【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】顕微領域およびマクロ領域それぞれの分光データを一括取得する。
【解決手段】分光計測装置は、測定対象光を２つに分離するビームスプリッター（３）と、スリットに入射した光を分光する分散素子及びこの分散素子によって分光された光を受光する２次元ＣＣＤアレイからなる分光器（１０）と、第１の光を導くシングルモードファイバー（５）と、第２の光を導くマルチモードファイバー（８）と、ファイバー（５，８）の出射側の端面から出射する２つの測定対象光を分光器（１０）のスリットに集光するファイバー集光光学系（９）とを備える。ファイバー集光光学系（９）は、ファイバー（５，８）の出射側の端面を、２つの測定対象光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ２つの測定対象光を２次元ＣＣＤアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】２次元画像全体におけるスペクトルの変化等を直観的に把握することを補助するとともに、画像による様々な分析をより容易に進めることを可能とする画像表示装置を提供する。
【解決手段】波長域別画像データを、前記撮像対象について複数の波長域ごとに記憶する波長域別画像データ記憶部１２と、撮像された波長域の異なる複数の波長域別画像データを選択し、選択された各波長域別画像データから、それぞれ異なる基本色のみで表現され、各画素が各強度データにそれぞれ対応した輝度を有する基本色画像を構成する基本色画像データをそれぞれ作成する基本色画像データ作成部１３と、複数の基本色波長の異なる基本色画像データを合成して１つの合成画像データを作成する合成画像データ作成部１４と、前記合成画像データを画像として表示する合成画像表示部１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】サイズと、重量と、コストとに関して、大幅に簡素化された、気体の検出用の３チャネルの分光計を提供する。
【解決手段】３チャネル分光計１００は、入射放射線１０１を受け取って、入射放射線の第１の部分と、第２の部分と、第３の部分とを透過するビームスプリッタ要素１０５と、第１の部分を受け取って、第１の波長の範囲の第１のスリット出力放射線を透過する第１のスリットと、第２の部分を受け取って、第２の波長の範囲の第２のスリット出力放射線を透過する第２のスリットと、入射放射線の第３の部分を受け取って、第３の波長の範囲の第３のスリット出力放射線を透過する第３のスリットと、第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、平行にする共通の光学フォーム１１１と、共通の光学フォームから、平行にされた第１と、第２と、第３のスリット出力放射線を受け取って、反射する分散要素１１３とを含む。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は、優れた波長分解能を有する光処理デバイスを提供することである。
【解決手段】複数の光ファイバを含むビーム放出部分と、複数の光ファイバのうちの１つの光ファイバから放出されたビームを分散させる分散要素と、分散要素を通過するビームを合焦する集光レンズと、ビームが複数の光ファイバのうちの他の光ファイバの１つに入射するように集光レンズを通過するビームの光路を変換する光路変換光学系と、光路変換光学系から他の光ファイバの前記１つに入射するビームの光路長を調整する光路長調整部分と、を含む光処理デバイスが提供される。光路変換光学系は、第１の反射点でビームを反射するミラー要素と、ミラー要素から反射されたビームを中間反射点で反射する中間ミラーと、を含む。ミラー要素は中間ミラーから反射されたビームを第２の反射点で反射する。集光レンズはビームの焦点を第１の反射点で形成する。光路長調整部分は空気よりも高い屈折率を有し、ビームは光路長調整部分を通って送出され得る。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、複数の異なる種類の光ファイバを用いて測定を行なえる光スペクトラム測定装置を提供する。
【解決手段】光バンドパスフィルタの中心波長を変化させ、被測定光の光スペクトラムを測定する光スペクトラム測定装置であって、異なる種類の光ファイバに対応した複数個の光コネクタと、分岐側の各光ファイバが複数個の光コネクタとそれぞれ接続し、バンドル側が光バンドパスフィルタの光入力端に接続したバンドル光ファイバと、を備えた光スペクトラム測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象に応じた適切な空間分解能で複数位置の分光特性を取得可能な分光特性取得装置を提供する。
