【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット１４０は、光を略平行光束にするコリメータ光学系１４１と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部１４８と、光路分割部１４８により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子１４３（１４３１〜１４３３）と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が２次元状に配置された受光器１４５と、分光素子からの分光光を受光器１４５の受光素子面に結像させる集光光学系１４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】分光装置における光学部材の位置調整を容易化する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列された分光部５と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対向して設けられた複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋを有する波長選択部２５と、光電面７、複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍ及び複数のアノード１４を有する光電子増倍管２と、波長選択部２５を筐体内で保持する保持部５０とを備え、保持部５０は、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋが一方向に配列された本体部５１と、本体部５１から互いに対向するように突出する一対の壁部５２，５２と、を含み、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの配列方向に沿って一対の壁部５２，５２の間に配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定結果へのノイズの影響を低減し、スペクトルデータの段差を改善することができる分光光度計の提供。
【解決手段】試料に向かって光を出射する光源部３０と、試料を透過した光が入射する光検出器７と、光源部３０及び光検出器７を制御する制御部２１とを備え、光源部３０は、赤外領域及び可視領域の光を出射する第一光源１と、紫外領域の光を出射する第二光源２とを有し、制御部２１は、切替設定波長で第一光源１の点灯と第二光源２の点灯とを切り替えることが可能な分光光度計１０であって、光源部３０は、切替設定波長を含む波長領域の光を出射する発光ダイオード３を有し、制御部２１は、第一切替設定波長で第一光源１の点灯と発光ダイオード３の点灯とを切り替え、第二切替設定波長で発光ダイオード３の点灯と第二光源２の点灯とを切り替えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光の損失を抑制する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されたダイクロイックミラーアレイ２１と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと略平行に対面する反射部材２３と、を有する分光部５と、ダイクロイックミラーアレイ２１からの透過光を光電変換する光電面７と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍと、チャンネルＣ_ｍの各々に対応して設けられた複数のアノード１４とを有する光電子増倍管２と、を備え、分光部５は、ダイクロイックミラーアレイ２１と反射部材２３との間に透光性材料からなる透光ブロック２０を更に有し、透光ブロック２０の反射面２０ｃに反射部材２３が設けられ、反射面２０ｃと対向する分光面２０ｂにダイクロイックミラーアレイ２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分析時間が長くなることやデータの精度を低下させることなく、光電子増倍管を用いた非稼動の検出器の保護を行う。また、測定精度を保証するため光電子増倍管を用いた検出器に印加される印加電圧の監視を行う。
【解決手段】ＡＤ変換器を増やすことなく、暗信号の安定待機時間中に、電圧を印加された光電子増倍管によって異常な出力を検知したときに光電子増倍管の電源をオフにする。また、測定信号安定待機時間中に、光電子増倍管を用いた検出器に印加される電圧の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎの低下を抑制しつつ、各セルにより検出された光のゲインをセル毎に設定することができる光検出装置および観察装置を提供する。
【解決手段】標本Ａからの光を検出して電気信号に変換するセルを複数有するマルチセル光検出器５２と、マルチセル光検出器５２により変換された電気信号を増幅する光検出回路５３とを備え、光検出回路５３が、各セルにより変換された電気信号のそれぞれの増幅率を設定する入力部４４と、入力部４４により設定された増幅率に応じて１画素として積算する電気信号のサンプリング数を決定し、決定したサンプリング数の電気信号を積算するＡＤデータ演算部とを備える光検出装置５０を採用する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の安定性と高い検出感度とを有する分光蛍光光度計を提供する。
