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Fターム[2G040EA06]の内容

熱的手段による材料の調査、分析 (9,035) | 加熱、冷却、恒温、点火手段 (699) | 種類 (628) | 赤外線ランプ、レーザー (150)

Fターム[2G040EA06]に分類される特許

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【課題】 試料の光熱効果による特性変化を,安定的に高精度で測定でき,さらに,消費電力の増加や高コスト化,S/N比の低下,測定時間の長時間化を防止しながら高感度で測定できること。
【解決手段】 試料5の光熱効果による屈折率変化を,試料を通過(透過)させた測定光P1における励起光P3の照射による位相変化を光干渉法を用いて測定することによって,即ち,参照光(P2)と測定光(P1)との位相差によって測定する。測定光P1及び励起光P3は,各々異なる方向から試料5の測定部5aに照射する。励起光P3はチョッパ2によって周期的に強度変調した光を用い,信号処理装置21によってその強度変調周期と同周期成分の位相変化を測定してS/N比を向上させる。さらに,測定光を反射ミラー6で試料に往復通過させることにより,高感度で試料の屈折率変化を測定する。 (もっと読む)


【課題】熱物性顕微鏡を用いて試料の熱反射信号を測定し、試料表面の微小領域及び薄膜の単位体積あたり熱容量、熱浸透率、熱拡散率を高い空間分解能により測定すること。
【解決手段】 モリブデンを成膜した参照試料表面を加熱用レーザビームにより加熱し、この加熱位置に加熱用レーザ径より小さな測温用レーザを照射し、検出したサーモリフレクタンス信号光に基づいて参照試料表面の温度変化の振幅を測定する。振幅を測定し表面のレーザに対する吸収量とサーモリフレクタンス信号の温度係数を求める。モリブデンを成膜した測定試料表面の温度変化の振幅の測定値を代入した式1と測定試料の位相の測定値を代入した式2とから薄膜の熱拡散率α及び熱浸透率bを求める。熱伝導率λ及び単位体積あたり熱容量Cを求める。 (もっと読む)


本発明は、複数の狭小金属領域を有する構造を評価する方法に関し、各領域は、第2の非金属材料を有する隣接領域間に設置される。本方法は、熱グレーティングを形成するため、励起ストリップで構成される空間周期励起場を用いた照射によって、前記構造を励起するステップを有する。さらに本方法は、熱グレーティングの生じない検出レーザー光線を回折させて、信号光線を形成するステップと、時間の関数として信号光線を検出して信号波形を形成するステップと、信号波形の熱成分に基づいて少なくとも一つの構造特性を決定するステップと、を有する。
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【課題】
数十〜数百ナノメートルオーダーの金属膜あるいは有機膜の薄膜の熱物性測定を容易にかつ簡便に行うことができるナノ薄膜熱物性測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】
対象励起用パルス光として、tpulse<1/3t1/2でtpulse>1nsで、かつ
rep>15t1/2であり、
ここで、tpulse:レーザのパルス幅
1/2:ハーフタイム(レーザフラッシュ法で測定される最大温度上昇の2分の1に達するまでの時間)
rep:測定対象励起用パルス光の照射間隔時間
としたパルス光を用いる。 (もっと読む)


【課題】 建築用ガラスの一部をカットしたサンプルを用いて実験中の状況を再現し、ユーザーに直接製品の状態及び性能を示して理解を早めることのできる建築用ガラスの性能比較実演装置を提供する。
【解決手段】 正面が開放された中空の箱体11内を複数に区画して同じ容積の小空間14を形成し、同各小空間14の正面開口部に種類の異なる複数の建築用のガラスサンプルA〜Dをそれぞれ取り付けて小空間14を密閉し、各サンプルA〜Dの室外側に同じ条件の光源16をガラスサンプルA〜Dに向けてそれぞれ配置し、各小空間14に温度センサ15をそれぞれ配置し、同各温度センサ15で計測した温度値を表示する温度表示器を箱体11に取り付けた。 (もっと読む)


本発明は多機能流体の熱伝導率の連続的な測定(30)のための方法と装置に関係する。本考案の方法は多機能流体の供試体を入口面と出口面によって定義される空間(31)に置き、入口面を経由して供試体に少なくともひとつの熱流の極めて短いパルスを送り、供試体内部の一定間隔をおいた3点での時間の関数として多機能流体の温度変化を測定するよう少なくとも3個の温度センサー(S1,S2,S3)を用いて、レーザー装置(40)を使用し供試体の内部に一定間隔をおいた少なくとも3点で熱波を測定し、前述の温度変化から供試体の熱力学特性を推定し、Tは温度を表し、kは温度で変化する熱伝導率を表し、tは時間そしてαはkにより変化する熱拡散率を表すと同時に、k(T)/ρ*Cpに等しく、かつρ および Cpが全体密度と比熱を表す場合に、方程式(1)から熱伝導率を計算することにある。
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【課題】 試料の吸着物に対する吸着量の評価を正確に行うこと。同一製品の同一ロット品の中での不良品の判別を、簡単かつ迅速に評価すること。
【解決手段】 試料100の特定領域のみに対して選択的に成膜して脱離抑制膜20を形成するようにしたので、特定領域内に存在する吸着物を脱離させずに封じ込めることができ、特性領域からの脱離ガス30を抑制し、正確かつ迅速に試料の評価を行う。 (もっと読む)


【課題】 短時間で基板の熱的性質を判定できる方法及びオープンループステップの熱処理条件を決定できる方法を提供する。
【解決手段】 本発明の基板の熱的性質判定方法によれば、ウェハWを加熱するためのランプ9とランプ9に対向配置された温度センサT1〜T7とを備えた急速熱処理装置1内で、ランプ9と温度センサT1〜T7との間に配置されたウェハWにランプ9を用いてパルス加熱を施しながら、温度センサT1〜T7から逐次出力される温度データを得る。その後、当該温度データを用いてウェハWの熱的性質を判定する。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、作業者の勘に頼らない定量的な評価ができるとともに、検査に要するコストを大幅に低減でき、さらに従来の赤外線カメラを用いた検査方法を含めた非接触検査方法と比べて深い欠陥の検査ができることを課題とする。
【解決手段】 本発明の構造物の内部欠陥検出装置は、構造物に赤外線を照射して温度分布を測定することにより、構造物の内部欠陥を検出する構造物の内部欠陥検出装置において、前記構造物に前記赤外線を照射する前記赤外線照射手段は、照射強度分布特性を均一化する赤外線反射板と、前記赤外線反射板の角度を調整可能にする角度調整手段とを備え、波長1μm〜50μmの赤外線を前記構造物に均一に照射する構成である。 (もっと読む)


【課題】 コーティング層の減肉、緻密化などに起因する遮熱性能の低下を非破壊測定により定量的に、しかも短時間で正確に測定・評価する。
【解決手段】 基準熱抵抗材の測定加熱条件でのコーティング層の熱抵抗Rと検出温度Tとの相関関係を求め、熱抵抗の変化を測定しようとするコーティング層を、コーティング層側から加熱し、そのときの当該コーティング層の表面温度の変化を測定し、この測定値と基準熱抵抗材の同じ条件で測定した表面温度の変化とを比較し、その温度変化の差から、コーティング層の熱抵抗Rと検出温度Tの相関関係を用いてこのコーティング層の熱抵抗変化量を算出し、基準熱抵抗材の熱抵抗値をもとにコーティング層の熱抵抗Rを求めるようにしている。 (もっと読む)


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