Array ( [0] => その他の電気的手段による材料の調査、分析 [1] => イオン源 [2] => CI、化学イオン化 ) その他の電気的手段による材料の調査、分析 | イオン源 | CI、化学イオン化
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Fターム[2G041DA09]の内容

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【課題】大気中の各種ガス成分の影響を排除してアルシンをパルス放電型検出器で確実に分析することができるアルシンの分析方法を提供する。
【解決手段】試料ガスを脱水剤に接触させて試料ガス中の水分を除去し、分離カラムで試料ガス中のアルシンを含む分析用ガスと他のガス成分とを分離し、分離した分析用ガスと共に、準安定状態を有する原子からなる第1のガスと、該第1のガスよりイオン化ポテンシャルの低い原子からなる第2のガスとをパルス放電型検出器の放電室に供給し、準安定状態に励起された前記第1のガスが前記第2のガスをイオン化して形成されたプラズマを用いて前記分析用ガス中のアルシンをイオン化し、該イオン化したアルシンのイオン強度を測定することにより、前記試料ガス中のアルシンの濃度を求める。 (もっと読む)












【課題】本発明の好ましい実施形態では、真空チャンバは、ターボ分子ポンプで排気され、フォアライン排気は、隔膜ポンプによって提供される。そして、回転ポンプの使用を避けることによって、システムの全体のサイズおよび重量は、かなり低減でき、加えて、衝突冷却として周知の現象が、期待されるよりもはるかに低い圧力で、小型イオンガイドで高効率で生じる。
【解決手段】大気圧イオン化源に結合できる小型質量分析計が、表現される。イオンは、大気圧または低真空の領域から小さなオリフィスを通り抜け、それらが非常に短い差動排気イオンガイドを通過するとき、効率の良い衝突冷却を受ける。低エネルギーイオンの狭いビームは、小さな開口を通り抜けて、質量分析器を含む別個のチャンバに入る。 (もっと読む)






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