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Fターム[2G041DA14]の内容

その他の電気的手段による材料の調査、分析 (22,023) | イオン源 (4,018) | ICP、誘導結合プラズマ (211)

Fターム[2G041DA14]に分類される特許

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【課題】酸、アルカリ、水のいずれに対しても不溶性であるCrが試料中に含まれていても、簡便な操作で、固体試料中の全クロムを迅速かつ正確に定量する方法を提供する。
【解決手段】固体試料に硫酸を添加して加熱する酸分解工程、及び、前記固体試料の酸分解物に過マンガン酸カリウムを添加して加熱する工程を有するようにした。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】開示する質量分析装置において、イオン信号は、第一及び第二の信号に分割される。第一及び第二の信号は、異なる利得により増幅され、デジタル化される。両デジタル化信号について、到達時間/強度ペアを計算し、結果的に生じた時間/強度ペアを結合して高ダイナミックレンジスペクトルを形成する。スペクトルは、その後、他の対応するスペクトルと結合して加算スペクトルを形成する。 (もっと読む)


【課題】高マトリクス溶液試料をプラズマ化する前に希釈するのに適した新規の装置及び方法を提供する。
【解決手段】スプレーチャンバ20から延出し、プラズマトーチ30に連結される輸送管70の途中に追加のガスG2による気流が提供される。霧化された分析試料は、輸送管70を通過して、スプレーチャンバ20内に導入されたガスG1によってスプレーチャンバ20からプラズマトーチへ向けて移動するが、移動方向に対して交差する追加のガスG2の気流の存在によって、移動が妨害される。その際、霧を構成する液粒は、相互に結合し、比較的大きな径の粒となり、輸送管70の途中の壁面に液滴を形成する。これによって、プラズマトーチ30に達する試料の量を再現性良く制御して減らすことが出来る。 (もっと読む)


向上した質量分解能を有する多重極マスフィルタ。多重極マスフィルタは、少なくともRF電圧源に結合される第1の電極一式と、第1の電極一式に挟入され、並列である第2の電極一式とを有する。第2の電極一式は、第2の電極一式の2つの半径方向に対向する電極に結合される可変AC電圧を有する。上記第1の電極一式の複数の伝導性ロッドのそれぞれは、横断面が略円形であり、上記第2の電極一式の複数の伝導性ロッドのそれぞれは、横断面が略T字形である。
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【課題】微量のPd、Rh及びRuを高周波プラズマ質量分析装置で高精度に分析するための方法を提供する。
【解決手段】微量Pd、Rh又はRuを測定対象元素として分析する方法であって、(1)ナトリウム化合物を用いたアルカリ融解法によって試料を前処理する工程と、(2)該前処理を行った試料を高周波プラズマ質量分析装置にて分析する工程とを含み、工程(2)において、サンプリングコーンとスキマーコーンの間隔を、Pdと干渉する40Ar65Cuの濃度、Rhと干渉する40Ar63Cu及び40Ar40Ar23Naの濃度、並びにRuと干渉する38Ar63Cu及び40Ar38Ar23Naの濃度のすべてが0.05ppb以下となる値に設定して分析することを特徴とする方法。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】電子移動解離セル1を備える質量分析計が開示される。セル1により、正の検体イオンが1価の負の試薬イオンとの衝突によりフラグメントイオンへとフラグメンテーションされる。セルは、球状のトラップ空間を形成する複数のリング電極1を備える。イオンは、トラップ空間の大部分上で無視できる程度のRF加熱を受け、これにより、検体イオンおよび試薬イオンの運動エネルギーを、熱温度をわずかに超える温度に低下させることが可能となる。その結果、感度が向上した電子移動解離セル1が提供される。セル1内で生成されたフラグメントイオンを冷却し、直交加速式飛行時間質量分析部へと前方移送することができ、これにより、得られる質量分析部の分解能を大きく向上させることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】試料中の微量不純物元素の量を汎用の四重極型質量分析装置を用いて簡易にかつ精密・正確に定量することができる方法を提供する。
【解決手段】2個以上の安定同位体を有する元素の定量方法であって、(1)試料に濃縮安定同位体を特定量添加した後、マトリックス材料除去を含む前処理を行ないICP−MSにより同位体のシグナル強度を測定し、(2)濃縮安定同位体のみについて同様にシグナル強度を測定し、(3)特定の同位体の上記強度比を前処理における仮回収率とし、その仮回収率等および予め作成した検量線を用い試料中の分析対象元素の仮存在量を求め、(4)分析対象元素の特定量と分析対象元素と同一元素の濃縮安定同位体の特定量とを含有する模擬試料溶液について同様にシグナル強度を測定して仮存在量を算出し、それと模擬試料溶液で配合した既知量との関係から測定偏り率を求め、仮存在量を補正して分析対象元素の存在量を算出する。 (もっと読む)


【課題】炭化水素油中の微量金属をICP発光分析又はICP質量分析で定量する際に、正確に、且つ高精度に測定する分析方法を提供する。
【解決手段】炭化水素油に含まれる1ppm以下の微量金属を、ICP発光分析又はICP質量分析で定量するにあたり、炭化水素油に酸を混合することを特徴とする微量金属の分析方法である。なお、前記酸としては、硝酸、塩酸、硫酸、フッ化水素酸、りん酸、過塩素酸、酢酸及び蟻酸が好ましい。 (もっと読む)


