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【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第一反射膜551及び第三反射膜553を有する第一基板51と、第一反射膜551に第一ギャップG1を介して対向する第二反射膜552を有する第二基板52と、第三反射膜553に第二ギャップG2を介して対向する第四反射膜554を有する第三基板53と、第一ギャップG1を変更する静電アクチュエーター56とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ar0を有し、第一及び第二反射膜551,552により構成される波長可変干渉部57の複数の測定対象波長域のうちいずれか1つは、第三及び第四反射膜553,554により構成される波長固定干渉部58の複数の透過可能波長域のうちのいずれか1つと重なる。 (もっと読む)


【課題】波長可変干渉フィルターにおける接続信頼性が高い分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光カメラは、測定対象光が入射するテレセントリック光学系11と、測定対象光のうち赤外光を第一光路L1に分離し、可視光を第二光路L2に分離する第一ダイクロイックミラー121と、第一光路L1内に配設され、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、第一光路L1の赤外光及び第二光路L2の可視光を射出光路L3に射出する第二ダイクロイックミラー126と、測定対象光を撮像する撮像部13とを具備した。 (もっと読む)


【課題】ゴーストの防止が可能な小型・高性能の干渉計と分光装置を提供する。
【解決手段】干渉計K2は、コリメータ光学系2,干渉光学系K1,集光光学系5,受光センサ6を備える。コリメータ光学系2は光源1からの光束を平行光にし、干渉光学系K1は平行光を2光束に分離し合成することにより干渉させ、集光光学系5は干渉光学系K1で得られた干渉光を結像させ、受光センサ6は干渉光を受光する受光面6sを有する。受光面6sは、集光光学系5の光軸AXに対して90°以外の角度を成しており、集光光学系5のワーキングディスタンスは、コリメータ光学系2のワーキングディスタンスよりも大きくなっている。 (もっと読む)


【課題】迅速なスペクトル特性の測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜を備えた固定基板、可動反射膜を備えた可動基板、及び電圧印加により可動基板を撓ませて反射膜間ギャップのギャップ量を変化させる静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、光量を検出するディテクター11と、測定対象光のスペクトル特性を測定する制御部20と、を備え、制御部20は、静電アクチュエーターに駆動電圧を印加して反射膜間ギャップを変化させるフィルター駆動部21と、ディテクター11により検出される光量を取得する検出光量取得部23と、検出された光量の遷移状態及び可動基板が有する固有振動周期に基づいて、可動基板の振動中心に対応した光量を目的光量として取得する目的光量取得部24と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】精度の良いスペクトル特性を測定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、発光波長が異なる複数のLEDを備えた光源部16と、所定波長の光を選択して取り出す波長可変干渉フィルター5と、光量を検出するディテクター11と、制御回路部20と、を備え、制御回路部20は、校正モード及び測定モードを切り替えるモード切替部21と、校正モードにおいて外光の特性を解析する外光解析部23と、外光の特性に基づいて各LEDの発光量を設定する基準光設定部24と、測定モードにおいて設定された発光量に基づいて各LEDを駆動させる光源駆動部25と、を備える。 (もっと読む)


【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、波長可変干渉フィルター5により取り出された光の光強度を検出する検出部11と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部21及び電圧制御部15と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部22と、電圧監視部22により監視される電圧が所定の測定対象電圧になった際に検出部11により検出された光強度を取得する光強度取得部24と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第1反射膜25が設けられ、第1反射膜25間のギャップ寸法を変位させることができる第1波長可変干渉フィルター20と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第2反射膜35が設けられ、第2反射膜35間のギャップ寸法を変位させることができる第2波長可変干渉フィルター30と、を備え、第1波長可変干渉フィルター20と同じ光軸上に、第2波長可変干渉フィルター30が配置され、第1反射膜25は誘電体多層膜、第2反射膜35は金属膜で形成されている。 (もっと読む)


