【課題】広い波長帯域の光から特定の波長を抽出可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第一反射膜５５１及び第三反射膜５５３を有する第一基板５１と、第一反射膜５５１に第一ギャップＧ１を介して対向する第二反射膜５５２を有する第二基板５２と、第三反射膜５５３に第二ギャップＧ２を介して対向する第四反射膜５５４を有する第三基板５３と、第一ギャップＧ１を変更する静電アクチュエーター５６とを備え、平面視において各反射膜が重なる光干渉領域Ａｒ０を有し、第一及び第二反射膜５５１，５５２により構成される波長可変干渉部５７の複数の測定対象波長域のうちいずれか１つは、第三及び第四反射膜５５３，５５４により構成される波長固定干渉部５８の複数の透過可能波長域のうちのいずれか１つと重なる。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性が良好で、また、エッチング装置内のプラズマの発光状態が正常かどうかを容易にモニタできる安価な分光器を提供する。
【解決手段】固定形の回折格子３０で分光された分光光に対応した複数のスリットを有する固定形のスリット部３を設置するとともに、特定波長の分光光のみ透過可能なマスクをスリット部３の入射側前面に設置し、さらに複数の前記分光光のすべての検出が可能な大きさを有する検出器を備える。また、回折格子で反射されたゼロ次光を検出するゼロ次光検出器を設置することにより、ゼロ次光の信号出力がプラズマの発光状態と対応しているという性質を利用して、取得したゼロ次光の信号出力から、プラズマの発光状態をモニタする。 （もっと読む）

【課題】 少ないバンド数の画像と、マルチスペクトルフィルタアレイの画像をセットで取得し、信号処理によりスペクトル画像を復元することで、イメージングセンサの枚数を減らし、ワンショット撮影も可能とする。
【解決手段】 被写体像に対して、広帯域の分光感度特性に対応する３色以上の第１の色数と第１の画素数を有する第１の画像の画像情報を第１のイメージセンサ１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂにより取得するとともに、上記被写体像に対して、第２の画素数を有し、画素ごとに異なる分光感度特性に対応する第２の色数を有し、その分光感度特性は狭帯域で上記広帯域の分光感度特性と重なりを有し、全ての画素を集めたときの色数は上記第１の色数よりも多い第３の色数である第２の画像の画像情報を第２のイメージセンサ１４により取得し、取得された上記第１の画像の画像情報と上記第２の画像の画像情報に基づいて、上記被写体像に対するマルチスペクトル画像情報として、上記記第３の色数と上記第１の画素数を有する第３の画像の画像情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成でマイグレーションの発生を抑制しつつ光学素子を所望の姿勢に補正する姿勢補正装置を得る。
【解決手段】姿勢補正装置３０は、圧電素子１１０と、圧電素子１１０に駆動電圧を印加する駆動回路１１１とを備える。駆動回路１１１は、所定の補正条件に応じて圧電素子１１０に駆動電圧を印加することによって、圧電素子１１０を伸縮させ、駆動電圧が印加された圧電素子１１０の伸縮を利用して光学素子１５の姿勢を補正する第１電圧印加モードと、駆動回路１１１が第１電圧印加モードにおいて圧電素子１１０に印加する駆動電圧とは異なる所定の交流電圧を圧電素子１１０に印加することによって、圧電素子１１０を発熱させ、圧電素子１１０に含有される水分量を低減させる第２電圧印加モードとを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明に係る分光モジュール１では、分光部４に進行する光Ｌ１が光通過孔５０を通過するに際し、分光部４側に向かって先細りとなる光入射側部５１を抜け、光入射側部５１の底面５１ｂと対向するように形成された光出射側部５２に入射した光のみが光出射開口５２ａから出射される。このため、光入射側部５１の側面５１ｃや底面５１ｂに入射した迷光Ｍは、光出射側部５２と反対側に反射されるので、光出射側部５２に迷光が入射することを抑制することができる。従って、分光モジュール１の信頼性を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】顕微領域およびマクロ領域それぞれの分光データを一括取得する。
【解決手段】分光計測装置は、測定対象光を２つに分離するビームスプリッター（３）と、スリットに入射した光を分光する分散素子及びこの分散素子によって分光された光を受光する２次元ＣＣＤアレイからなる分光器（１０）と、第１の光を導くシングルモードファイバー（５）と、第２の光を導くマルチモードファイバー（８）と、ファイバー（５，８）の出射側の端面から出射する２つの測定対象光を分光器（１０）のスリットに集光するファイバー集光光学系（９）とを備える。ファイバー集光光学系（９）は、ファイバー（５，８）の出射側の端面を、２つの測定対象光による干渉の影響を受けない間隔であって、かつ２つの測定対象光を２次元ＣＣＤアレイの受光面上の別々の位置に独立に集光可能な間隔で並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】ノイズを含まず分光精度が高い光学フィルターデバイスを提供する。