【解決手段】光照射手段１１から前記画像担持媒体９０に照射された光の反射光を複数の開口部を有する開口部列により複数の領域に分割し、分光手段１５により複数の開口部に対応する複数の回折像を形成された複数の回折像を受光手段１６の複数の画素で受光して電気信号に変換し、演算手段１７により画像担持媒体の複数の位置における反射光の光量の割合を示す分光特性を演算し、演算手段は隣接するａ個（ａは２以上の自然数）の回折像の電気信号に対応する分光特性を算出するための変換行列を記憶する変換行列記憶手段１７ａと、隣接するａ個の前記回折像の電気信号とそれに対応する変換行列とから隣接するａ個の回折像の開口部に対応する画像担持媒体の位置における分光特性を算出する分光特性算出手段１７ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】１次元に並んだ複数の領域の分光情報と位置情報を一度に精度良く取得することが可能な分光特性取得装置を提供すること。
【解決手段】本分光特性取得装置は、画像担持媒体へ光を照射する光照射手段と、前記光照射手段から前記画像担持媒体に照射された前記光の反射光を、複数の開口部を有する開口部列により複数の領域に分割する領域分割手段と、前記領域分割手段により複数の領域に分割された前記反射光を波長に応じて異なる方向に伝播し、前記複数の開口部に対応する複数の回折像を形成する分光手段と、前記分光手段により形成された前記複数の回折像を２次元に配列された複数の画素で受光する受光手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第１の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における２次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット１４０は、光を略平行光束にするコリメータ光学系１４１と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部１４８と、光路分割部１４８により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子１４３（１４３１〜１４３３）と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が２次元状に配置された受光器１４５と、分光素子からの分光光を受光器１４５の受光素子面に結像させる集光光学系１４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光検出手段の各画素が受光する光の波長値を精度よく値付けすることが可能な分光測色器を提供する。
【解決手段】被測色物に測色光を照射する光源と、前記被測色物からの反射光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された分散光を受光し、当該分散光の強度に応じて信号を出力する複数の画素を有する光検出手段と、基準となる被測色物を測色した際に前記光検出手段にて検出された分散光のプロファイルにおける複数の変曲点の波長と画素との対応関係を用いて、前記光検出手段を構成する複数の画素それぞれにて受光された分散光の波長を演算する演算手段とを有し、前記演算手段は、前記複数の画素それぞれにて受光された分散光の波長を演算する際に、前記複数の変曲点に対応する画素によって出力される信号が基準値以上で且つ飽和しない出力レベルとなるよう、変曲点ごとに測色条件を調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。
【解決手段】窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し、ウェッジプリズム型試料７の第１面７０１で反射した後に窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束か、または窓６０１を介して恒温槽６内部に入射し第１面７０１から試料７内部に入射し第２面７０２の裏面で反射した後に第１面７０１を経て試料７外部へ射出し、窓６０１を介して恒温槽６外部へ射出した平行光束が、コリメータ部５に戻りコリメータミラー５０２で集光された後にミラースリット５０１のミラー面５０１ａで反射された光束を受信する測定光デテクタ１１と、試料回転ステージ８の回転制御を行い、測定光デテクタ１１からの出力と回転角度検出部８ａで検出された試料回転ステージ８の回転角度との関係に基づき、試料７の屈折率を算出する解析制御部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】焦点合わせに要する時間を短縮できる分光撮像装置を提供する。
【解決手段】被写体からの光を集光する集光レンズ１０と、集光された光のうち、被写体のライン状領域からの光を通過させるスリット２１ａが形成された遮光部材２１と、分光手段２２と、光の強度をライン状領域の長手方向の位置及び波長ごとに検出することにより、ライン状領域の画像を取得する光検出手段２６と、光検出手段からライン状領域の画像を順次受け付けて、撮像領域の画像を取得する画像取得部４１と、被写体に対する集光レンズ、スリット、分光手段又は光検出手段の光軸方向の相対距離を変更して、画像の焦点を合わせる焦点合わせ手段３０とを具備し、画像取得部が、焦点を合わせようとする部分を含み被写体における撮像領域よりも狭い領域の画像を、相対距離を設定して取得し、狭い領域の画像の焦点が合うときの相対距離で、撮像領域の画像を取得するようにした。 （もっと読む）