【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ1は、キャビティ層21並びにキャビティ層21を介して対向する第1及び第2のミラー層22,23を有し、所定の波長範囲の光を入射位置に応じて選択的に透過させる干渉フィルタ部20と、第1のミラー層22側に配置され、干渉フィルタ部20に入射する光を透過させる光透過基板3と、第2のミラー層23側に配置され、干渉フィルタ部20を透過した光を検出する光検出基板4と、干渉フィルタ部20と光透過基板3との間に配置された第1のカップリング層11と、を備える。キャビティ層21及び第1のカップリング層11は、シリコン酸化膜である。 (もっと読む)


【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ1は、キャビティ層21並びにキャビティ層21を介して対向する第1及び第2のミラー層22,23を有し、所定の波長範囲の光を入射位置に応じて選択的に透過させる干渉フィルタ部20と、第1のミラー層22側に配置され、干渉フィルタ部20に入射する光を透過させる光透過基板3と、第2のミラー層23側に配置され、干渉フィルタ部20を透過した光を検出する光検出基板4と、を備える。キャビティ層21は、第1及び第2のミラー層22,23によって挟まれたフィルタ領域24と、フィルタ領域24から所定の距離をとってフィルタ領域24を包囲する環状の包囲領域25と、フィルタ領域24の光検出基板4側の端部24eと包囲領域25の光検出基板4側の端部25eとを接続する環状の接続領域26と、を有する。 (もっと読む)


【課題】キセノンフラッシュランプを光源とし、測定波長範囲の各波長で異なるパルス発光時間を設定可能とし、取得信号がAD変換回路において飽和しないように積算時間を設定可能な分光光度計を実現する。
【解決手段】キセノンフラッシュランプ1からの光の波長を選択するとともに、その選択した波長に応じた積算時間をAD変換機回路13に設定する。発光強度が強い波長に対しては、AD変換回路13が飽和しない積算時間を設定する。キセノンフラッシュランプを光源1とし、測定波長範囲の各波長において異なるパルス発光時間を設定可能とし、取得信号がAD変換回路13において飽和しないように積算時間を設定可能とし、良好なS/N比であり、かつAD変換回路13の飽和を回避可能な分光光度計及び分光方法を実現することができる。 (もっと読む)


【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜54と、可動基板52に設けられ、固定反射膜54と反射膜間ギャップG1を介して対向する可動反射膜55と、反射膜間ギャップG1を変化させる静電アクチュエーター56と、可動基板52にに設けられ、接地された可動電極562と、を備え、可動電極562は、平面視において、光干渉領域Ar1を覆って可動基板52に設けられ、可動反射膜55は、可動電極562を介して可動基板52に設けられ、固定反射膜54は、可動電極562に電気的に接続された。 (もっと読む)


【課題】2次元画像全体におけるスペクトルの変化等を直観的に把握することを補助するとともに、画像による様々な分析をより容易に進めることを可能とする画像表示装置を提供する。
【解決手段】波長域別画像データを、前記撮像対象について複数の波長域ごとに記憶する波長域別画像データ記憶部12と、撮像された波長域の異なる複数の波長域別画像データを選択し、選択された各波長域別画像データから、それぞれ異なる基本色のみで表現され、各画素が各強度データにそれぞれ対応した輝度を有する基本色画像を構成する基本色画像データをそれぞれ作成する基本色画像データ作成部13と、複数の基本色波長の異なる基本色画像データを合成して1つの合成画像データを作成する合成画像データ作成部14と、前記合成画像データを画像として表示する合成画像表示部15と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】測定対象に応じた適切な空間分解能で複数位置の分光特性を取得可能な分光特性取得装置を提供する。
【解決手段】光照射手段11から前記画像担持媒体90に照射された光の反射光を複数の開口部を有する開口部列により複数の領域に分割し、分光手段15により複数の開口部に対応する複数の回折像を形成された複数の回折像を受光手段16の複数の画素で受光して電気信号に変換し、演算手段17により画像担持媒体の複数の位置における反射光の光量の割合を示す分光特性を演算し、演算手段は隣接するa個(aは2以上の自然数)の回折像の電気信号に対応する分光特性を算出するための変換行列を記憶する変換行列記憶手段17aと、隣接するa個の前記回折像の電気信号とそれに対応する変換行列とから隣接するa個の回折像の開口部に対応する画像担持媒体の位置における分光特性を算出する分光特性算出手段17bとを有する。 (もっと読む)


