【課題】欠陥予備軍であっても発熱検査によって特定することができる配線欠陥検査方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る配線欠陥検査装置１００は、半導体基板の配線経路に電圧を印加して、短絡欠陥に至っていない短絡予備軍を短絡させた後、電圧無印加状態を所定時間維持した後で、該半導体基板に印加して該短絡欠陥を含む配線もしくは配線間を発熱させ温度上昇させた後、該半導体基板を赤外線カメラで撮影する。 （もっと読む）

【課題】基板の欠陥部の候補を適切に絞り込むことができ、さらに検査時間の短縮でき、且つ検査回数を低減できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、基板７上の複数の配線６と電気的に接触する複数のプローブ５と、正極及び負極を有し配線６間の電気特性値を測定する電気特性測定器１と、温度または赤外線により基板７の欠陥部を検出する赤外線カメラ８と、電気特性測定結果に基づき配線６間に係る電気特性の良否を判別して欠陥部の候補を絞り込み、絞り込んだ欠陥部の候補を含むプローブ群に関する赤外線カメラ８の検出結果に基づき欠陥部を特定する制御部３とを備えた。制御部３は、複数のプローブ５を２つのプローブ群に分割し、分割後のプローブ群間における電気特性測定を行い、分割されたプローブ群間に欠陥があると判定された場合には、分割されたプローブ群間については接続及び電気特性測定を行わない。 （もっと読む）

【課題】
赤外線カメラの熱画像から抽出される異常部に不具合が含まれているか否かを判定する材料を提供すること。
【解決手段】
構造物の熱画像に影響を及ぼす因子と、この因子の情報を用いて構造物の熱画像から抽出される異常部に不具合が含まれている確率を求める多変量解析の関係式と、を特定しておく。そして赤外線カメラで構造物を撮影して熱画像を取得し、その熱画像から周囲と温度が異なる異常部を抽出し、その異常部における因子の情報を判別したら、判別した因子の情報を数値化し、その数値を多変量解析の関係式に当てはめて、抽出した異常部に不具合が含まれている確率を求める。 （もっと読む）

【課題】精度の高い検査に対応することができる測定用保持具及び測定装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る測定用保持具は、複数の半導体チップを含むパッケージ、前記パッケージの側面から露出し前記半導体チップの電極と導通する導通部、を有する被測定物を保持する測定用保持具である。測定用保持具は、前記被測定物を配置する位置に貫通孔が設けられた支持基板と、前記支持基板に前記被測定物を固定する固定部と、前記支持基板に対して少なくとも１軸方向に可動に設けられ前記導通部と接触する探針部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の寿命に影響する熱歪（拘束歪）を容易に測定する。
【解決手段】歪測定装置は、コンピュータ１と、測定対象物の第１ステレオ画像ＰＳ１を生成する第１ステレオカメラ２と、第１ステレオカメラ２と離間した位置に配設され、測定対象物５の第２ステレオ画像ＰＳ２を生成する第２ステレオカメラ３と、測定対象物の温度分布を検出するサーモビュア４と、を備える。また、コンピュータ１は、第１ステレオ画像ＰＳ１及び第２ステレオ画像ＰＳ２から測定対象物の三次元形状を求めて、実歪εｃ（ｉ，ｊ）を求める実歪算出部１２と、サーモビュア４によって検出された温度分布から熱自由歪εｔ（ｉ，ｊ）を求める熱自由歪算出部１７と、実歪εｃ（ｉ，ｊ）から熱自由歪εｔ（ｉ，ｊ）を減じた差を、拘束歪εｒ（ｉ，ｊ）として求める拘束歪算出部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テーブルローラに発生する亀裂を非破壊かつ非開放で効率よく診断することができるテーブルローラの亀裂診断装置及び方法を提供する。
【解決手段】テーブルローラネック部の亀裂診断装置は、テーブルローラ表面に超音波振動を与える超音波振動発生装置（超音波振動子８、超音波ホーン７）と、超音波振動発生装置をテーブルローラローラ部４に固定する固定装置（固定冶具１２、電磁石固定部、電磁石１４）と、テーブルローラネック部５表面に発生する温度変化を赤外線サーモグラフィで計測する表面温度検出手段（アルミ製の反射板１７、赤外線カメラ１５、演算処理装置１６）から構成されている。 （もっと読む）

