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Fターム[2G040CA22]の内容

Fターム[2G040CA22]に分類される特許

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【課題】精度の高い露点センサを提供する。
【解決手段】発熱抵抗素子1と、発熱抵抗素子1の発熱温度が一定となるように発熱抵抗素子1に電流を供給する電流供給装置2と、発熱抵抗素子1に接することにより、一定温度に保たれる湿度検出素子3と、発熱抵抗素子1に供給される電流に基づき、湿度検出素子3に接する気体の温度を特定する気温特定部と、を備える、露点センサ。 (もっと読む)


【課題】欠陥予備軍であっても発熱検査によって特定することができる配線欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る配線欠陥検査装置100は、半導体基板の配線経路に電圧を印加して、短絡欠陥に至っていない短絡予備軍を短絡させた後、電圧無印加状態を所定時間維持した後で、該半導体基板に印加して該短絡欠陥を含む配線もしくは配線間を発熱させ温度上昇させた後、該半導体基板を赤外線カメラで撮影する。 (もっと読む)


【課題】測定精度が向上した熱伝導率測定方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る熱伝導率測定方法は、加熱板30と冷却熱板30との間に、試験体10を、前記試験体10の外周面11が前記加熱板30の外周面31及び前記冷却熱板40の外周面41より内側となるように配置し、前記加熱板30と前記冷却熱板40との間で前記試験体10の前記外周面11を断熱材20で覆い、熱流計法により前記試験体10の熱伝導率を測定する方法である。 (もっと読む)


【課題】経時わたり良好な温度測定を行うことができ、かつ、利便性を向上することができる温度測定装置およびゼーベック係数算出方法を提供する。
【解決手段】冷接点を第1温度t1aに加熱し、冷接点が第1温度t1aのときの熱電対の熱起電力電圧値ΔV1を検出する。次に、冷接点を第1温度t1aより高温の第2温度t1bに加熱し、冷接点が第2温度t1bのときの熱電対の熱起電力電圧値ΔV2を検出する。そして、ΔV1=S×(t2−t1a)からなる第1式と、ΔV2=S×(t2−t1b)からなる第2式との連立解から上記ゼーベック係数Sを求める。 (もっと読む)


【課題】熱電対を多数個、配列しても、センサ基材の両側面に位置する測定代表点間の温度差を保ち、熱流感度を向上させることが出来、製造工程での断線を減少させた熱流センサの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の治具板片16の各流入開口部17の両側縁部17a,17bには、金属線材を平行に巻付ける複数の金属線材ガイド溝19が、銅材ガイド溝18と交互に一定間隔を置いて凹設形成されている。治具板片16を板厚方向へ積層して、エポキシ液状樹脂材を充填する型枠を兼ねた治具を形成し、硬化した基材樹脂塊40から第2金属接続体11を等間隔で埋設するセンサ基材…が切り出される。銅材ガイド溝18に巻付けられる銅線は、基材樹脂塊内に埋設される前に、第一次エッチング処理によって、外周面が削り取られて、熱インピーダンスが、コンスタンタン製の第2金属接続体とバランスされたマトリクス状の熱電対が配列形成される。 (もっと読む)


【構成】 MEMSガスセンサを用いてガスを検出する。ガスセンサのヒータへの電力を、低レベルと、検出対象ガスの検出に適した高レベルと、0レベルとの間で変化させることにより、低レベルで被毒ガスを蒸発もしくは酸化し、高レベルで検出対象ガスを検出する。
【効果】 MEMSガスセンサの被毒を防止する。 (もっと読む)


