【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）

【課題】被検物を高温に加熱することなく、被検物の放射率を測定する放射率測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１放射エネルギの赤外光を被検物に照射する赤外光照射工程と、前記赤外光を照射された前記被検物からの反射赤外光から第２放射エネルギを測定する測定工程と、前記第２放射エネルギと前記第２放射エネルギとに基づいて前記被検物の放射率を算出する算出工程と、を含む放射率測定方法である。 （もっと読む）

【課題】対象物に関する情報（対象物の厚さ、素材、表面状態、水分含有量など）を取得する情報取得装置、及び、これを用いた画像形成装置に関するものである。
【解決手段】情報取得装置１０は、対象物Ｐの一部分を加熱する熱源１１と、加熱後における対象物Ｐの温度分布パターンＸを取得する赤外線イメージセンサ１２と、所定の比較パターンＹを格納するメモリ１３と、温度分布パターンＸと比較パターンＹとを比較して対象物Ｐに関する情報を取得する情報処理部１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定物に対し電流を流して検査する検査装置を被測定物の製造ラインに投入する場合において、被測定物の検査のための待ち時間の大幅な短縮を図り、全体としての検査時間（タクトタイム）を短縮することを可能とする検査装置用の給電装置を提供する。
【解決手段】被測定物２００に電流を流すことで検査を行う検査装置において使用する給電装置を、検査装置側に給電手段を設け、被測定物側に集電手段を設けることにより、被測定物２００が検査装置に搬入される際に、給電手段と集電手段を電気的に接続させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加熱光と検出光との位置関係の変動、環境要因変化に依存して生じる前記加熱光の高周波成分に基づく測定結果の変動を極力防止し、これにより前記熱物性測定の再現性、信頼性を高く保つことが可能な熱物性測定装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる熱物性測定装置Ａは、加熱用レーザ光源１からレーザ光を音響光学変調器１７で所定の設定周波数に従って強度変調して加熱光として試料７の測定部に照射し、検出用レーザ光源９からのレーザ光を検出光として試料７の測定部に照射し、試料７から反射した前記検出光の強度を光測定器１５で測定するものである。ここで、この熱物性測定装置Ａでは、試料７の測定部に照射される前の前記加熱光の強度が加熱光測定器２４で検出され、その検出結果に基づいて、前記設定周波数以外の強度変調における周波数成分が除去される。 （もっと読む）

【課題】 発熱体を有するカンチレバーを用いて試料へ局所加熱をして試料の軟化点や熱伝導を測定する場合に、探針と試料との接触部のみの熱交換とすることで測定ポイントの周辺部に熱影響を与えなくし、接触部のみの軟化点測定および熱伝導測定を可能にした装置を提供する。
【解決手段】 プローブ顕微鏡をベースとした局所の軟化点測定装置および熱伝導測定装置において、探針と試料面の環境を１／１００気圧（１０³Ｐａ）以下とする、あるいは探針側面を断熱材で熱逃げが１／１００以下となる厚さにコートすることにより、探針側面からの熱逃げを低減し、略探針と試料面との接触部のみの熱交換となるようにした。 （もっと読む）

【課題】 容器のシール部において、微小な噛み込み物を精度よく検出するシール状態検査方法および装置を提供すること。
【解決手段】 第１ハウジング２と第２ハウジング３との合せ面に弾性体からなるシール部材４を狭持した筐体１を回転し、合せ面の局部を加熱し、合せ面の温度を所定時間経過後に計測し、計測値の変動から合せ面のシール状態を判定する。 （もっと読む）

【解決手段】検査処理能力を増加させるために、赤外線カメラの視野を試料上で一定速度で移動させることができる。この移動全体を通して、変調を試料に加えることができ、赤外線カメラを用いて赤外線画像を捕捉することができる。視野を移動させること、変調を加えること、及び赤外線画像を捕捉することは、同期させることができる。赤外線画像をフィルタ処理して時間遅延ロックイン・サーモグラフィを生成し、これにより欠陥識別を行うことができる。このフィルタ処理は、赤外線カメラの走査方向の画素数を与えることができる。光変調の場合は、移動全体を通して、暗視野領域を視野用に提供することができ、これにより、フィルタ処理中の信号対雑音比を向上させる。局在する欠陥は、検出システム内に統合されたレーザーによって修復するか、生産ラインにおける後の修復用にインクで印を付けることができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面状態によらず、表面温度データに含まれている欠陥検知信号とノイズ信号の区別を明確することでき、確実に欠陥（亀裂等）を検出することができる検査方法を提供する。
【解決手段】例えば、レーザーで検査対象物の表面を加熱せずに、赤外線検出装置（検出素子）で検査対象物の表面温度を計測して、加熱前の第１の表面温度データを得る第１の走査（前進走査）と、レーザーで検査対象物の表面を加熱しながら、この検査対象物の表面温度を赤外線検出装置（検出素子）で計測して、加熱後の第２の表面温度データＤ２を得る第２の走査（後進走査Ｂ）とを行い、第２の表面温度データＤ２から、第１の表面温度データＤ１を減算することにより、第３の表面温度データＤ３を得る。 （もっと読む）

【課題】 簡便な手法により熟練者でなくても短時間の計測で地下水の水みちの存在とその地表面からの深度を算出でき、且つ、計測精度が良好で、周辺環境へ与える負荷が小さい地下水検層法、及びその地下水検層法に用いられる感知器並びに測定装置を提供する。
【解決手段】 感知器２を所定の速度でもってボーリング孔内に下降させ、第１の温度センサ（２２）と第２の温度センサ（２３）とで感知した発熱体（２１）の温度及び感知器２周囲の水温を同時に所定時間毎に計測し、発熱体の温度が水温と線形関係にある平衡温度の要素と地下水の水みちからの水流の影響による変化温度の要素とからなるものであることと平衡温度が水温と線形関係にあることを利用して、発熱体温度と、該温度と同時に計測した水温とからその計測深度毎に変化温度を算出し、変化温度が急激に変化している計測深度を探し出すことにより地下水の水みちが存在する深度を求める。 （もっと読む）

【課題】製造に組み込まれ得る加工品、特に燃料電池に用いられる膜・電極接合体の非破壊試験装置及び試験方法を提供する。
【解決手段】本発明は、加工品（５、６）内の欠陥を検出し、その位置を特定するための試験装置（１）に関するものであり、熱源（２、７、１３、１４）と、加工品の表面（８）の温度分布を測定するためのセンサ装置（３、１０、１１、１２）及びセンサ装置に接続された評価装置（４）を有している。加工品と試験装置は、熱に晒された表面と平行の方向（Ｒ）に相対的に移動可能であるように配置されており、センサ装置は前記相対移動の方向（Ｒ）を横切るラインに沿って温度分布を測定するために、相対移動の方向（Ｒ）から見て熱源の下流で上記ラインに沿って延在する試験装置によって欠陥を検出し、その位置を特定する。 （もっと読む）