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Fターム[2G020CC23]の内容

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Fターム[2G020CC23]に分類される特許

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【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第一反射膜551及び第三反射膜553を有する第一基板51と、第一反射膜551に第一ギャップG1を介して対向する第二反射膜552を有する第二基板52と、第三反射膜553に第二ギャップG2を介して対向する第四反射膜554を有する第三基板53と、第一ギャップG1を変更する静電アクチュエーター56とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ar0を有し、第一及び第二反射膜551,552により構成される波長可変干渉部57の複数の測定対象波長域のうちいずれか1つは、第三及び第四反射膜553,554により構成される波長固定干渉部58の複数の透過可能波長域のうちのいずれか1つと重なる。 (もっと読む)


【課題】波長可変干渉フィルターにおける接続信頼性が高い分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光カメラは、測定対象光が入射するテレセントリック光学系11と、測定対象光のうち赤外光を第一光路L1に分離し、可視光を第二光路L2に分離する第一ダイクロイックミラー121と、第一光路L1内に配設され、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、第一光路L1の赤外光及び第二光路L2の可視光を射出光路L3に射出する第二ダイクロイックミラー126と、測定対象光を撮像する撮像部13とを具備した。 (もっと読む)


【課題】迅速なスペクトル特性の測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、光量を検出するディテクター11と、測定対象光のスペクトル特性を測定する制御部20と、を備え、制御部20は、静電アクチュエーターに駆動電圧を印加して反射膜間ギャップを変化させるフィルター駆動部21と、ディテクター11により検出される光量を取得する検出光量取得部23と、検出された光量の遷移状態及び可動基板が有する固有振動周期に基づいて、可動基板の振動中心に対応した光量を目的光量として取得する目的光量取得部24と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】精度の良いスペクトル特性を測定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、発光波長が異なる複数のLEDを備えた光源部16と、所定波長の光を選択して取り出す波長可変干渉フィルター5と、光量を検出するディテクター11と、制御回路部20と、を備え、制御回路部20は、校正モード及び測定モードを切り替えるモード切替部21と、校正モードにおいて外光の特性を解析する外光解析部23と、外光の特性に基づいて各LEDの発光量を設定する基準光設定部24と、測定モードにおいて設定された発光量に基づいて各LEDを駆動させる光源駆動部25と、を備える。 (もっと読む)


【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、波長可変干渉フィルター5により取り出された光の光強度を検出する検出部11と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部21及び電圧制御部15と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部22と、電圧監視部22により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部11により検出された光強度を取得する光強度取得部24と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第1反射膜25が設けられ、第1反射膜25間のギャップ寸法を変位させることができる第1波長可変干渉フィルター20と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第2反射膜35が設けられ、第2反射膜35間のギャップ寸法を変位させることができる第2波長可変干渉フィルター30と、を備え、第1波長可変干渉フィルター20と同じ光軸上に、第2波長可変干渉フィルター30が配置され、第1反射膜25は誘電体多層膜、第2反射膜35は金属膜で形成されている。 (もっと読む)


【課題】 信頼性の高い分光センサを得ることができる分光センサの製造方法を提供する。
【解決手段】 分光センサ1の製造方法は、ハンドル基板上に設けられた表面層をエッチングすることによりキャビティ層21を形成する第1の工程と、第1の工程の後、キャビティ層21上に第1のミラー層22を形成する第2の工程と、第2の工程の後、第1のミラー層22上に光透過基板3を接合する第3の工程と、第3の工程の後、キャビティ層21からハンドル基板を除去する第4の工程と、第4の工程の後、ハンドル基板が除去されたキャビティ層21上に第2のミラー層23を形成する第5の工程と、第5の工程の後、第2のミラー層上に光検出基板4を接合する第6の工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ1は、キャビティ層21並びにキャビティ層21を介して対向する第1及び第2のミラー層22,23を有し、所定の波長範囲の光を入射位置に応じて選択的に透過させる干渉フィルタ部20と、第1のミラー層22側に配置され、干渉フィルタ部20に入射する光を透過させる光透過基板3と、第2のミラー層23側に配置され、干渉フィルタ部20を透過した光を検出する光検出基板4と、を備える。キャビティ層21は、第1及び第2のミラー層22,23によって挟まれたフィルタ領域24と、フィルタ領域24から所定の距離をとってフィルタ領域24を包囲する環状の包囲領域25と、フィルタ領域24の光検出基板4側の端部24eと包囲領域25の光検出基板4側の端部25eとを接続する環状の接続領域26と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ1は、キャビティ層21並びにキャビティ層21を介して対向する第1及び第2のミラー層22,23を有し、所定の波長範囲の光を入射位置に応じて選択的に透過させる干渉フィルタ部20と、第1のミラー層22側に配置され、干渉フィルタ部20に入射する光を透過させる光透過基板3と、第2のミラー層23側に配置され、干渉フィルタ部20を透過した光を検出する光検出基板4と、干渉フィルタ部20と光透過基板3との間に配置された第1のカップリング層11と、を備える。キャビティ層21及び第1のカップリング層11は、シリコン酸化膜である。 (もっと読む)


