解決手段】スキャトロメータ内で、透過性開口のアレイを備えるアパーチャプレートが、投影光学システムの瞳面と共役である照明光学システムの面に挿入される。光学システムの収差は、瞳面における輝点の相対位置を測定することによって測定することができる。 （もっと読む）

【課題】紫外光源由来のオゾンガスによる部品の浸食を防止することができると共にランニングコストを低減することのできる光度計を提供する。
【解決手段】紫外光源２１と光検出器５２を有し、光源２１から光検出器５２に至る光路全体を密閉するカバー１１と、カバー１１の内部を窒素ガスで置換する手段とを備えた分光光度計１０において、 光源２１を格納する光源室２０と後段の分光器３０の間の隔壁２２に対して容易に着脱することができ、なお且つ、測定光を通過させつつ光源室２０と分光器３０との間の気体の流通を遮断することのできる窓板ユニット８０を設ける。深紫外域以外の波長域で測定を行う場合には、窓板ユニット８０を隔壁２２に取り付けることによって、光源２１付近で発生したオゾンが分光器３０へ流入するのを防止でき、窒素ガスによる置換を行うことなく部品の浸食を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】迷光除去率良く、単色の直線偏光を抽出する偏光分光器を提供すること。
【解決手段】波長および偏光方向に応じた方向へ光を出力する第１プリズム１２と、第１プリズム１２を透過した光を受け、波長および偏光方向に応じた方向へ光を出力する第２プリズム１６とを備えた偏光分光器１０。第１プリズム１２および第２プリズムは一軸性の結晶プリズムであり、第１プリズム１２の光学軸および第２プリズム１６の光学軸は共に各プリズム内での光路に直交し、かつ第２プリズム１６の光学軸が、第１プリズム１２からの出力光のうち、第１プリズム１２の光学軸に直角に偏光した直線偏光成分の偏光方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】小規模且つ安価な装置で高精細なスペクトラム情報を取得可能にする。
【解決手段】光子検知用のセルを複数個含むフォトセンサアレイ４２を集積回路内に設け、複数個の経路部分を含む走査経路（ｙ方向）をその上に設定する。アレイ４２による光子検知可能波長域即ちサブレンジはｙ方向位置Ｙ１，Ｙｎ，ＹＮ毎に異なり、各ｙ方向位置に存するセル群即ちサブレンジセル群は代表波長λ１，λｎ，λＮのサブレンジ内の光子を検知できる。走査器によりアレイ４２に対して信号光２０を相対走査運動（ｙ方向）させ信号光２０によって走査経路沿いにアレイ４２の表面を横断走査させると、各ｙ方向位置に位置するサブレンジセル群により対応するサブレンジ内の光子が検知される。信号光２０のｘ方向位置毎の成分即ち場所Ｌ１，Ｌｍ，ＬＭ毎に検知結果を組み合わせ、スペクトラム情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】同一のアレイを構成する複数個のセル間での不均質性による検知結果の相違を補償する。
【解決手段】その部位毎に光子放出量が異なる経路からの光子検知を、行１０２内にある基準セル及び行１０４内にあるサブレンジセル１０６からなりそれら基準セル及びその近傍のサブレンジセル１０６との対を１個又は複数個含むフォトセンサアレイ１００を備える集積回路（ＩＣ）６８により、経路を構成する複数個のセグメントにて個別に行う。基準セルは適用対象光子エネルギレンジのほぼ全体（λｍｉｎ〜λｍａｘ）を通し入射光子を受け取り、サブレンジセル１０６は当該適用対象光子エネルギレンジのサブレンジのうち対応するサブレンジ（λｐ）内の入射光子をその上方の透過構造を介して受け取る。周辺回路１１０にて前者に基づき後者を調整して出力する。 （もっと読む）