【解決手段】光の反射特性および透過特性を有する一対の第１反射膜２５が設けられ、第１反射膜２５間のギャップ寸法を変位させることができる第１波長可変干渉フィルター２０と、光の反射特性および透過特性を有する一対の第２反射膜３５が設けられ、第２反射膜３５間のギャップ寸法を変位させることができる第２波長可変干渉フィルター３０と、を備え、第１波長可変干渉フィルター２０と同じ光軸上に、第２波長可変干渉フィルター３０が配置され、第１反射膜２５は誘電体多層膜、第２反射膜３５は金属膜で形成されている。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光センサを提供する。
【解決手段】 分光センサ１は、キャビティ層２１並びにキャビティ層２１を介して対向する第１及び第２のミラー層２２，２３を有し、所定の波長範囲の光を入射位置に応じて選択的に透過させる干渉フィルタ部２０と、第１のミラー層２２側に配置され、干渉フィルタ部２０に入射する光を透過させる光透過基板３と、第２のミラー層２３側に配置され、干渉フィルタ部２０を透過した光を検出する光検出基板４と、干渉フィルタ部２０と光透過基板３との間に配置された第１のカップリング層１１と、を備える。キャビティ層２１及び第１のカップリング層１１は、シリコン酸化膜である。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光センサを得ることができる分光センサの製造方法を提供する。
【解決手段】 分光センサ１の製造方法は、ハンドル基板上に設けられた表面層をエッチングすることによりキャビティ層２１を形成する第１の工程と、第１の工程の後、キャビティ層２１上に第１のミラー層２２を形成する第２の工程と、第２の工程の後、第１のミラー層２２上に光透過基板３を接合する第３の工程と、第３の工程の後、キャビティ層２１からハンドル基板を除去する第４の工程と、第４の工程の後、ハンドル基板が除去されたキャビティ層２１上に第２のミラー層２３を形成する第５の工程と、第５の工程の後、第２のミラー層上に光検出基板４を接合する第６の工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】２次元画像全体におけるスペクトルの変化等を直観的に把握することを補助するとともに、画像による様々な分析をより容易に進めることを可能とする画像表示装置を提供する。
【解決手段】波長域別画像データを、前記撮像対象について複数の波長域ごとに記憶する波長域別画像データ記憶部１２と、撮像された波長域の異なる複数の波長域別画像データを選択し、選択された各波長域別画像データから、それぞれ異なる基本色のみで表現され、各画素が各強度データにそれぞれ対応した輝度を有する基本色画像を構成する基本色画像データをそれぞれ作成する基本色画像データ作成部１３と、複数の基本色波長の異なる基本色画像データを合成して１つの合成画像データを作成する合成画像データ作成部１４と、前記合成画像データを画像として表示する合成画像表示部１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で所定の波長領域に於けるスペクトル画像を取得可能なスペクトル画像取得装置を提供する。
【解決手段】対物レンズを含む第１光学系４７，４８と、該第１光学系を介する光束の一部を選択的に通過させる光束選択部材５５と、該光束選択部材が物側焦点位置又は略物側焦点位置となる様配置されると共に干渉膜が形成され、前記光束選択部材の位置に応じて該光束選択部材を通過する光束の波長領域を選択する光学部材５８と、該光学部材へ光束を導く第２光学系４９と、前記光学部材により選択される波長領域の光を受光する撮像素子５２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、複数の異なる種類の光ファイバを用いて測定を行なえる光スペクトラム測定装置を提供する。
【解決手段】光バンドパスフィルタの中心波長を変化させ、被測定光の光スペクトラムを測定する光スペクトラム測定装置であって、異なる種類の光ファイバに対応した複数個の光コネクタと、分岐側の各光ファイバが複数個の光コネクタとそれぞれ接続し、バンドル側が光バンドパスフィルタの光入力端に接続したバンドル光ファイバと、を備えた光スペクトラム測定装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象に応じた適切な空間分解能で複数位置の分光特性を取得可能な分光特性取得装置を提供する。
【解決手段】光照射手段１１から前記画像担持媒体９０に照射された光の反射光を複数の開口部を有する開口部列により複数の領域に分割し、分光手段１５により複数の開口部に対応する複数の回折像を形成された複数の回折像を受光手段１６の複数の画素で受光して電気信号に変換し、演算手段１７により画像担持媒体の複数の位置における反射光の光量の割合を示す分光特性を演算し、演算手段は隣接するａ個（ａは２以上の自然数）の回折像の電気信号に対応する分光特性を算出するための変換行列を記憶する変換行列記憶手段１７ａと、隣接するａ個の前記回折像の電気信号とそれに対応する変換行列とから隣接するａ個の回折像の開口部に対応する画像担持媒体の位置における分光特性を算出する分光特性算出手段１７ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】迷光が発生するのを防止したマルチバンドカメラを提供する。
【解決手段】互いに分光反射特性が異なる複数の分光反射領域を有する分光反射部２１と
