【課題】本発明は、試料表面の誘電特性を的確に測定できる装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、試料表面の誘電特性測定方法は、検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙を液状誘電体で充填して、前記液状誘電体の接する試料表面の誘電特性を測定すること、また、試料表面の誘電特性測定装置であって、試料を保持する保持部材には、試料の非測定箇所の表面に密着し、測定箇所表面とは間隙を有して前記試料を保持する密着支持部が設けられていて、前記試料の測定箇所表面と電極及び保持部材との間の間隙内に前記液体誘電体を充填する液注入口が前記保持部材に設けられていることを特徴とする試料表面の誘電特性測定装置を採用した。 （もっと読む）

【課題】広い周波数で誘電体の誘電率を精度よく測定可能な、誘電率の測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】測定試料１は、誘電体試料１１および誘電体試料１１の主表面１３，１４に配置された導体板１２とを備える。測定試料１はフィルタとしての機能を有する。導体板１２により、透過率が極小値となる周波数を変更することができる。スペクトラムアナライザ４は、送信アンテナ２から測定試料１に照射される平面波の周波数を走査する。受信アンテナ３およびスペクトラムアナライザ４は、測定試料１を透過した平面波の電界強度を測定する。コンピュータ５は、コンピュータ５に入力されたパラメータおよびスペクトラムアナライザ４による測定結果を用いて、ＦＤＴＤ法に従う数値計算によって誘電体試料１１の誘電率を算出する。 （もっと読む）

【課題】薄膜誘電体の誘電特性測定に用いる微小薄膜キャパシタンス素子及び薄膜誘電特性測定評価方法であって、高周波数帯域における誘電体の誘電特性を高精度に測定評価することのできる微小薄膜キャパシタンス素子及びそれを用いた薄膜誘電特性測定評価方法を提供する。
【解決手段】薄膜誘電体７の誘電特性測定に用いる微小薄膜キャパシタンス素子１であって、被測定試料としての誘電体薄膜７が第１の電極層２ａと第２の電極層６との間に挟まれてなるキャパシタ部２と、前記第１の電極層２ａに電気的に接続されたコンタクト電極３と、前記第２の電極層６に電気的に接続され、前記コンタクト電極３の周りに形成されたグランド電極４とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定周波数１０ＭＨｚ〜１ＧＨｚ帯における誘電正接の良否を容易にかつ正確に判定できる誘電正接測定装置および誘電正接良否判定方法を提供する。
【解決手段】本発明の誘電正接測定装置は、数ＭＨｚ帯の周波数における試料の誘電正接を測定する第１測定部１１と、数ＧＨｚ帯の周波数における試料の誘電正接を測定する第２測定部１３と、第１測定部１１および第２測定部１３で測定された誘電正接の両方を表示する表示部１９とを具備する。このような誘電正接測定装置では、試料の数ＭＨｚ帯における誘電正接と数ＧＨｚ帯における誘電正接を、第１測定部１１、第２測定部１３でそれぞれ測定することができ、これらの誘電正接の両方が表示部１９にそれぞれ表示され、測定された数ＭＨｚ帯における誘電正接と数ＧＨｚ帯における誘電正接のうち高い方の誘電正接が５×１０^−４以下である場合には良品として判定できる。 （もっと読む）

【課題】被測定基板を特定の形状に加工する等の工程を必要とせず、しかも必要とする周波数帯域における誘電正接の値を簡便に評価可能にする。
【解決手段】被測定基板３０の表面にコプレーナ線路を形成する第１ステップと、Ｓパラメータを求める第２ステップと、Ｓパラメータからコプレーナ線路の減衰定数α_mを求める第３ステップと、コプレーナ線路の等価回路に基づいてコプレーナ線路の減衰定数α_cを求める第４ステップと、減衰定数α_mと減衰定数α_cとの差を最小とする誘電正接の値を、被測定基板の誘電正接の値であると評価する第５ステップとを具える誘電正接評価方法である。Ｓパラメータを求めるための小信号特性評価装置は、ネットワークアナライザ２４、被測定基板搭載ステージ２８、プローブヘッド３２−１及び３２−２を具えている。被測定基板は、被測定基板搭載ステージに設置される。 （もっと読む）