【課題】空間光を簡易な構成で効率的に光ファイバに入力可能な空間光測定用光ファイバ変換器を提供する。
【解決手段】本発明の空間光測定用光ファイバ変換器は、集光鏡と、集光鏡の焦点にその先端が配置され集光鏡で反射された光が入射される光ファイバプローブと、を備える。集光鏡は、例えば放物面鏡や楕円面鏡である。楕円面鏡の場合、光ファイバプローブは、楕円面鏡の一方の焦点にその先端が配置され、楕円面鏡の他方の焦点に配置された点光源からの光が、楕円面鏡で反射されて前記光ファイバプローブに入射される。 (もっと読む)


【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第1の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における2次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する2次元アレイ光検出手段と、前記2次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第1及び第2の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット140は、光を略平行光束にするコリメータ光学系141と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部148と、光路分割部148により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子143(1431〜1433)と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が2次元状に配置された受光器145と、分光素子からの分光光を受光器145の受光素子面に結像させる集光光学系144と、を有する。 (もっと読む)


【課題】低コスト、高速、且つ小型化された分光光度計を提供する。
【解決手段】分光光度計は、円形アレイ状に配列された複数のLED90を含んでおり、各アレイは、パルス幅変調の使用によって確定される較正電力入力を有し、且つ、固有の蛍光燐光体被覆又はレンズの活用によって確定される固有の波長帯域を有している。LEDの内の少なくとも1つは、燐光体を含んでいない高エネルギーUV LEDを備えている。分光光度計へと反射される光は、線形可変フィルター116と光検出器117を活用することによって所定の波長範囲に分割され、光検出器からのアナログ信号は、自動範囲設定利得技法を使用することによってデジタル値に変換される。 (もっと読む)


【課題】ホモダイン検波方式を採用した電磁波分光測定システムの測定時間や測定精度を向上し、小型化すること。
【解決手段】機械的な駆動機構を有する遅延線に代えて、電気的に位相変調可能な光位相変調器4を使用する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、広い波長帯域で使用でき、測定精度を向上し得る、屈折率および屈折率温度係数の測定装置を提供する。
【解決手段】窓601を介して恒温槽6内部に入射し、ウェッジプリズム型試料7の第1面701で反射した後に窓601を介して恒温槽6外部へ射出した平行光束か、または窓601を介して恒温槽6内部に入射し第1面701から試料7内部に入射し第2面702の裏面で反射した後に第1面701を経て試料7外部へ射出し、窓601を介して恒温槽6外部へ射出した平行光束が、コリメータ部5に戻りコリメータミラー502で集光された後にミラースリット501のミラー面501aで反射された光束を受信する測定光デテクタ11と、試料回転ステージ8の回転制御を行い、測定光デテクタ11からの出力と回転角度検出部8aで検出された試料回転ステージ8の回転角度との関係に基づき、試料7の屈折率を算出する解析制御部15とを有する。 (もっと読む)


【課題】波長分解能と回折効率をともに向上し、しかも反射損失を低減できる透過型回折格子を用いた分光装置、検出装置及び分光装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】入射光を透過する透過型回折格子を含む分光装置であって、透過型回折格子は、基材100より第1方向Xに沿って周期的に突出する複数の突起110を有し、複数の突起が傾斜面140を有し、傾斜面は、基材に垂直な基準線に対して傾斜し、透過型回折格子への入射光の入射角度を基準線に対して角度αとし、回折光の回折角度を基準線に対して角度βとする場合に、入射角度αは、傾斜面に対するブラッグ角度θよりも小さい角度であり、回折角度βは、ブラッグ角度θよりも大きい角度であり、複数の突起の各々は、傾斜面からの第1方向での距離が異なるに従い、複数の突起の各々と空気との界面に至る基材からの突出高さが異なる第1反射防止構造150(160)を有する。 (もっと読む)


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