【解決手段】 照射部１００と、試料室２０と、光検出器３２とを備える検出部３０と、励起分光器１２を制御することにより、光検出器３２で目的波長領域の光強度を検出させることで、スペクトルを取得する制御部５１とを備える分光蛍光光度計１であって、光検出器３２は、光電子増倍管であり、光電子増倍管３２の陰極に、設定印加電圧値を印加する電圧発生部４３と、光電子増倍管３２の陽極から出力される光強度を示す電荷パルス数をカウントするカウンタ回路４４とを備え、制御部５１は、試料を分析する前に、電圧発生部４３を制御することにより、設定印加電圧値を変更し、各設定印加電圧値におけるそれぞれの電荷パルス数の時間変化を測定し、時間変化に基づいて、試料を分析する際に設定する設定印加電圧値となるプラトー電圧を決定する。 （もっと読む）

【課題】 広い測定波長範囲を高い回収効率で測定することができ、かつ、４００ｎｍ以下の波長のスペクトルを測定することができる分光器の提供。
【解決手段】入口スリットを有する入射光部２２と、入口スリットから入射した光を分光する回折格子２３、３３と、回折格子２３、３３で分光した光を検出する検出器２４、３４とを備える分光器１であって、入口スリットから入射した光を第一の光と第二の光とに光量分割する光学素子３０を備え、回折格子２３、３３は、第一の光を分光する第一回折格子２３と、第一回折格子２３のブレーズ波長と異なるブレーズ波長を有し、第二の光を分光する第二回折格子３３とを有し、検出器２４、３４は、第一回折格子２３で分光した光を検出するフォトダイオードアレイ、ＣＭＯＳ又はＣＣＤ２４と、第二回折格子３３で分光した光を検出する光電子増倍管３４とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】励起光及び蛍光の波長組合せを切り替えながら励起光及び蛍光の検出を繰り返す多波長同時検出において、検出信号のＡ／Ｄ変換処理に割り当てる時間を長くすることでノイズ低減を図る。
【解決手段】４波長同時検出において、波長組合せ切り替え前後の励起光波長λEXの差、蛍光波長λEMの差が０でない場合には、それぞれ波長差から回折格子を回動させるモータの駆動時間Ｙ１、Ｙ２を計算し（Ｓ４、Ｓ８）、さらに回折格子が停止するに要する時間を見込み、１波長に割り当てられた切替時間のうちの残りをＡ／Ｄ変換時間Ｚ１、Ｚ２として求める（Ｓ６、Ｓ１０）。励起光の波長が設定された状態でないと蛍光検出は行えないので、Ｚ１＜Ｚ２のときにはＺ２もＺ１に揃え、そのチャンネルのＡ／Ｄ変換時間を決定する。このように決められた時間に基づく積算回数だけＡ／Ｄ変換後のデータを積算して測光値を求めることで、ノイズ低減を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット４０、第１色消しレンズ２０、グリズム１０、第２色消しレンズ３０、検出器５０を備える分光器で、第１色消しレンズ２０と、グリズム１０と、第２色消しレンズ３０は、ＬｉＦ、ＭｇＦ２から選ばれて形成される。第１色消しレンズ２０は、第１屈折レンズ２１と複数のバイナリ型回折格子を有する第１回折レンズ２２とを有する。第２色消しレンズ３０は、第２屈折レンズ３２と複数のバイナリ型回折格子を有する第２回折レンズ３２とを有する。グリズム１０は、第１色消しレンズ２０と第２色消しレンズ３０との間に設置され、プリズム１１と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子１２とを有する。第１回折レンズ２２のバイナリ型回折格子と、第２回折レンズ３２のバイナリ型回折格子と、グリズム１０の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は５ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 高次回折光を取り除いた分光測定を行うに際し、手間がかからず、走査高速化に対応でき、データの不連続性も生じないようにする。
【解決手段】 被測定光は、走査機構２により回転される回折格子１により分光され、受光器３に入射する。回折格子１と受光器３との間の光軸上には、測定波長の高次回折光を遮断するカットフィルター７が配置されている。カットフィルター７は干渉フィルターであり、カットフィルター７の配置角度はフィルター駆動機構７１により変化する。フィルター駆動機構７１は、カットフィルター７の回転軸を、走査機構２が備える回折格子１の回転軸に連結して連動させる。 （もっと読む）

本発明は、受け取られた光のスペクトル成分を検出するスペクトル検出装置１００であって、前記受け取られた光をフィルタリングする及び所定の波長範囲内の波長を有する光を出力するフィルタリング構造１１０と、フィルタリング構造１１０により出力された光を検出する光センサ１２０とを有するスペクトル検出装置１００において、フィルタリング構造１１０は、時間とともに前記所定の波長範囲の変化を可能にするように可変である、スペクトル検出装置１００に関する。この配置は、低い費用において、提供されることができる小型のスペクトル検出装置を可能にする。