【課題】迅速に安定状態に移行可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、固定基板51に接合された可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜54と、可動基板52に設けられ固定反射膜54に反射膜間ギャップG1を介して対向する可動反射膜55と、可動基板52を固定基板51側に撓ませて反射膜間ギャップG1のギャップ量を変化させる静電アクチュエーター56と、を具備し、固定基板51及び可動基板52の間には、反射膜間ギャップG1のギャップ量が小さくなった際に、固定反射膜54及び可動反射膜55の間の空気が逃げる解放空間57が設けられ、可動基板52のバネ定数をkとし、反射膜間ギャップG1に存在する空気のバネ定数をkairとした場合に、k≧20×kairの関係を満たす。 (もっと読む)


【課題】低コスト化を図りつつ、可視光領域での波長分離を高精度に行うことができる光学デバイス、光学デバイスの製造方法、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】本発明の光学デバイス1は、可動部21の第2の構造体3側の面上に設けられた第1の駆動電極28と、第2の構造体3上に第1の駆動電極28に対向するように設けられた第2の駆動電極33とを有し、第1の構造体2および第2の構造体3は、金属を主材料として構成された金属層4を介して接合され、かつ、金属層4を導体として第1の駆動電極28と第2の駆動電極33との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるように構成されている。 (もっと読む)


【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜54と、可動基板52に設けられ、固定反射膜54と反射膜間ギャップG1を介して対向する可動反射膜55と、反射膜間ギャップG1を変化させる静電アクチュエーター56と、可動基板52にに設けられ、接地された可動電極562と、を備え、可動電極562は、平面視において、光干渉領域Ar1を覆って可動基板52に設けられ、可動反射膜55は、可動電極562を介して可動基板52に設けられ、固定反射膜54は、可動電極562に電気的に接続された。 (もっと読む)


【課題】精度の良い分光スペクトルを迅速に測定可能な分光測定装置、及び分光測定装置の制御方法を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜、可動反射膜、及び電圧印加により反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、光の光強度を検出するディテクター11と、測定対象光の分光スペクトルを測定する制御回路部20と、を備え、制御回路部20は、ピーク対応ギャップ量を検出するピーク検出部23と、静電アクチュエーターに印加する電圧を設定するフィルター駆動部22と、分光スペクトルを測定する分光測定部24とを備える。フィルター駆動部22は、ギャップ量を、定間隔ギャップ量及びピーク対応ギャップ量に段階的に変化させ、分光測定部24は、各定間隔ギャップ量、ピーク対応ギャップ量に対する光強度を取得する。 (もっと読む)


【課題】迷光が発生するのを防止したマルチバンドカメラを提供する。
【解決手段】互いに分光反射特性が異なる複数の分光反射領域を有する分光反射部21と
、分光反射部21に達した光のうち分光反射領域で反射しない光を吸収する光吸収部26
と、二次元撮像素子40に検出された検出信号に基づいて、複数のマイクロレンズ31に
より形成された複数の分光反射部21の像における分光反射領域に対応した16バンドの
分光強度をそれぞれ算出し、当該分光強度をそれぞれ複数のマイクロレンズ31の配列に
対応させて、16バンドの二次元分光画像を取得する画像処理部50とを備えて構成され
る。 (もっと読む)


【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。また、角度制限フィルターの通過光量を向上する。
【解決手段】角度制限フィルター10は、第1の開口部15を有する第1の遮光層14cと、第1の開口部に位置する第1の光透過膜11cと、第1の開口部に第1の光透過膜11cと重なって位置し、第1の光透過膜より屈折率の小さい第2の光透過膜12cと、を含み、第1の光透過膜11cは、第1の開口部の周縁から第1の開口部の中心に向かって膜厚が大きくなる方向に傾斜した第1の傾斜部を有し、第2の光透過膜12cは、第1の開口部の周縁から第1の開口部の中心に向かって膜厚が小さくなる方向に傾斜した第2の傾斜部を有する。 (もっと読む)


