【課題】発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器を有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、安価な半導体検査装置を用いて実現可能であり且つ検査効率のよい検査方法を提供する。
【解決手段】発振周波数可変域の異なる複数の電圧制御発振器１＿１〜１＿ｎを有する局部発振信号発生装置を検査するための検査方法であって、前記複数の電圧制御発振器１＿１〜１＿ｎの各発振周波数可変域の上端周波数及び下端周波数のうち一部のみ（例えばｆ_A，ｆ_B）を探索し、その探索結果を用いた演算によって得られた周波数ポイント（例えばｆ_D）の正常発振の有無を判定することにより、発振周波数可変域が隣接する電圧制御発振器同士において発振周波数可変域が規定以上重複していることを検査する検査方法。 （もっと読む）

【課題】広帯域に亘り、一度に、振幅特性、位相特性を測定し、その測定値により中間周波数回路の出力に設けたデジルフィルタの係数を補正することにより、振幅、位相の各特性を校正できる信号分析装置を提供すること。
【解決手段】受信端からの被測定信号を局部発振器４の出力と混合して中間周波数信号に変換後に、デジタルのデータに変換する受信系と、受信系から出力さる前記データを基に、スペクトルを求める信号解析系とを備え、所定帯域に亘ってＦＭ変調された校正用ＲＦ信号を生成し、受信端に被測定信号に代わって入力する校正用信号源と、校正用ＲＦ信号が入力されたときに受信系から出力されるデジタルのデータを基に所定帯域内で、受信系によって生じるレベルの変動及び位相の変動を検出する検出部と、受信系と信号解析系との間に設けられ、検出部で検出された所定帯域内でのレベルの変動及び位相の変動を基に補正されるフィルタ部と、を備えた。 （もっと読む）