本発明は干渉情報を試料の化学的および／または物理学的特性に相関する別のストラテジーを提供する。このストラテジーは、干渉分光学に基づく技術水準を超える実質的な技術的および商業的利点を提供する方法およびシステムで実行することができる。方法は、ａ．試料の少なくとも一部分から放出された、それに伝達されたかまたはそれを通過して伝達された、またはそれと相互作用した電磁シグナルの変調に対応するインターフェログラムおよび／または少なくとも１のインターフェログラム要素を得、ｂ．ｉ．少なくとも１の関数を用いて該インターフェログラムおよび／またはインターフェログラム要素のインターフェログラムおよび／またはセグメントの少なくとも１の変換、ｉｉ．所望により、インターフェログラムおよび／またはインターフェログラム要素のもう１のセグメントについてｉ）を繰り返すことを行い、ここに、ｉ）を一度だけ行う場合は、変換はフーリエ変換を含まず、ｃ．該少なくとも１のスコアを少なくとも１の化学的または物理的特性に相関する工程を含む。
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【課題】光検出不能領域を有する光センサーの光強度の情報の低下を抑えること、又は、光センサーの光検出不能領域に照射される光を有効に活用すること。
【解決手段】複数個の光検出領域と、光検出領域に隣接した光検出不能領域を持つ光検出面を有する光センサーと、光検出面に光を照射する光照射部と、光の照射位置に対して光検出面を相対的に変位する変位作用部と、を備え、光の照射位置を光検出面に対して相対的に変位して、光検出不能領域に照射されている光を光検出領域に照射する、光検出装置、又は光検出方法。
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【課題】
従来の、測定者に依存した感覚的な窒素パージ完了の判定基準を客観化し、測定の信頼性を改善する。また窒素パージ完了の判定を無人化・自動化することにより省力化する。
【解決手段】
ＣＶ演算器２１に窒素パージ開始指示を与え、窒素パージを開始する。窒素パージ開始時点を起点として増幅器７Ｎからの信号をＣＶ演算器２１に入力し、あらかじめ定めた期間内の信号のＣＶ値を検定する。ＣＶ演算器２１はＣＶ値があらかじめ定めた閾値以下になるまで、検定の起点を進めて検定を繰り返す。ＣＶ値が閾値以下になった時にＣＶ演算器２１から増幅器７Ｎに本測定開始信号Ｒを出力し、また表示器２２に窒素パージ完了のメッセージを表示する。本測定開始信号Ｒによって増幅器７Ｎから本測定出力ＵＮが出力され、本測定が開始される。 （もっと読む）

【課題】 遠紫外域や真空紫外域のような短波長帯においても高次光や迷光等を抑制し、電気的なノイズに対しても大きなS/N比を得ることができる光チョッパ及びそれを備えた分光装置を提供する。
【解決手段】 光チョッパに、広波長帯域の光を高透過率で透過させる第１領域と、測定目的波長以外の光を低透過率で透過させる第２領域を設ける。検出器に入射する光束をそれらに交互に通過させることにより、振幅変調によって電気的ノイズの除去が、透過帯域特性により迷光の影響の除去を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 操作が簡単で分析時間が短縮可能な分光光度計を提供する。
【解決手段】 試料２０を回転試料台１２に設置した後、試料室カバー１７を閉じる。このとき試料室１内部は暗室となるので、照明４により回転試料台１２に光を照射する。次に、分光器部７をパーソナルコンピュータ２４にて光束波長を目視可能な波長に設定し、光を発生させる。分光器部７からの光束が通過している部分をＣＣＤカメラ３で撮影し、ＣＣＤカメラ３からの映像を表示機２５に表示することにより試料２０と光束との位置関係を確認する。光束の位置を確認し、回転試料台１２およびステージ１３により試料２０を光束に対して所定の位置に移動した後、測定を開始する。測定開始直前に照明４は消灯する。測定開始後は回転試料台１２およびステージ１３が動作シーケンスファイルにしたがって連続的に測定点を移動させ、連続的な測定をおこなう。 （もっと読む）

【課題】
分光器に個体差があったり測定環境が変動したりして分光器の特性が変化したとしても、被検出光源から出力される被検出光の波長を誤差なく精度よく検出できるようにする。
【解決手段】
基準光源で発光される基準光の波長に基づいて、被検出光源から出力される被検出光の波長を検出する波長検出装置において、前記被検出光がアルゴンフッ素エキシマレーザ発光線の場合に、前記アルゴンフッ素エキシマレーザ発光線の波長に最も近似した波長を有し、かつ光強度が一定以上の白金Ｐtの三つの発光線のうち、一つ以上の発光線を前記基準光として用いるようにする。 （もっと読む）

