【課題】簡便な構成でマイグレーションの発生を抑制しつつ光学素子を所望の姿勢に補正する姿勢補正装置を得る。
【解決手段】姿勢補正装置３０は、圧電素子１１０と、圧電素子１１０に駆動電圧を印加する駆動回路１１１とを備える。駆動回路１１１は、所定の補正条件に応じて圧電素子１１０に駆動電圧を印加することによって、圧電素子１１０を伸縮させ、駆動電圧が印加された圧電素子１１０の伸縮を利用して光学素子１５の姿勢を補正する第１電圧印加モードと、駆動回路１１１が第１電圧印加モードにおいて圧電素子１１０に印加する駆動電圧とは異なる所定の交流電圧を圧電素子１１０に印加することによって、圧電素子１１０を発熱させ、圧電素子１１０に含有される水分量を低減させる第２電圧印加モードとを有する。 （もっと読む）

【課題】ゴーストの防止が可能な小型・高性能の干渉計と分光装置を提供する。
【解決手段】干渉計Ｋ２は、コリメータ光学系２，干渉光学系Ｋ１，集光光学系５，受光センサ６を備える。コリメータ光学系２は光源１からの光束を平行光にし、干渉光学系Ｋ１は平行光を２光束に分離し合成することにより干渉させ、集光光学系５は干渉光学系Ｋ１で得られた干渉光を結像させ、受光センサ６は干渉光を受光する受光面６ｓを有する。受光面６ｓは、集光光学系５の光軸ＡＸに対して９０°以外の角度を成しており、集光光学系５のワーキングディスタンスは、コリメータ光学系２のワーキングディスタンスよりも大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】空間光を簡易な構成で効率的に光ファイバに入力可能な空間光測定用光ファイバ変換器を提供する。
【解決手段】本発明の空間光測定用光ファイバ変換器は、集光鏡と、集光鏡の焦点にその先端が配置され集光鏡で反射された光が入射される光ファイバプローブと、を備える。集光鏡は、例えば放物面鏡や楕円面鏡である。楕円面鏡の場合、光ファイバプローブは、楕円面鏡の一方の焦点にその先端が配置され、楕円面鏡の他方の焦点に配置された点光源からの光が、楕円面鏡で反射されて前記光ファイバプローブに入射される。 （もっと読む）

【課題】 外乱の影響を受けることなく正確に試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出することができる干渉分光光度計を提供する。
【解決手段】 往復移動可能な移動鏡２６２を有する移動鏡ユニット２６０と、固定鏡８５と、赤外光を出射する赤外光源部１０と、ビームスプリッタ７０と、試料を透過又は反射した光強度情報を検出する干渉光検出部２０と、移動鏡２６２の移動鏡速度情報を検出する移動鏡速度情報検出部３０と、光強度情報及び移動鏡速度情報を取得して、試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出する制御部５１とを備える干渉分光光度計１であって、目標移動鏡速度範囲を記憶する記憶部５２を備え、制御部５１は、移動鏡２６２の移動速度が目標移動鏡速度範囲から外れたときに得られた光強度情報を、試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出する際に採用しないようにする。 （もっと読む）

【課題】コリメータレンズ１５の焦点距離との関係で、光源１１が点光源と見なせない場合でも、軸外光束を考慮して大きな光学部品を用いることなく、平行光の光束径を小さくして、干渉計２を小型化する。
【解決手段】干渉計２は、光源１１と、コリメータレンズ１５と、干渉部１３とを備えている。コリメータレンズ１５は、光源１１の光出射面１１ａの１点から出射される光束を平行光に変換する。干渉部１３は、コリメータレンズ１５を介して入射する光を、ＢＳ１６の分離合成面で２光束に分離し、各光束を移動鏡１７および固定鏡１８で反射させた後、上記分離合成面で合成して干渉させる。光源１１の光出射面１１ａには、半球レンズ１４が密着して配置されている。 （もっと読む）

【課題】高速に測定を行うことができるスペクトル計測装置を実現すること。
【解決手段】波長可変光源１０はＥｒドープ超短パルスレーザファイバー１１とＥＯＭ１２と偏波保持シングルモードファイバーを有し、パルス光の強度を変更することで出力される光ソリトンパルスの波長を掃引することができる。波長可変光源１０からの光ソリトンパルスは、櫛歯状分布ファイバー２０によって断熱ソリトンスペクトル圧縮され、スペクトルが狭窄化される。この狭窄化された光ソリトンパルスは試料７０を透過してフォトダイオード４０ａにより受光され、デジタルオシロスコープ５０によって光強度が計測される。この時間波形と、波長可変光源１０での波長掃引との関係から、試料７０の吸収スペクトルを計測することができる。 （もっと読む）