【課題】メンテナンス性がよく且つ簡略な構造でありながら、広い湿度範囲において露点を測定可能な露点計、及び湿度計を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、内部を通過する熱流の熱流量Qeoを計測する熱流センサ12と、熱流センサ12が取り付けられる熱流形成部20と、熱流形成部20又は熱流センサ12の温度Tを計測する温度検出部14と、測定空間温度Tを計測する温度検出部16と、測定空間S1の露点Tを算出する演算処理部30とを備え、熱流形成部20は熱流センサ12内を通過する熱流を形成し、演算処理部30は、熱流センサ12における熱収支に基づく関係式T1を用い、所定の熱抵抗値Rieと、温度検出部14により計測される温度Tと、測定空間温度Tと、熱流センサ12により計測される熱流量Qeoとから測定空間S1の露点Tを算出することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】装置内への試料の設置等に伴って外部から持ち込まれる熱(温熱若しくは冷熱)を速やかに消去し、生物細胞の代謝熱の検出を原理とする生物細胞の代謝活性あるいは増殖活性の測定に要する時間を短縮できる生物活性測定装置を提供する。
【解決手段】試料容器17と恒温容器13とに挟まれて設置されたセンサ7(熱電素子)の温度測定結果に基づいて、試料容器17と恒温容器13との温度差が小さくなるようにセンサ7へ直流電圧を供給して試料容器17を加熱・冷却することにより、試料容器17の設置時に恒温槽10内部へ持ち込まれた熱(温熱・冷熱)を速やかに消去できる。従って、微生物細胞の示す代謝熱の測定を従来に比べて著しく速く行うことができる。 (もっと読む)


【課題】検査時間を短縮することができるガス警報器を提供する。
【解決手段】ガス濃度を検出するガスセンサ2と、前記ガスセンサの出力に基づいてガス漏洩を検出しその旨を伝える警報を発生する警報発生手段と、を備えたガス警報器1において、警報発生手段である演算処理装置CPU6Aが、ガスセンサ2の出力が警報値を超えた状態が第1所定時間継続したときに警報を発生する通常モードと、ガスセンサ2の出力が警報値を超えたときに警報を発生する検査モードと、の間で動作を切り替え可能に設けられている。 (もっと読む)


【課題】半導体装置の熱抵抗を容易に評価することができる評価用半導体チップを提供する。
【解決手段】評価用半導体チップにおいて、半導体チップを構成するシリコン基板100と、シリコン基板100の面上に、複数領域からなる抵抗測温体を構成する複数の金属配線膜101と、1つまたは複数領域からなるヒータを構成する1つまたは複数の金属配線膜102と、金属配線膜101に電気的に接続された電極103と、金属配線膜102に電気的に接続された電極103とが形成されたものである。 (もっと読む)


【課題】露点温度を精度良く短時間で測定することができる鏡面冷却式露点計を提供する。
【解決手段】被測定気体に鏡面2aが晒される鏡2と、鏡面2aの一端部Aを冷却する第1の冷却器3と、この冷却器3とは異なる温度で鏡面2aの他端部Bを冷却する第2の冷却器4と、鏡面2aの一端部Aから他端部Bまでの温度を測定するために鏡2に付された複数の温度センサ5、5、・・・511と、鏡面2aの一端部Aから他端部Bまで照射位置を走査させて光を照射する光走査部6と、鏡面2aで反射した光の反射光を受光する受光部7と、受光部7の受光する光強度の変化、光走査部6の照射位置に基づいて、一端部から他端部Bまでの間の結露の開始位置を特定し、その結露の開始位置に近傍する温度センサ5から取得した温度を露点温度とする測定処理部とを備えるものである。 (もっと読む)


【課題】湿度を高精度に検出できる熱式湿度センサを得る。
【解決手段】熱式湿度センサは、温度センサ4、5、6、7と、温度センサ4、5、6、7の出力に基づいて湿度に応じた信号を出力する湿度検出手段と、温度センサ4、5、6、7の周囲を流れる空気流量を計測する空気流量計測手段80、82と、空気流量計測手段80、82により計測した空気流量を基に、湿度検出手段の出力信号を補正する補正手段を有する。これにより、湿度の誤差要因となる空気流の影響を取り除き、湿度の計測精度を向上させる。 (もっと読む)


【課題】応答速度が速く、構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計に用いることができる熱電対を提供する。
【解決手段】第1の素線15aと、第1の素線15aとは異なる材質からなる第2の素線15bとを互いに溶接して形成された溶接部分であり、オゾンを含む試料ガスの温度を感知する第1感知部6と、第1の素線15aと同じ材質からなる第3の素線15cと、第2の素線15bとを互いに溶接して形成された溶接部分であって、複数の貫通孔が形成されたシート状のものからなり表面に触媒が担持され、オゾン濃度に比例して昇温される金属製の基材5が熱伝導可能に固定され、基材5の温度を感知する第2感知部8と、を有し、第1感知部6と第2感知部8とが同一の先端部に形成されており、第1感知部6で発生した起電力と第2感知部8で発生した起電力との差を、第1の素線15aと第3の素線15cとの電位差として測定する熱電対1A。 (もっと読む)