、分光反射部２１に達した光のうち分光反射領域で反射しない光を吸収する光吸収部２６
と、二次元撮像素子４０に検出された検出信号に基づいて、複数のマイクロレンズ３１に
より形成された複数の分光反射部２１の像における分光反射領域に対応した１６バンドの
分光強度をそれぞれ算出し、当該分光強度をそれぞれ複数のマイクロレンズ３１の配列に
対応させて、１６バンドの二次元分光画像を取得する画像処理部５０とを備えて構成され
る。 （もっと読む）

【課題】高速で予め定められた間隔の波長分解能で分光可能な顕微鏡用分光分析装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用分光分析装置において、試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を平行光束にする第１の光学手段と、予め定められた透過波長帯域の光を透過する第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段と、光透過の光学板からなり、前記第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段によって生じる、蛍光やラマン散乱光その他の光の光軸における２次元平面の位置ずれ光軸調整手段と、透過波長帯域の試料から発する蛍光やラマン散乱光その他の光を撮像する２次元アレイ光検出手段と、前記２次元アレイ光検出手段の撮像のタイミングを制御し、第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段の透過波長帯域を変更するように第１及び第２の可変バンドパスフィルタ手段とを制御するとともに、前記光軸調整手段を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０に位置するフォトダイオード用の不純物領域３１、３２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の波長を制限するための光バンドパスフィルター６１、６２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。光バンドパスフィルター６１、６２は、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２と角度制限フィルター４１、４２の間に位置し、角度制限フィルター４１、４２は、半導体プロセスによって形成された遮光物質（光吸収物質または光反射物質）によって形成される。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造可能な製造方法を提供する。
【解決手段】基板の上方に第１の層を形成する工程（ａ）と、第１の層の上方に第２の層を形成する工程（ｂ）と、第２の層の上方に第３の層を形成する工程（ｃ）と、第３の層に、基板の面と交差する方向の端面を形成する工程（ｄ）と、第３の層の端面をエッチングし、第３の層の端面のエッチングによって露出した第２の層を順次エッチングするとともに、第２の層のエッチングによって露出した第１の層を順次エッチングする工程（ｅ）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット１４０は、光を略平行光束にするコリメータ光学系１４１と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部１４８と、光路分割部１４８により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子１４３（１４３１〜１４３３）と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が２次元状に配置された受光器１４５と、分光素子からの分光光を受光器１４５の受光素子面に結像させる集光光学系１４４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高速、且つ小型化された分光光度計を提供する。
【解決手段】分光光度計は、円形アレイ状に配列された複数のＬＥＤ９０を含んでおり、各アレイは、パルス幅変調の使用によって確定される較正電力入力を有し、且つ、固有の蛍光燐光体被覆又はレンズの活用によって確定される固有の波長帯域を有している。ＬＥＤの内の少なくとも１つは、燐光体を含んでいない高エネルギーＵＶ ＬＥＤを備えている。分光光度計へと反射される光は、線形可変フィルター１１６と光検出器１１７を活用することによって所定の波長範囲に分割され、光検出器からのアナログ信号は、自動範囲設定利得技法を使用することによってデジタル値に変換される。 （もっと読む）

【課題】分光センサー及び角度制限フィルターを小型化する。また、角度制限フィルターの通過光量を向上する。
【解決手段】角度制限フィルター１０は、第１の開口部１５を有する第１の遮光層１４ｃと、第１の開口部に位置する第１の光透過膜１１ｃと、第１の開口部に第１の光透過膜１１ｃと重なって位置し、第１の光透過膜より屈折率の小さい第２の光透過膜１２ｃと、を含み、第１の光透過膜１１ｃは、第１の開口部の周縁から第１の開口部の中心に向かって膜厚が大きくなる方向に傾斜した第１の傾斜部を有し、第２の光透過膜１２ｃは、第１の開口部の周縁から第１の開口部の中心に向かって膜厚が小さくなる方向に傾斜した第２の傾斜部を有する。 （もっと読む）