【課題】本発明は部材の検査歩留りを向上させる検査方法を開示する。
【解決手段】部材の検査歩留りを向上させる検査方法は以下のステップからなる。まず、部材検査と干渉計測を実行する。続いて、部材が検査を通過したか否かを判断する。部材が検査を通過しなかった場合、干渉計測値が初期設定の基準値を超えたか否かを検査し判断する。干渉計測値が初期設定の基準値を超えた場合、再度上記ステップを実行する。部材検査が依然通過せず、しかも干渉計測値が初期設定の基準値を依然として超えている場合、検査を中止する。 （もっと読む）