【課題】微小な傾斜構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に犠牲膜を形成する工程(a)と、第1の膜であって、基板に接続された第1の部分と、犠牲膜の上方に位置する第2の部分と、第1の部分及び第2の部分の間に位置する第3の部分と、を含み、且つ、第3の部分の一部、又は、第2の部分と第3の部分との境界部分に、第1の部分より膜厚が薄い領域を有する第1の膜を形成する工程(b)と、犠牲膜を除去する工程(c)と、工程(c)の後に、膜厚が薄い領域において第1の膜を曲げて、第1の膜の第2の部分を基板に対して傾斜させる工程(d)と、を含む。 (もっと読む)


【課題】応答性の向上した波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51の可動基板52と対向する面に形成された第1反射膜54と、可動基板52に設けられ、第1反射膜54とギャップを有して対向する第2反射膜55と、固定基板51の可動基板52に対向する面に設けられた第1電極561と、可動基板52に設けられ、第1電極561と対向する第2電極562と、固定基板51および可動基板52の互いに対向する面に設けられ、固定基板51と可動基板52とを接合する接合部53と、固定基板51および可動基板52の互いに対向する面のうち、少なくとも一方の面に設けられた溝部58と、を備え、第1反射膜54と第2反射膜55との間のギャップを形成する空間と外部とが溝部58を介して連通している。 (もっと読む)


【課題】露光処理の処理期間に光学基板の面間隔が変動せず、分光精度の高い画像を取得でき、高速で波長を切り替えて複数の波長からなる動画を取得しても、波長分解能が高いエタロン型の可変分光素子を用いた分光画像装置の提供。
【解決手段】対向する光学基板の面間隔を可変として複数の波長を選択して透過させる可変分光素子1、撮像素子2、撮像素子からの信号を用いて画像を生成する分光画像生成部3を有する分光画像装置であって、複数の波長の値を入力するための入力部4、入力された波長の値に基づいて光学基板間の面間隔を制御する面間隔制御部5、入力された複数の波長の値を用いて面間隔制御部に対し、撮像素子による当該時点での対象となっている波長での露光処理期間の終了よりも早い所定時期に、撮像素子による次の対象となる波長に対する光学基板間の面間隔制御の開始を指示する開始時期制御部6を有する。 (もっと読む)


【課題】初期面間隔から波長制御に必要とされる面間隔の範囲まで光学基板を高速且つ確実に移動可能な可変分光素子の提供。
【解決手段】一対の光学基板1,1’、光学基板間の静電容量を検出するセンサ2、光学基板の面間隔を変化させるアクチュエータ3、一対の光学基板の面間隔の目標値生成部4、一対の光学基板の面間隔の現在値を検出する面間隔検出部5、一対の光学基板の面間隔の目標値と現在値との差分値に基づき、PID制御により一対の光学基板の駆動量を算出する駆動量算出部6、算出した駆動量に基づく駆動電圧をアクチュエータに印加しうる駆動指令部7を備えた可変分光素子であって、面間隔検出部が検出した一対の光学基板の面間隔の現在値が初期面間隔から波長制御に必要とされる所定面間隔に到達するまでの間と到達した後とで、一対の光学基板の駆動制御方法を異ならせる駆動制御方法切替部8を有する。 (もっと読む)


【課題】光フィルター装置におけるスペクトル測定の測定時間を短縮させ、測定精度を向上させること。
【解決手段】可変エタロン4と、可変エタロン駆動回路13と、受光素子5と、受光素子5に接続されたI−V変換回路6と、I−V変換回路6に接続されゲイン切り替え機能を有する増幅回路7と、増幅回路7に接続されたADコンバーター8と、増幅回路7およびADコンバーター8に接続されたマイコン11と、マイコン11に接続され増幅回路7のゲインのデータであるゲインテーブル14を有する電圧設定メモリー10と、を備え、受光素子5で検出された電流に基づき受光電圧の事前測定を行い、電圧設定メモリー10に記憶させた事前測定で得られた受光電圧に対する増幅回路7のゲインのゲインテーブル14を参照し、事前測定で得られた受光電圧をADコンバーター8のダイナミックレンジに合うように増幅回路7のゲインを調整する。 (もっと読む)


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