【課題】必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及び顕微分光システムを提供する。
【解決手段】顕微分光システム１に用いられる分光器４０は、コリメート光学系４１と、分光素子４２と、集光光学系４３と、複数の反射鏡が、少なくとも分光素子４２による分光方向に１次元に配列され、少なくとも所定の１次元方向に回転可能な空間光変調素子４４と、空間光変調素子４４で反射された分光光を受光する投影光学系４５と、複数の受光素子４６ａが、少なくとも投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に配列された受光器４６と、を有し、受光器４６の配置位置は、投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に関して投影光学系４５の後側焦点位置である。 （もっと読む）

【課題】回転セクタ鏡の回転により測定光を異なるモードに振り分ける分光光度計において、各モードのデータ積算期間の設定に関する調整を容易にした分光光度計を提供する。
【解決手段】制御部２０は、変化検出部１９からモードＤ１を積算対象とする通知を受けると、遅延時間記憶部２１からモードＤ１に対応する遅延時間Td1を参照する。そして、変化検出部１９から通知を受けた時点から遅延時間Td1だけ経過した後にＡＤＣ１８にデータ採取信号を一定の期間送る。ＡＤＣ１８はデータ採取信号を受信している期間内で光検出器１７からの光強度信号のサンプリングとデジタル値への変換を行い、積算処理部２２に送る。積算処理部２２ではＡＤＣ１８から取得されたデータの積算が行われ、該積算値は制御部２０に送られた後、制御部２０によって積算値記憶部２３内のモードＤ１に対応する記憶領域内に保存される。 （もっと読む）

【課題】 外付け付属品や光路切換ミラーの状態を認識できるようにして、誤操作することなく外付け付属品による測定ができるようにした分光光度計を提供する。
【解決手段】 内蔵検出器２４と、外付け検出器３２とを備え、着脱可能な光路切換部２３ａを試料室２３に装着したときには、内蔵検出器２４からの検出信号に基づいた測定に代えて外付け検出器３２からの検出信号に基づいた測定が行われるように切り換わる分光光度計１０であって、内蔵検出器２４または外付け検出器３２からの測定データについての閾値Ｔを記憶する測定データ閾値記憶部５１と、測定光を試料室２３に導入した状態で、内蔵検出器２４または外付け検出器３２からの測定データと閾値Ｔとの比較結果に基づいて、いずれの検出器が測定光の受光が可能な状態かを認識する受光検出器認識部５２とを備える。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオード又は複数種類の蛍光体を有している光源を用いた、小型化が可能で、測色精度の良い測色器を提供すること、およびこの測色器を用いることによって色味の再現性の良い画像形成装置を提供すること。
【解決手段】被測色物に白色光を照射する光源１２と、前記被測色物からの反射光を分光する回折格子１８と、前記回折格子１８により分光された光の強度に応じた電気信号を発生する複数画素からなるラインセンサ１１と、を有し、前記光源１２が３８０ｎｍから４２０ｎｍの波長域に発光強度のピーク値を持つ発光ダイオード、又は、４２０ｎｍから７３０ｎｍの波長域に蛍光強度のピーク値を持つ複数種類の蛍光体を有している。 （もっと読む）

【課題】 入射光の偏光方位に偏りがなく、かつ、回折層の偏光依存性が高くても、高い回折効率が得られる透過型回折格子及びそれを用いた検出装置を提供すること。
【解決手段】 透過型回折格子１０は、偏光変換層２０と、偏光変換層の一面側に配置される第１回折層３０と、偏光変換層の他面側に配置される第２回折層４０と、を有する。第１回折層３０及び第２回折層４０は共に、第１方向Ａに沿って周期Ｐで配列される屈折率変調構造３２，４２を有し、かつ、ＴＥ偏光成分に対する回折効率がＴＭ偏光成分に対する回折効率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】 最良の波長分解性能を発揮する状態に調整することができる光学調整方法と調整治具を提供する。
【解決手段】 光源１６と、光源からの光を平行光束にする光学素子１７とを治具ベース１９上に備え、光学素子１７から射出される光が精密に平行光束となるように予め設定されている光学調整用の調整治具Ａを用意し、この調整治具Ａを光路上に配置し、調整治具Ａから射出される平行光束を第１ミラー２に送り、第１ミラー２により反射集光した光を入口スリット１に通過させてその近傍に配置した像観察部材２３に光束パターンを表示させ、この光束パターンに基づいて適正光束パターンになるように第１ミラー２または入口スリット１を移動させて第１ミラー２のフォーカスを調整する。 （もっと読む）