【課題】本発明は、加熱光と検出光との位置関係の変動、環境要因変化に依存して生じる前記加熱光の高周波成分に基づく測定結果の変動を極力防止し、これにより前記熱物性測定の再現性、信頼性を高く保つことが可能な熱物性測定装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる熱物性測定装置Ａは、加熱用レーザ光源１からレーザ光を音響光学変調器１７で所定の設定周波数に従って強度変調して加熱光として試料７の測定部に照射し、検出用レーザ光源９からのレーザ光を検出光として試料７の測定部に照射し、試料７から反射した前記検出光の強度を光測定器１５で測定するものである。ここで、この熱物性測定装置Ａでは、試料７の測定部に照射される前の前記加熱光の強度が加熱光測定器２４で検出され、その検出結果に基づいて、前記設定周波数以外の強度変調における周波数成分が除去される。 （もっと読む）

【課題】従来の画像検査方法等では判定できなかった半導体デバイスやＬＥＤデバイス等の微小径ワイヤボンディングの良否判定を、非接触で高精度に行うことができる方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】微小径ワイヤの接合部をスポット的に加熱する加熱用レーザー１と、微小径ワイヤの被加熱部より放射される微少量の赤外線から、放射率を補正して高速に温度測定を行う２波長赤外放射温度計２と、２波長赤外放射温度計２による測定結果を基準となる加熱パワーにおける温度変移に補正した後、補正後の温度変移ないしその温度変移から得られる接合面積と相関のある数値と、基準となる加熱パワーでの温度変移に補正した基準となる良品が示す温度変移ないしその温度変移から得られる接合面積と相関のある数値とを比較することにより行うボンディングの良否を判定する補正演算判定手段４とで構成される。 （もっと読む）