【課題】鋳型の局所的な通気不良を検出して通気不良部を特定することができる。
【解決手段】送風を加熱する熱源３と、生成された温風を通気性の上型１に流通させる送風室２と、上型１に近接して設けられ、当該上型１を流通した後の温風を流通させる金網体４と、当該金網体４の表面温度分布を検出するサーモグラフィー６とを備える。 （もっと読む）

【課題】天井クレーン等のように、桁（主桁、走行桁）とその桁の上に設置されたレールとを備えたクレーンについて、そのクレーンに存在する亀裂を非破壊かつ遠隔で効率良く検査することができるクレーン亀裂診断装置及び方法を提供する。
【解決手段】クレーンの走行桁１の亀裂を診断するために、クレーン亀裂診断装置５は、超音波振動発生装置６と、赤外線サーモグラフィ装置１１と、反射板１３と、レール固定装置１９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スラリー輸送ライン等における配管の詰まり状況を容易に把握することができる配管詰まり診断方法を提供する。
【解決手段】診断個所の上流側において冷却水を用いてスラリー配管１１を外部から一時的に冷却することによって、スラリー配管１１内を流れるスラリーの温度を降下させ、それによる診断個所の配管外面温度の過渡的変化を赤外線カメラ２３で撮影し、その撮影画像を画像処理装置２４で処理して得られた熱画像に基づいて、スラリー配管１１の詰まり状況を診断する。 （もっと読む）

【課題】赤熱状態にある測定対象物においても複数の評価点の変位を同時に計測できる変位計測手法を提供すること
【解決手段】画像成分決定手段３ｂにより、赤熱前後の測定対象物１をデジタルカメラ２で撮影した画像データをそれぞれＲＧＢ成分に分離して、赤熱前後で赤熱領域の輝度値の変化が最も小さい成分を決定し、画像変換手段３ｃにより、変形前後の測定対象物１をデジタルカメラ２で撮影した画像データを、画像成分決定手段３ｂにより決定された成分の画像データに変換し、この変換された変形前後の測定対象物の画像データを使用して、変位演算手段３により、パターンマッチング処理を行い、変位を演算する。 （もっと読む）

【課題】所望の定常温度になるように試料を加熱して測定を行う場合の測定時間を短縮できる熱定数測定装置を提供する。
【解決手段】加熱部４の赤外線ランプ４１によって試料１０に熱線（赤外線）を照射し、試料１０を所望の定常温度まで加熱することから、従来のように抵抗炉を用いて熱伝導により間接的に加熱する場合に比べて、定常温度に到達するまでの時間を大幅に短縮できる。また、加熱部４からの赤外線を試料１０の裏面へ入射しないように遮蔽するとともに、赤外線センサ部２の受光部２１へ入射しないように遮蔽する赤外線遮蔽部７を設けているため、赤外線センサ部２が試料１０の裏面から照射する赤外線の他に加熱部４からの赤外線を検出して、温度測定値の誤差が生じることを効果的に抑制できる。 （もっと読む）

【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】 短絡部を含む配線の赤外線画像を２値化処理して、細線化された２値化画像を生成し、短絡部の位置を正確に特定することを目的とする。
【解決手段】 基板に形成された配線の短絡部の有無を検査する配線検査方法であって、配線に電圧を印加して短絡部を発熱させる発熱工程と、基板の赤外線画像を取得する画像取得工程と、赤外線画像から閾値を用いて２値化画像を生成する２値化工程と、２値化画像から短絡部の位置を特定する位置特定工程とを含み、２値化工程は、閾値を変更して２値化処理を繰返すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線サーモグラフィの制御システム及び制御方法を提供する。
【解決手段】赤外線サーモグラフィ２の制御システムはクライアント側と通信ネットワークを介してクライアント側に接続されるとともに、赤外線テスト及び／または監視を行うべき場所に取り付けられ、監視ターゲットの赤外線サーモグラム映像及び赤外線サーモグラムに含まれたポイントの温度データを提供するためのサーバー側としての赤外線サーモグラフィとを含み、クライアント側が赤外線サーモグラフィから離れた位置に設置され、赤外線サーモグラフィに対するリモートコントロール操作を提供し、監視作業員またはユーザに、携帯電話１を利用した赤外線サーモグラフィに対するリモート監視及び操作を行わせる。 （もっと読む）