光学信号の主成分の振幅を決定するための光学分析システム（２０）は、光学信号を反射させると共に、それによって、スペクトルの重み付けの関数によって光学信号に重みを付けるための多変量の光学素子（１０）及び重みを付けられた光学信号を検出するための検出器（９，９Ｐ，９Ｎ）を含む。光学分析システム（２０）は、光学信号をスペクトル的に分散させるための分散素子（２）をさらに含んでもよく、多変量の光学素子は、分散させられた光学信号を受けるために、配置される。血液分析システム（４０）は、本発明に従う光学分析システム（２０）を含む。
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【課題】エタロンの経時変化等による特性の変動が生じても波長検出に影響を及ぼさず、正確な波長制御が行えるレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、レーザ発振器と、第１の基準光源及びグレーティング型分光器を含み、第１の基準光源から出力される基準光の波長に基づいて、レーザ光の波長を検出する第１の波長検出手段と、第２の基準光源及びエタロン型分光器を含み、第２の基準光源から出力される基準光の波長に基づいて、レーザ光の波長を検出する第２の波長検出手段と、レーザ発振器を発振させて、第１の波長検出手段によって得られるレーザ光波長検出値と第２の波長検出手段によって得られるレーザ光波長検出値との差を算出して記憶し、その後にレーザ発振器を発振させたときに第２の波長検出手段によって得られるレーザ光波長検出値とレーザ光目標波長との差へ更に記憶した差を加算する制御手段とを具備する。 （もっと読む）

２個の導電性電極間に挟まれた絶縁性の焦電及び／又は圧電材料の薄層で形成される、電磁放射光を同時に検出し反射する装置。最も上部の電極は、放射光を反射部分と吸収される非反射部分とに分離することができ、絶縁層は、最も上部の電極によって吸収される電磁放射光の強度に依存する電気的特性を有している。２個の電極間で測定される電圧及び／又は電流は、絶縁層の電気的特性に敏感であって、吸収された電磁放射光の強度を表す。
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無電極放電型極紫外線（ＥＵＶ）放射（１０）においては、高温高密度、一様、軸安定なプラズマ柱が、磁気圧力及び誘導電流駆動で効果的にまとめられている。本発明では、磁気ミラーに閉じ込められたプラズマのシータピンチ型の圧縮が用いられている。磁気ミラーに閉じ込められたプラズマは、共鳴磁気圧縮によって放射が生じるようになっている。本装置は、放射源ガス投入ノズル（１）と、任意のバッファガス投入フロー（２）と、ミラー磁場コイル（９ａ、９ｂ）と、シータピンチコイル（８ａ、８ｂ）と、プラズマ及びデブリ集積部（１１）と、排出ポート（７）とを備える。円電流により、軸安定なプラズマ磁場構造と、再現性があり安定で対称性の高いＥＵＶ源が得られる。
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周波数、波長又は質量スペクトルデータを拡張する方法であって、周波数、波長又は質量スペクトルデータをフーリエ逆変換し、得られた逆変換データをゼロフィル（及び望みならアポダイズ）し、そしてフーリエ変換して、周波数、波長又は質量領域へと再変換する。この処理によって得られるスペクトルデータは、ピークの位置、形状及び高さをより正確に示すものとなる。
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発光分光分析法を使用する、溶融材料、例えば鋳鉄あるいは鋼、あるいはスラグ、ガラスあるいは溶岩を分析するための方法及び装置が提供される。少なくとも一つの分光計と、被分析材料を励起させるための少なくとも一つの励起装置とを有する検出素子が使用される。被分析材料を励起させることにより被分析材料から放射物が部分的あるいは完全に発生され、発生した放射物が検出素子内の分光計により分析される。検出素子は溶融した被分析材料との接触状態に持ち来され、分光計によって供給される分析成分を含む情報を伝送する。本発明によれば浸漬センサも提供される。 （もっと読む）