【課題】材料の形状や測定の方向に合わせた最適な測定を行うことができ、装置の小型化を図り、試料の厚さの影響に寄らず正確な熱拡散率を得ることを目的とする。
【解決手段】試料にレーザビームを周波数ｆで周期的に照射するための加熱レーザビーム照射手段と、試料のある一点から放射される赤外光を集光するための赤外光集光手段とが、試料を挟みそれぞれ対向する位置に配置された周期加熱放射測温法熱物性測定装置において、前記加熱レーザビーム照射手段が、試料面における照射形状を任意の形状に変換制御するための光学系を備えており、前記赤外光集光手段をＸＹ方向に移動させるための移動手段を備え、前記赤外光集光手段により集光された赤外光を放射温度計まで導く赤外用ファイバを備え、前記放射温度計の温度変化の周期と前記加熱レーザビームの周期との位相差θと前記周波数ｆから熱拡散率を演算する制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ある加熱位置を中心とした面内方向の熱拡散率を得ることができ、かつ加熱位置を中心とした熱の伝播のイメージそのものを得ることができる熱物性測定装置を提供する。
【解決手段】加熱レーザ２と、測温レーザ５と、加熱レーザビーム移動機構であるＸＹステージ１１ｂと、測温レーザビームの試料表面からの反射光を検出する検出器１３と、試料移動機構であるＸＹステージ１１ａと、前記試料表面の反射率の温度依存性を用いて試料表面の温度変化を検出する手段と、制御機器１５とを備えた熱物性測定装置であって、制御機器１５は、加熱レーザビームの試料表面に対する照射位置を固定しつつ、かつ、測温レーザビームの試料表面に対する照射位置を走査するようにＸＹステージ１１ａ及びＸＹステージ１１ｂを動作制御する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面温度に基づく傷部の検出方法において、検査員等の人的な要因による傷部の検出結果のばらつきを抑制することができる測定対象物の加熱条件の導出方法、この導出方法を含む傷部検出方法、及びこの検出方法を用いた傷部検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、傷部を検出するのに適した熱流束を導出する方法であって、傷部と健全部との温度差Δｔと傷部の大きさｄと熱流束ｑとにおいて複数の代表値をそれぞれ設定し、各パラメータの代表値を変更した各組み合わせにおいて熱伝導解析で温度差Δｔと傷部の大きさｄと熱流束ｑとの関係Ｑを求め、検出したい温度差Δｔ１と検出対象の傷部の大きさｄ１とを設定し、予め求めた関係Ｑに基づき、設定された温度差Δｔ１と傷部の大きさｄ１とから傷部ａを検出するために測定対象物Ｔを加熱するときの熱流束ｑを求めことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は試料中の分析物を検出する方法に関する。本発明の方法は、エネルギーの変化を電気信号に変換できる焦電又は圧電要素及び電極、を有する変換器であって、その近くに少なくとも１つの試薬を有し、前記試薬が前記分析物又は前記分析物の複合体若しくは誘導体に結合できる結合部位を有し、前記分析物又は前記分析物の複合体若しくは誘導体の少なくとも１つに、放射線源により生成された電磁放射線を吸収して非放射性崩壊によりエネルギーを生成できる標識が付着している変換器に、試料を曝す工程、前記試薬に、一連の電磁放射線パルスを照射する工程、生成した前記エネルギーを、電気信号に変換する工程、前記電気信号及び前記放射線源からの電磁放射線の各パルスと前記電気信号の生成との間の時間遅延を検出する工程、を含んでなり、前記電磁放射線パルスのそれぞれと前記電気信号の生成との間の前記時間遅延が、前記変換器の表面からの距離が異なる１又は複数の位置のいずれかにある前記分析物の位置に対応し、前記標識が、ポリピロール又はその誘導体を含むナノ粒子である。本発明は、この方法の実施に適したキットも提供する。
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【課題】回路基板に実装された電子部品に、自己発熱と同様の熱伝導現象を与えて試験できる加熱冷却試験方法を提供することを目的とする。
【解決手段】回路基板１に実装された電子部品２ａ，２ｂの表面に単位時間あたりの照射熱量が異なるレーザ光７などの電磁波を照射し、電子部品の昇温速度を制御し、所定の最高温度に到達させて保持した後、ペルチェ素子３によって回路基板１を冷却して所定の最低温度で保持する温度サイクルを繰り返すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】適正な補正を行うことにより良否判定の検査精度を向上する。
【解決手段】金属接合部の検査方法は、接合部１１ａを有する被検査部１１を同一パワーで連続加熱し、同時にその飽和温度に達するまでの温度変移を測定し、その測定した温度変移を基準となる加熱パワーでの温度変移に補正し、補正後の温度変移と、同様に基準となる加熱パワーでの温度変移に補正した基準となる良品が示す温度変移を、温度変移の相違が接合部の接合面積の相違に強い相関があるとして、比較選別して被検査部１１の良否を判定する。その装置は、接合部を加熱する加熱手段１２と、その温度変移を測定する温度変移測定手段１３と、その温度変移を基準となる加熱パワーでの温度変移に補正する温度変移補正手段１４と、補正後の温度変移を比較選別して良否を判定する良否判定手段１６とを備える。 （もっと読む）