【解決手段】導電材料から形成されたチャンバが、接地電位に接続される。導電材料から形成された高温電極が、チャンバ内で略水平方向に配置され、チャンバから物理的に分離されている。高温電極は、測定される部品を支持するよう規定された上面を備える。高周波（ＲＦ）伝送ロッドが、高温電極の底面からチャンバの底部の開口部を通って伸びるように結合され、チャンバから物理的に分離されている。ＲＦ伝送ロッドが、電気素子ハウジングの導電体プレートから高温電極にＲＦ電力を伝送するよう規定される。導電材料から形成された上側電極が、チャンバ内で略水平方向に配置される。上側電極は、チャンバに電気接続され、垂直方向に移動可能なように規定される。 （もっと読む）

【課題】極度劣化油ｔａｎδを有するＯＦケーブル線路のｔａｎδ分布及び発熱特性を、線路から採取される絶縁油ｔａｎδをベースに的確な方法で推定すること。
【解決手段】経年ＯＦケーブル線路から絶縁油を採取しｔａｎδを測定する。そして、測定した絶縁油のｔａｎδからケーブル絶縁体１ｂ、補強絶縁紙２ａと絶縁油（ボックス油）が流動接触する所定部位のｔａｎδを求める。ついで、劣化絶縁油と流動接触する所定部位のｔａｎδを起点として、ケーブル絶縁紙１ｂ、補強絶縁紙２ａの積層方向と、該積層方向に直交する油浸紙の沿間方向への劣化絶縁油の浸透厚さｔに応じた基準電界におけるｔａｎδ（ｔ）を求め、ＯＦケーブル線路の絶縁体各部の電界分布と、基準電界における所定部位のｔａｎδおよびｔａｎδ（ｔ）とに基づき、絶縁体各部のｔａｎδ分布を求める。またこの結果を用いて誘電発熱シミュレーションを行うこともできる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡便な測定で高精度にインピーダンスを測定し得るインピーダンス測定装置を提供すること。
【解決手段】標準インピーダンス素子と比較して被測定インピーダンス素子のインピーダンスを測定する装置において、並列接続された被測定インピーダンス素子Ｚｘおよび標準インピーダンス素子Ｚｓならびに電源ＰＳを有し、これら両インピーダンス素子に電流を流す測定用通電回路と、前記被測定インピーダンス素子に流れる被測定電流および前記標準インピーダンス素子に流れる標準電流を検出し、被測定信号および標準信号を形成する信号形成回路と、前記被測定電流と前記標準電流との差を取り出し、偏差信号を形成する偏差検出回路と、前記標準信号および偏差信号に基き、前記被測定インピーダンス素子のインピーダンスを算出する処理回路ＤＰとをそなえたことを特徴とするインピーダンス測定装置、ならびに電流を電圧に換えた形でのインピーダンス測定装置。 （もっと読む）

【課題】被測定体の周囲の影響によるノイズの混入を防止し、被測定体のインピーダンスを高い精度で測定することが可能な測定技術を提供する。
【解決手段】被測定体５のインピーダンスを測定する測定システム１を、インピーダンス計測器３０と、接地された導体で形成された、被測定体５を内部に配置可能な筐体２０と、前記インピーダンス計測器３０に接続された、被測定体５に接続可能な放射形状の電極２５と、を有するように構成する。特に、被測定体５が絶縁体で構成されたチャンバ内部品５ａである場合に、インピーダンスを高い精度で測定し、測定したインピーダンスから誘電正接の値を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】制御装置に組み込まれた電解コンデンサを回路から取り外さず外部から劣化診断ができ、また、制御装置内の複数個の被診断コンデンサを短時間に効率よく診断を自動的に行う電解コンデンサ劣化診断システムおよび電解コンデンサ劣化診断方法を提供する。
【解決手段】複数の異なる誘電正接の電解コンデンサ２ｓを用いて、単体での誘電正接ｔａｎδｓとそれぞれの構成回路３に搭載された状態での誘電正接ｔａｎδｓｍとの相関関係から推定式を構成回路３毎にそれぞれ予め求めて記憶し、構成回路３に搭載された状態で被診断電解コンデンサ２の静電正接ｔａｎδｍを測定し、測定値とその構成回路３を特定する情報から被診断電解コンデンサ２単体時の誘電正接ｔａｎδを推定式に基づいて推定し、予め記憶している劣化判定値と比較することにより劣化度を診断する。 （もっと読む）