【課題】パネルを複数回に亘り赤外線カメラを用いて撮像する際に、適正に欠陥検出できる配線欠陥検出方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る配線欠陥検出方法は、各検査領域と各検査領域に対応するパッドとの対応関係を取得する。本発明に係る配線欠陥検出装置は、該対応関係に基づき、給電するパッドを各検査領域に対応するパッドに切り替えるパッド切替手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】微小なクラックを検査でき、検査品質及び生産性などを向上させることができるクラック検査システム、クラック検査方法及び成形品の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】クラック検査システム１は、セラミックリング１０を加熱する加熱手段２と、加熱されたセラミックリング１０からの赤外線放射エネルギーを検出し、温度分布表示画像データを出力する赤外線サーモグラフィ３と、温度分布表示画像データを入力し、空洞放射効果によって生じる表示温度の高い部位の形状及び大きさにもとづいて、クラックであるか否かを判定し、判定結果を出力する画像処理手段４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴ基板の材質に依らず、配線やガラスなどのパターン材質の差異を、明瞭に顕在化する欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】ＴＦＴ基板の配線を通電することにより発熱する短絡欠陥を赤外カメラで検出する欠陥検査装置であって、ＴＦＴ基板に赤外線を照射する赤外線源と、ＴＦＴ基板の基準画像を保持する記憶部と、前記赤外カメラで得られた赤外画像と前記基準画像とのマッチングを行う画像処理部とを備え、前記赤外線源は、前記ＴＦＴ基板から見て前記赤外カメラと同じ側に設置されることを特徴とする欠陥検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 不良の太陽電池パネルについて低下した出力電力の推定値を算出する太陽電池アレイの検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 複数の太陽電池パネル１０を含む太陽電池アレイの検査方法であって、太陽電池アレイに直流電源６を接続して通電し、太陽電池アレイの太陽電池パネル１０の画像を取得し、画像を解析して指標を算出し、指標に対する太陽電池パネル１０の出力特性を用いて太陽電池パネル１０の出力電力の推定値を算出し、算出した推定値に基づいて太陽電池パネル１０を交換すべきか否か判断する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れていて赤外線を透過させることが可能な技術を提供する。それによって、非接触による温度測定を行える種類や分野を増やす。
【解決手段】金属線(33)を芯材とするプラスチック繊維網(32)と、そのプラスチック繊維網(32)と融着させることが可能な樹脂フィルム(31)とを備えた複合フィルムであって、前記の樹脂フィルム(31)は、赤外線を透過させることが可能な素材とする。耐熱性に優れた保護板の一部をくり貫いて、そこに前記の複合フィルムをはめ込んだ熱源保護複合板として提供してもよい。 （もっと読む）

【課題】液体容器に内容物を充填後にその口部を保護材でシールした液体容器において、そのヒートシール部すなわちその口部の外周、外縁部と保護材の間に液体内容物がはさまれてしまう、いわゆる液ガミ現象の起きたシール不良を非破壊検査で発見する。
【解決手段】容器の口部の方向を揃えて搬送するコンベヤと、外部部材に固定され同コンベヤ上に載置された口部を保護材２でシールした容器の口部の温度を上昇させる高周波加熱装置と、同加熱装置により容器送り方向の後流側に設置され前記保護材の表面温度を測定する測定手段と、その温度分布映像を画像処理して保護材による容器口部のシール状態を検査判定する画像処理装置と、同画像処理装置の判定信号により保護材のシール不良容器をコンベヤ上より排除する容器排除手段とよりなる。 （もっと読む）