検査試料内の検体の存在を検出するために、外部検査器具と共に使用するための分析装置が開示されている。この装置は、第１電極層と第２電極層との間で狭持された焦電性材料または圧電性材料の層から形成された変換器であって、焦電性材料の層または圧電性材料の層の熱または力に応じて電極層間に電圧を生じさせるように構成された変換器を備えている。また、装置は、変換器のための第１補強要素および第２補強要素であって、当該補強要素の間に狭持された変換器を平坦な状態に維持するための平面をそれぞれ画定する第１補強要素および第２補強要素を備えている。補強要素の各々は、変換器の対応する電極層の一部分を露出させて当該変換器を外部検査器具に電気的に接続させている。露出された部分は、互いに横方向にずらされて、当該露出された部分が、その全領域にわたって、変換器の反対側の面に設けられた補強要素によってそれぞれ支持されている。このような構成により、環境影響によって引き起こされるノイズを低減し得る。
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【課題】試料中のナトリウムイオン濃度が低い場合であっても、ナトリウムイオンを精度高く検出可能なナトリウムイオン検出試薬、前記ナトリウムイオン検出試薬を用いた、ナトリウムイオン検出方法及びナトリウムイオン検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】分子内に、カリックス［４］アレーンと、プロトン解離平衡により発色しうる発色性有機基とを有する化合物を含有するナトリウムイオン検出試薬を用いる。具体的には、例えば、光熱変換測定法において、測定対象物として、前記ナトリウムイオン検出試薬によって、ナトリウムイオンを捕捉したものを測定することによって、試料中のナトリウムイオンを検出するナトリウムイオン検出方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】パルスレーザによる物質の分解の可否をシミュレーションによって高速に判定できるようすること。
【解決手段】シミュレーション装置は、物質の凝集エネルギーを計算する凝集エネルギー計算部と、物質に所定の波形と強度を有するパルスレーザを照射する前後における物質の内部エネルギーの差を計算する内部エネルギー差計算部と、内部エネルギーの差と凝集エネルギーに基づいて、パルスレーザの照射による物質の分解の可否を判定する判定部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の同一面に加熱光及び検出光を照射して当該試料の熱物性を解析しても、検出光の反射光強度の測定において加熱光の反射光の影響を受け難い熱物性解析装置及び熱物性解析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明では、検出光Ｂ２を測定部位１１ａで焦点を結ぶように集光させて照射すると共に加熱光Ｂ１を当該測定部位１１ａに照射し、この測定部位１１ａからの反射検出光Ｂ２ａを測定部位１１ａとは異なる測定位置まで導光し、この測定位置に導光された反射検出光Ｂ２ａの強度を測定する。前記加熱光Ｂ１の照射は、測定部位１１ａにおいて加熱光Ｂ１が焦点を結ぶように照射する場合に比べ、測定位置に到達する反射加熱光Ｂ１ａの強度が小さくなるように測定部位１１ａにおいて焦点をぼかし且つその照射範囲ｓに検出光Ｂ２の照射範囲が含まれるように加熱光Ｂ１を集光するように照射する。 （もっと読む）

【課題】測定試料の汎用的内部検査を図ることができる基板内部検査装置、基板内部検査方法、及び基板の製造方法を提供する。
【解決手段】測定試料１０１の表面及び裏面に、Ｈｅ−Ｎｅレーザ１０２からの参照光をビームスプリッタ１０３で分割した光を照射した状態で、測定試料１０１の表面に、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ１０５から射出し、ＳＨＧ結晶１０６にて波長調整した励起光Ｂをパルス照射し、ディテクタ１１３１、１１３２にてそれぞれ検出された反射光の検出信号のピーク間隔を測定して、測定試料１０１内部の欠陥等の内部検査を行う。 （もっと読む）

【課題】重合体粒子の組成を高感度で分析できる分析方法及び分析装置を提供すること。
【解決手段】基板と、該基板内部に形成された２以上の流路と、２以上の流路が合流する合流流路とを備えた分析チップを用いて、以下の工程（Ａ）及び（Ｂ）を実施することを特徴とする分析方法、（Ａ）１つの流路に重合体粒子の分散物（１Ａ）を送液し、他の少なくとも１つの流路に前記重合体の良溶媒（２Ａ）を送液して、１Ａと２Ａとが共に送液される合流流路を形成する工程、（Ｂ）前記合流流路中において、良溶媒（２Ａ）側に溶解した重合体の濃度を分析する工程。 （もっと読む）

【課題】ＡｌＮと同等以上の高い放熱性の放熱用薄膜及び部品、また、放熱特性の簡便な測定方法を提供し、放熱用被膜の評価する。
【解決手段】基材１の最上層面にＭを金属成分としたとき、ＭｘＮｙＯ（１−ｙ）の形で成膜され、ｘ＝０．８０以上１．５以下、ｙ／（１−ｙ）＞０．５、１＞ｙであり、Ｍの主成分たる金属元素は、Ｍを１とするとき、アトミックな元素比率でＣｕ、Ｍ’αよりなり、Ｃｕが０．５０超、かつＣｕ＋６Ａ（Ｃｒ、Ｍｏ又はＷの少なくとも１種）が０．７５以上のＰＶＤによる導電性放熱用被膜３を成膜する。所定の基材１の一面１ａに熱源２を接触加熱させ、反対面３の表面温度３ａを輻射温度計にて測定する。さらに、加熱後所定時間経過後の温度を加熱直後温度で割った値をＩｎｄｅｘＫとして、各放熱用被膜を比較評価する。 （もっと読む）