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検出光路と、少なくとも１つの第１の結像光学系（２、５）とを備えるレーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器であって、第１の結像光学系が、スペクトル分散されたプローブ光をフーリエ面に結像し、それにより、フーリエ面で、プローブ光の個々のスペクトル成分が空間的に互いに分離され、フーリエ面にはマイクロミラーアレイ（４）が設けられ、マイクロミラーの制御により、検出光線のスペクトル選択性偏向が行われ、検出器光線の有用光成分が検出器に達する、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器において、スペクトル選択を向上するために、少なくとも１つの第２のマイクロミラーアレイ（１５）が提供され、第２のマイクロミラーアレイへの第１のマイクロミラーアレイの１対１結像が提供されるか、または同じマイクロミラーアレイを光が少なくとも２回通過し、光学手段を通る第１の通過と第２の通過の間の光路内で、少なくともマイクロミラーアレイ上での第１の通過時と第２の通過時の光線の空間的なずれが生成される、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器。
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【課題】光源を点灯後速やかに安定で精密な蛍光測定を行うことができる分光蛍光光度計を提供する。
【解決手段】ランプスイッチ２５がＯＦＦの場合、負高圧・ＡＤ変換回路２２はモニター用光電子増倍管２０と蛍光用光電子増倍管２１に印加する負高圧を基準値例えば−５００Ｖに設定しウォーミングアップする。ウォーミングアップ完了後、操作者がランプスイッチ２５をＯＮにし、キセノンランプ１を点灯すると、負高圧・ＡＤ変換回路２２はダイノードフィードバック方式を作動させる。蛍光用光電子増倍管２１の出力値はキセノンランプ１の出力変動の影響が補正された値になり、該出力値はデジタルデータに変換されデータ処理・制御部２３を介して蛍光強度値として表示される。 （もっと読む）

【課題】高次光を除去するための光学フィルタなどの光学素子を光路に着脱可能に挿入するための機構として、専用のアクチュエータやそれを制御する回路やソフトウエア類を設けることをせず、回折格子を回転させるための駆動機構に従動して光学素子を移動させるようにする。
【解決手段】分光器の回折格子１０と一体化され、回折格子１０とともに回転駆動される駆動アーム２０を設ける。光路上に着脱可能に配置される光学素子２８を支持する支持体を従動アーム２２とし、従動アーム２２は回折格子１０の波長走査のための回転範囲外の回転角度範囲において駆動アーム２０と当接する位置に配置され、駆動アーム２０の当接により駆動されて光学素子２８を光路上の位置と光路から外れた位置との間で移動させるように変位可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定所要時間を延ばすことなく信号のノイズを低減し、吸光度等の計算値の精度を向上させる。
【解決手段】被測定試料の透過光による試料側測定信号及び参照試料の透過光による参照側測定信号については、セクタ鏡の回転に伴う１サイクル中に得られるデータのみを積算し平均値を算出する。一方、光検出器に光を入射しない暗信号については、複数サイクルに跨って得られるデータを積算し平均値を算出する。暗信号は時間経過に伴う変化が緩慢であるため、複数サイクルに亘る積算を実行しても信号の鈍り等の問題が生じない。３サイクルに亘る暗信号データの積算を行うとノイズは従来の１／√３に下がるため、１サイクルの時間、即ち測定所要時間が従来と同じでも暗信号を除去した測定信号のＳＮ比を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】ユーザによる煩雑な操作を行うことなく、キセノンランプの電極消耗による発光点像の位置変動を容易に補正することのできる分光蛍光光度計を提供する。
【解決手段】キセノンランプから成る光源１１と、光源１１の光を反射する反射鏡１２と、反射鏡１２によって反射された光から所定波長の光を励起光として分離する第１の分光系１３〜１５と、前記励起光を受けて試料が発する光を分光する第２の分光系２１〜２３と、該第２の分光系で分光された光を検出する検出器２５と、反射鏡１２の角度を変更する反射鏡駆動手段３０と、検出器２５からの出力信号が最大となるように反射鏡駆動手段３０を制御する制御手段４１、４２とを設ける。制御手段４１、４２が検出器２５からの出力信号に基づいて反射鏡駆動手段３０を制御することにより、反射鏡１２の角度が最大励起光量が得られる最適角度へと自動的に調整される。 （もっと読む）

【課題】交流電源の電源周波数に依存せずに、常に検出下限性能が最適化された状態で測定データを取得することができる原子吸光分光光度計を提供する。
【解決手段】原子吸光分光光度計１１０に搭載されたマイコンチップ４２上で動作する制御プログラムにおいて、交流モータ２２を駆動させる交流電源周波数（５０Hz／６０Hz）の各場合に対して検出下限性能を最適化した、光源１１、１２の点灯期間及びサンプリングデータ抽出期間を複数記憶しておく。装置使用時、制御プログラムにより、装置で使用している交流電源の電源周波数が識別され、記憶されている複数の点灯期間及びサンプリングデータ抽出期間の中から、識別された電源周波数及び予め装置使用者により設定された測定モードに対応したものが選択され、適切な点灯期間がハードウェア（ＰＬＤ４３）に設定される。これにより、電源周波数に依存せずに、常に検出下限性能が最適化された状態で測定データを取得することができる。 （もっと読む）