【課題】好適な狭帯域共振回路を提供すること。
【解決手段】チューニング可能強誘電体コンポーネント（６１０〜６１４）、強誘電体コンポーネントの損失測定するための狭帯域共振回路（６１０〜６２０）が開示される。強誘電体コンポーネントは、共振回路に一体化されたキャパシタであり得る。この試験方法は、損失の他のソースを消去して、強誘電体材料に起因する損失を隔離し、かつこの損失が小さいことを実証する。本方法は、強誘電体コンポーネントを備える回路を製造する工程と、強誘電体コンポーネントに起因する挿入損失および他の損失ソースに起因する他の損失を含む、組み合わされた損失を測定する工程と、他の損失ソースに起因する、挿入損失のコンポーネントを決定する工程と、測定された組み合わされた損失から、他の損失ソースに起因するコンポーネントを除去して、強誘電体コンポーネントと関連した損失を決定する工程とを包含する。 （もっと読む）

【課題】コンデンサの異常を適切に検出できる送電制御装置等の提供。
【解決手段】無接点電力伝送システムの送電装置に設けられる送電制御装置は、ドライバ制御信号を生成して、１次コイルＬ１を駆動する送電ドライバＤＲ１、ＤＲ２に対して出力するドライバ制御回路２６と、その一端が送電ドライバＤＲ１、ＤＲ２の出力に電気的に接続され１次コイルＬ１と共に共振回路を構成するコンデンサＣ１、Ｃ２のｔａｎδの異常を検出するｔａｎδ検出回路３８と、送電装置を制御する制御回路２２を含む。制御回路２２は、コンデンサＣ１、Ｃ２のｔａｎδの異常が検出された場合に、送電ドライバＤＲ１、ＤＲ２による送電を停止させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】電子材料のマイクロ波帯における誘電率測定を、広い温度範囲で効率的に行えるようにする。
【解決手段】加熱冷却装置１８で温度調整した不凍液を液圧循環管路２４を通して恒温槽７へ供給し、またドライエア発生手段からのドライエアを管路１８ｂを通して不凍液と熱交換し、それを恒温槽７に収容された空洞共振器４内へ供給することで、空洞共振器４内の温度制御を行う。不凍液は循環利用でき、またドライエアはそのガス源が大気であるので、ランニングコストが低くかつ安全な環境での測定ができる。また空洞共振器を銀媒体で包んでその中にドライエア導入路を設け、ドライエアが空洞共振器内で均一に流れるようにして空洞共振器内の温度分布の均一化を図る。これは温度制御時間の短縮化及び測定精度向上に寄与する。 （もっと読む）

【課題】微量の液体試料の誘電率を同軸プローブ法で測定する際に用いられる誘電率又は誘電正接測定用のマイクロセル、及びそれを用いた誘電率測定方法を提供する。
【解決手段】微量の液体の誘電率又は誘電正接の測定に用いられるマイクロセルであって、４弗化エチレン樹脂等の透明又は半透明で低誘電率かつ誘電損失の小さい材料で形成された円筒形の試料充填用マイクロセルと、同軸プローブを固定する固定材とから構成されるマイクロセル。該マイクロセルを用いて誘電率又は誘電正接を測定することにより、ごく微量の液体試料（〜２０μＬ）の誘電率を精度良く測定することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】従来、高絶縁物に対する誘電体損角であるｔａｎδの測定が出来なかったが、この劣化程度の指標であるｔａｎδが計算できる数理処理法を提供する。そして、このｔａｎδが、荷電中の電気工作物や、製品の運転ラインでの移動中の物体に対して、検出する方法を提供する。
【解決手段】供試被物体に高周波領域の可変周波数を加えて回路のインピーダンスと位相を各周波数ごとに測定し、マクスウエルの電磁方程式の減衰定数、位相定数に対応させて、最小自乗法や、複素比誘電率のベクトル軌跡を使用して、位相極値点に対応する誘電率からｔａｎδの計算手法を提供可能にした。また、さらに、製造ライン等の移動中の供試物体と支持器具との浮遊キャパシタンスを通して電流を流し、移動物体のｔａｎδを検出し、品質管理できるシステムの構築を可能とした。 （もっと読む）