本発明は、局在表面プラズモン共鳴（ＬＳＰＲ）を補助する少なくとも１つの感知ナノ粒子と、少なくとも１つの感知材料と、少なくとも１つの感知ナノ粒子を少なくとも１つの感知材料から分離する少なくとも１つの分離層とを含む構成体に関するものである。この構成体は、感知ナノ粒子によって、感知材料の表面内及び表面上又は環境の変化を間接的に感知調査することができる。この構成体はまた、水素の貯蔵、触媒反応の調査、又はＮＯ_ｘの感知のために、光学温度測定及び熱量測定、光学示差走査熱量測定（ＤＳＣ）に使用することができる。
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【課題】セルに充填された試料に信号光及び励起光を通過させることによる信号光の位相変化をヘテロダイン方式の光干渉法により測定する場合に，セルに対する信号光や励起光の反射光がノイズとなって測定精度を悪化させることを防止できること。
【解決手段】信号光Ｐｓを，セルの第１の外壁２ａに対し斜めに入射させて試料１中を第１の光路Ｒ１に沿って通過させ，通過した信号光の一部をハーフミラー３で反射し，反射した信号光Ｐｓを第２の光路Ｒ２に沿って試料１を通過させ，励起光Ｐｈを，ハーフミラー３を通して前記第２の外壁２ｂに対し斜めに入射させ，前記第１の光路Ｒ１に沿って信号光Ｐｓに対し逆方向に試料１を通過させ，参照光Ｐｈを，ハーフミラー３を通して前記第２の光路Ｒ２に沿って信号光Ｐｓと同じ方向に試料１を通過させる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、薄膜が金属であっても、またその厚さが数ミクロン以下であっても、熱伝導率と界面熱抵抗を測定する手段を得ることを目的とする。
【解決手段】
本発明の測定装置は、表面に薄膜を有する対象物の熱物性を調べる熱物性測定装置であって、前記対象物に対して、所定の周波数の交流ポンプ光を照射する加熱光照射手段と、前記ポンプ光の照射により生じた対象物表面の温度応答を、当該表面から反射するプローブ光の振幅とその位相変化の検出によって測定するロックイン検出手段とを有することを特徴とし、本発明の測定方法は、対象物の表面にある薄膜の熱伝導率と基板との間の界面熱抵抗を測定する方法であって、前記の熱物性測定装置で得られた交流温度応答（振幅と位相）に基づき、前記対象物表面にある薄膜の熱伝導率と界面熱抵抗を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不透明な基板上に形成された薄い被測定物であっても、当該被測定物に対する熱物性についての解析の精度を維持することができる熱物性解析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る熱物性解析方法は、被測定物３０の表面に金属膜ｆｉを形成する成膜工程と、この金属膜ｆｉの形成後、当該金属膜ｆｉに表面側から加熱用パルス光Ｂ１ａと検出光Ｂ２ａとを照射する光照射工程と、金属膜ｆｉ表面で反射された検出光Ｂ２ａを受光してその受光強度の変化から当該金属膜ｆｉ表面の温度変化を検出する温度変化検出工程と、前記検出した温度変化のうち加熱用パルス光Ｂ１ａの照射による熱が金属膜ｆｉの内部でのみ拡散している時間が経過した後の温度変化に基づいて被測定物３０の熱物性を解析する解析工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、被検体(23)中に位置する熱レンズ(26)の焦点距離を測定するための方法に関し、その方法は、被検体(23)中に伸びる励起光ビーム(21.1)を提供して被検体中に熱レンズを形成するステップと、被検体(23)中に伸びるコヒーレントなプローブ光ビーム(22.1)を放射して励起光ビーム(21.1)と実質的に垂直に伝搬させるステップと、コヒーレントなプローブ光ビーム(22.1)を、被検体(23)を通過した後に検出器(24)で受けるステップとを含む。この方法はさらに、熱レンズ(26)がプローブ光ビーム(22.1)の一部だけ(22.1a)と交差するように熱レンズ(26)の上流または下流で励起光ビーム(21.1)を集光するステップと、検出器(24)によって干渉像を得るステップと、熱レンズ(26)の焦点距離を計算するために干渉像を処理するステップとを含む。本発明は、被検体(23)の物理的および化学的な分析に使用することができる。
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