【課題】平行板ばねの一端側がより高い精度で平行な姿勢を維持しつつ振動可能な平行板ばねの固定構造を得る。
【解決手段】平行板ばねの固定構造は、平板６１，６２、移動部６３および基台部６４を含む平行板ばね６０と、位置Ｓ１，Ｓ２から基台部６４を挟持し、基台部６４に付与する所定の保持力によって平行板ばね６０の他端６０Ｂ側を固定する固定部５０，７０とを備え、平行板ばね６０の共振状態において、平行板ばね６０の他端側６０Ｂにおける一次の自由振動モードの節Ｎ１は基台部６４の内部に位置し、固定部５０，７０に固定された平行板ばね６０が共振することにより、基台部６４には回転モーメントＲＡ，ＲＢが発生し、固定部５０，７０は、回転モーメントＲＡ，ＲＢを含む仮想平面ＸＹ内において上記保持力が作用するように基台部６４に上記保持力を付与し、位置Ｓ１，Ｓ２は節Ｎ１を中心とする点対称の位置関係にある。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】検出感度の低下を招くことなく高精度に眼底の分光特性を測定することができる眼底分光特性測定装置及び眼底分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の眼底分光特性測定装置１は、光源からの光を被検眼眼底Ｓｂに照射して該眼底Ｓｂから発せられる光を対物レンズを通して第１反射部１６と第２反射部１５に導く。そして第１及び第２反射部１６、１５で反射された第１及び第２反射光を結像レンズで同一点に導き、干渉光強度を検出部２４で検出する。位相シフター１４によって第１及び第２反射光の光路長差を伸縮させつつ検出部２４で干渉光強度変化を検出し、処理部３０はその干渉光強度変化からインターフェログラムを求める。このとき、処理部３０は結像レンズの光軸と結像面の交点から受光素子までの距離、結像レンズの焦点距離、第１反射部１６の移動量から光路長差を算出し、光路長差に応じてスペクトルを補正する。 （もっと読む）

【課題】外乱による信頼性の低下を抑えた分光特性測定装置とその制御方法、分光特性測定方法、及び光路長差伸縮機構を提供する。
【解決手段】本発明は、被測定物の測定点から多様な方向に向かって発せられた光を一つにまとめた後、分割光学系によって第１反射部と第２反射部に導き、前記第１反射部と前記第２反射部の相対位置に影響を及ぼす外乱を推定し、該外乱を解消するように前記第１反射部と前記第２反射部の少なくとも一方を移動させることにより前記第１反射部によって反射された第１反射光と前記第２反射部によって反射された第２反射光の光路長差を伸縮させつつ、前記第１反射光と前記第２反射光を結像光学系によって同一点に導き、その点の干渉光強度変化に基づき前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する。 （もっと読む）

【課題】光路長差を伸縮させるために低価格の駆動装置を用いながらも、高精度なインターフェログラムを得ることができる分光特性測定装置及び分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の分光特性測定装置は、被測定物Ｓの測定点から発せられた光を対物レンズ２によって固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６２に導き、これらミラー部１６１、１６２によって反射された光を結像レンズ１８によって同一点に導く。制御部２２は可動ミラー部１６２を繰り返し移動、停止させて固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６１によって反射された光の光路長差を間欠的に伸縮させる。処理部２４は、前記可動ミラー部１６２が各停止位置にあるときに同一点に導かれた光の強度を検出し、これら光強度とそのときの光路長差の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、この光強度に基づきインターフェログラムを作成する。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いた小型、安価な構成で、ＢＳで発生するゴースト光の影響を抑えながら、干渉強度の高い良好な干渉光を得る。
【解決手段】干渉計では、レーザ光源から出射されたレーザ光を平板型のＢＳで２光束に分離し、それぞれを別々の反射光学素子で反射させた後、ＢＳに再度入射させて干渉させる。干渉光は、ＢＳからレーザ光源とは異なる方向に出射され、光検出器にて検出される。ＢＳは、平板状の基板と、上記基板の表面に形成される反射透過膜と、上記基板の裏面に形成される反射防止膜とを有している。上記基板の反射透過膜が形成された面でのレーザ光の反射率および透過率をそれぞれＲｂおよびＴｂとし、上記基板の反射防止膜が形成された面でのレーザ光の反射率をＲａとすると、以下の条件式（１）および（２）を満足する。すなわち、（１）１．５＜Ｒｂ／Ｔｂ＜２０、（２）Ｒａ＜０．０３である。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳ１３を用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。光学面の枚数を少なくして、ＢＳ１３に対する入射光の強度が微弱な場合でも、干渉光を確実に得る。
【解決手段】干渉計２では、透明基板１３ａの片面が反射透過面である平板型のＢＳ１３で入射光を２光束に分離し、２光束を固定鏡１５および移動鏡１４でそれぞれ反射させた後、ＢＳ１３で合成して干渉させる。固定鏡１５および移動鏡１４のどちらか一方は、裏面反射鏡で構成されている。この裏面反射鏡は、ＢＳ１３の反射透過面で反射された一方の光束と上記反射透過面を透過した他方の光束とで、ＢＳ１３で分離されてから合成されるまでに透明基板１３ａを通過する回数が異なることによって生ずる上記両光束の光路差を補償する平板１５ｂの裏面に反射膜１５ａを一体的に形成して構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】平板型のＢＳを用いたときの２光束の光路差の補償を、光学部品の部品点数を増大させることなく行って、小型で組み立てが容易な構成を実現する。ＢＳへの入射光が軸外光線を有する場合の干渉性能の大幅な低下を回避して、干渉性能を補償する。
【解決手段】移動鏡１４は、静止状態において、移動鏡１４で反射された光束と固定鏡で反射された光束との光路差がゼロとなる第１の位置Ｐに対して、平板型のＢＳの反射透過面で分離される２光束のうち、移動鏡１４または固定鏡を介して再度反射透過面に入射するまでにＢＳの透明基板を透過する側の光束の光路長が、他方の光束の光路長よりも相対的に長くなる第２の位置Ｑ_０にある。移動鏡１４の駆動機構は、第２の位置Ｑ_０に対してＢＳ側とその反対側とで移動量が対称となるように移動鏡１４を移動させることによって、第１の位置Ｐに対してＢＳ側とその反対側とで移動鏡１４の移動量を非対称にさせる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる、光学面を所定の方向に向けるための光学面の姿勢調整機構を提供する。
【解決手段】光学面の姿勢調整機構１００Ａは、光学面１１５Ａを含む光学部材１１５、固定台２０、光学部材１１５と固定台２０との間で光学部材１１５を揺動可能に支持する支持部３０、および固定台２０から光学部材１１５に向かって進退する第１移動部材４０を備え、第１移動部材４０が前進し光学部材１１５を押圧することによって、支持部３０の剛性に対抗して光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向に回動し、第１移動部材４０が光学部材１１５に当接した状態で後退することによって、支持部３０の剛性から生じる復元力により光学部材１１５は支持部３０を中心に第１の方向とは反対の方向に回動し、光学面１１５Ａの姿勢は光学部材１１５の上記回動によって調整される。 （もっと読む）