【課題】
精度良くトランスの損失を測定するために、トランスの１次側巻線、２次側巻線に同時に電流を流して、１次巻線と２次巻線を含む合計の損失を簡便・迅速に測定したいという課題があった。従来では、トランスに加工が必要など、作業が多大で時間がかかった。
【解決手段】
トランスの２次側端子を短絡し、１次側から損失抵抗成分を測定することにより、１次巻線と２次巻線を含む合計の損失が測定可能となる。表皮効果や近接効果を実現した実条件で、簡便・迅速なので、評価設備や検査設備としても使え、カタログや仕様書に記載すれば、正確で簡便に比較可能なトランスが実現できる。 （もっと読む）

【課題】 上下面に導体が配置された誘電体薄層の誘電定数を高い精度で測定でき、特に厚さが５０μｍ以下となっても無負荷Ｑ値の低下を抑制する誘電定数測定方法および両端開放形半波長共振器を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の両端開放形半波長共振器Ａ１は、誘電体薄層１の一方の面に矩形状のストリップ導体３を設けるとともに、誘電体薄層１の他方の面に環状のグランド導体４を設け、ストリップ導体３の長軸方向における少なくとも一方の端部とグランド導体４の一部とが積層方向から見て重なり合うように配置されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】正確に対地絶縁抵抗を測定できる絶縁測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】信号発生・重畳手段３１により複数の周波数の信号を出力するとともに、該信号を電路に重畳し、この重畳された信号により電路１に発生した電圧信号Ｖｇ１と電流信号Ｉｇ１を活線絶縁診断装置３３の入力に与え、電圧信号Ｖｇ１と電流信号Ｉｇ１により各周波数における抵抗成分と静電容量成分を得るとともに、これら各周波数における抵抗成分と静電容量成分の結果と、前記電圧と電流を検出した箇所から見た電路の抵抗、静電容量、誘電損失の等価回路をフィッテングし、電路１の対地絶縁抵抗、対地静電容量、誘電損失の少なくともひとつを求める。 （もっと読む）

【課題】誘電率薄膜の誘電定数をマイクロ波やミリ波で高精度に測定できる誘電定数測定方法及び両端開放形半波長コプレナーライン共振器を提供する。
【解決手段】誘電体基板１上に中心導体２とグラウンド導体３とを有し、かつ中心導体２の両端とグラウンド導体３との間の少なくとも一方の開放部に測定試料４を配設した両端開放形半波長コプレナーライン共振器を励振させる共振器励振工程と、該共振器の共振周波数及び／又は無負荷Ｑ値を測定する測定工程と、該共振周波数及び／又は無負荷Ｑ値の測定値から測定試料４の面方向における誘電定数を算出する算出工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 双極子能率を持たない非極性分子であっても広い周波数範囲で運動を検出することのできる、非極性分子の運動の電気的検出方法を提供する。
【解決手段】 非極性分子５の周囲に、９０度ごとに第１の電極１，第２の電極２，第３の電極３，第４の電極４の４つの電極を順に配置し、第１の電極１と第３の電極３に同位相の交流電圧を印加し、この交流電圧とは逆位相の交流電圧を第２の電極２と第４の電極４に印加する。双極子能率を持たない非極性分子であっても広い周波数範囲で運動を検出することができる。
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