【課題】乾燥機等における可燃性物質の熱安定性を適切に評価できる乾燥工程における熱安定性測定装置を提供する。
【解決手段】粉体または粒状の物質からなる被乾燥物Mを乾燥する乾燥工程における、被乾燥物Mの発熱挙動を測定する装置であって、被乾燥物Mにおける表面の一部を、表面の一部を周囲の気体から隔離した状態で加熱しうる加熱源12と、加熱源12によって加熱されている状態における被乾燥物Mの内部の温度を測定する温度センサ34と、を備えており、加熱源12は、被乾燥物Mを、被乾燥物Mの表面に周囲の気体と接する部分が形成されるように保持しうるものである。実際の乾燥工程に近い状態で、被乾燥物を乾燥させたときに生じる被乾燥物の酸化反応による発熱現象を再現することができ、乾燥工程における被乾燥物Mの酸化反応による発熱挙動を把握することができる。 (もっと読む)


【課題】露点計測装置の製造工程において、温度較正工程を必要とせず、コストを抑えることができ、かつ、高い精度を維持することのできる露点計測装置および気体特性測定装置を提供する。
【解決手段】露点計測装置に相変化物質6を設け、相変化物質6を加熱して、相変化物質6を相変化させ、その相変化を温度変化、相変化物質6の電気抵抗変化、固有振動数変化などにより検出する。そして、相変化物質6が相変化したときの温度測定部の温度を、既知の上記相転移温度とする温度較正を行う温度較正を行う。 (もっと読む)


【課題】露点計測装置の製造工程において、温度較正工程を必要とせず、コストを抑えることができ、かつ、高い精度を維持することのできる露点計測装置および気体特性測定装置を提供する。
【解決手段】露点計測装置に相変化物質6を設け、相変化物質6を加熱して、相変化物質6を相変化させ、その相変化を温度変化、相変化物質6の電気抵抗変化、固有振動数変化などにより検出する。そして、相変化物質6が相変化したときの温度測定部の温度を、既知の上記相転移温度とする温度較正を行う温度較正を行う。 (もっと読む)


【課題】露点計測装置の製造工程において、温度較正工程を必要とせず、コストを抑えることができ、かつ、高い精度を維持することのできる露点計測装置および気体特性測定装置を提供する。
【解決手段】露点計測装置に相変化物質6を設け、相変化物質6を加熱して、相変化物質6を相変化させ、その相変化を温度変化、相変化物質6の電気抵抗変化、固有振動数変化などにより検出する。そして、相変化物質6が相変化したときの温度測定部の温度を、既知の上記相転移温度とする温度較正を行う温度較正を行う。 (もっと読む)


【課題】板状の被測定片を垂直配置や真空中に配置しなくても、当該被測定片の熱伝導率を求めることができる熱伝導率測定装置、熱伝導率演算装置、熱伝導率算出プログラム、及び熱伝導率測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、被測定片12の一端部13aを加熱し、この被測定片12の一端部13aから他端部13bに向う方向に沿って連続又は断続した当該被測定片12の温度分布を検出し、被測定片12の熱伝導抵抗Rcd1と被測定片12の熱伝達抵抗Rcv1との比である熱抵抗比mと、板状の部材16の一端部17aを加熱したときの当該部材16における一端部17aから他端部17bに向かう方向に沿った板状部材16温度分布に基づく演算用熱伝達率h,h2aと、被測定片12の温度分布と、から当該被測定片12の熱伝導率kを求めることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】熱履歴を受けた成形品の熱負荷温度や熱負荷時間等を正確に評価することが可能であり、少量の試料で試験が容易な成形品の熱履歴評価方法を提供する。
【解決手段】指標成分を定め、予め熱処理した成形品について前記指標成分の定量分析を行い、複数の熱処理温度における熱処理時間と前記指標成分量との関係を測定し、所定の熱処理温度を基準温度として前記指標成分量と処理時間との関係を示すマスター曲線を作成し、熱履歴を受けた成形品から試料を採取して前記指標成分の定量分析を行い指標成分量を測定し、前記指標成分量と前記マスター曲線とを用いて、前記基準温度に換算した熱負荷時間としての基準熱負荷時間を求めて成形品の熱履歴を評価した。 (もっと読む)


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