【課題】異常スペクトルが得られた場合、原因を容易に推測できるフーリエ変換赤外分光光度計を提供する。
【解決手段】本発明のフーリエ変換赤外分光光度計は、密閉室１０内の光学部品と、干渉光を生成する干渉計と、干渉光を検出する検出器と、検出器の検出信号からスペクトルを得る変換処理部２７を有する。検出器は、密閉室１０の窓板１７と試料室２２を透過した後の干渉光を検出する標準検出器２６と、窓板１７を透過する前の干渉光を検出する補償検出器２０とを有し、変換処理部２７は、標準検出器２６と補償検出器２０の検出信号から標準スペクトル及び補償スペクトルを得るように構成され、干渉光を窓板１７を介して密閉室１０外に放射する光路と、干渉光を補償検出器２０に入射させる光路とを切り替え可能な光路切換鏡１８と、光路切替鏡１８を制御する制御部２８を備える。標準スペクトルと補償スペクトルにおける異常の有無を検討して原因を推測する。 （もっと読む）

【課題】 移動鏡を移動させても、機械的な振動や音響的な振動の影響が生じない干渉分光光度計を提供する。
【解決手段】 光を出射する光源部１０と、固定鏡８５と、移動鏡６２と、移動鏡６２を支持し、入射光軸方向で前後に往復動させる摺動支持機構５０と、光源部１０からの光を受けて、固定鏡８５と移動鏡６２とに向けて二分割するとともに、固定鏡８５で反射して戻ってきた光と移動鏡６２で反射して戻ってきた光とを受けて、干渉光に合成するビームスプリッタ７４と、試料が配置され、試料を透過又は反射した干渉光を検出する光検出部２０とを備える干渉分光光度計１であって、マンガン系制振合金で作製された部材を使用する。 （もっと読む）

【課題】高精度で分光特性を計測することができる分光計測装置及び分光計測方法を提供する。
【解決手段】測定領域Ｓ１内の各輝点から多様な方向に向かって放射状に生じる散乱光や蛍光発光等の光線群（「物体光」ともいう）は対物レンズ１２に入射し、平行光束へ変換され、位相シフター１４に到達する。そして、位相シフター１４の基準ミラー部１５と傾斜ミラー部１６でそれぞれ反射された後、結像レンズ１８により検出部２０の受光面２０ａで干渉像を形成する。このとき、基準ミラー部１５で反射された光線群と傾斜ミラー部１６で反射された光線群の間に連続的な光路長差分布が存在するため、受光面２０ａにおける干渉像の光強度を検出すると、その光強度が連続的に変化するインターフェログラム（結像強度変化の波形）が得られる。これをフーリエ変換することで被測定物Ｓの一輝点から発せられた光の波長毎の相対強度である分光特性を取得することができる。 （もっと読む）