【課題】低真空雰囲気中においても高い輸送効率で以てイオンを偏向させ、光や中性粒子を確実に除去する。
【解決手段】直方体の互いに平行な4辺に沿って4本のロッド電極11、12、13、14を配置し、第1、第2ロッド電極11、12を含む面をイオン入射面Pi、第1、第4ロッド電極11、14を含む面をイオン出射面Poとする。各ロッド電極11〜14にそれぞれ所定の直流電圧を印加することで、4本のロッド電極11〜14で囲まれる空間にイオンの軌道を略90°曲げる直流電場を形成し、さらに対向する2本のロッド電極11、13と他の2本のロッド電極12、14とに互いに逆相の高周波電圧を印加することで形成する高周波電場により、イオンを振動させて束縛する。これにより、イオンが残留ガスに衝突してその進行方向を変えても発散することを抑制することができ、屈曲した偏向軌道に沿って高い効率でイオンを輸送して後段に送ることができる。 (もっと読む)


【課題】岩石や鉱物などの試料中の微量元素であるハフニウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、タンタル、タングステンなどを、効率的に濃縮するための前処理方法を提供することが本発明の課題である。
【解決手段】本発明により、微量元素の濃縮を行う対象である試料にチタン及びフッ化水素酸を添加し、前記試料を分解処理すると共に、チタンとフッ化水素酸からチタンのフロロ錯体を生成する工程、分解された前記試料に過塩素酸を添加し、加熱処理を行なって前記試料を乾固することにより、前記チタンのフロロ錯体を分解してチタン酸化物を生成する工程、及び;乾固した前記試料を鉱酸で溶解し、得られた溶液を遠心分離して沈殿を回収することにより、前記チタン酸化物と共沈する前記微量元素を得る工程:を有することを特徴とする、微量元素濃縮の前処理方法が提供された。 (もっと読む)


【課題】導体ウェハ収納容器内の付着物を十分に回収することができ、かつ気泡の影響を受けずに高精度に半導体ウェハ収納パーティクルの測定を行うことのできる半導体ウェハ収納容器の清浄度評価方法の提供。
【解決手段】半導体ウェハ収納容器の清浄度評価方法は、半導体ウェハ収納容器内に液体を注入して前記半導体ウェハ収納容器を撹拌し、容器内付着物を液体中に回収する手順S3と、付着物が回収された回収液体中に最終洗浄を行った半導体ウェハを浸漬する手順S4と、浸漬された半導体ウェハの表面を上向きにして一定時間静置し、前記回収液体中の付着物を前記半導体ウェハ表面に転写させる手順S5と、前記付着物が転写された半導体ウェハを乾燥させる手順S6と、乾燥した半導体ウェハ表面の前記付着物を、ウェハ用パーティクル測定装置にて測定する手順S7とを実施する。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】四重極ロッドセットイオンガイドまたは質量フィルタデバイスを備える質量分析計が開示される。複数の周波数ノッチ(16a、16b、16c)を有する広帯域周波数信号(13、14、15)が四重極ロッドセットのロッドに順次印加される。ノッチ広帯域周波数信号(16a、16b、16c)により、イオンガイドから不要なイオンが共振によりまたはパラメトリックに排出される。結果として得られるイオン信号がデコンボリューションされ、質量スペクトルが得られる。 (もっと読む)


【課題】分析対象がサンプル液中の微量成分や超微量成分である場合における、何らかの汚染に起因した、間欠的に分析不能状態となる(波形が安定しない)ことの解決。
【解決手段】プランジャの往復移動によって液体の吸い込み及び吐き出しを行う液体送液用ポンプと、前記液体送液用ポンプが送液した前記液体を含有する分析対象液中の所定成分を分析する分析部と、を備えた分析システムにおいて、前記分析システムは、前記プランジャの前記往復運動が可能な形で前記プランジャの外周面を包囲するように取り付けられた、プランジャ洗浄部材を更に有しており、前記プランジャ洗浄部材は、洗浄液を流入するための洗浄液流入口と、前記洗浄液を流出するための洗浄液流出口と、前記洗浄液流入口及び前記洗浄液流出口と液体導通可能に連絡している、前記プランジャの外周面が剥き出しとなった空間であるプランジャ洗浄部とを備えている、ことを特徴とする分析システム。 (もっと読む)


【課題】レーザを用いてウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することのできるウエハ汚染物質の分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】ウエハ汚染物質の分析装置100は、汚染物質を分析するためのウエハWを支持するウエハホルダ160と、ウエハWから分離した試料を採取するためにウエハW側にレーザLを照射するレーザアブレーション装置110と、レーザLを照射することによってウエハW表面から分離した試料を採取するための分析セル170と、分析セル170に連結されて前記採取する試料から汚染物質を分析するための分析装置190とを含む。 (もっと読む)


【課題】ICP質量分析装置又はICP発光分光分析装置等の元素分析装置にて高感度に元素分析を行うことができる試料の導入を行う試料導入装置を提供する。
【解決手段】サイクロンチャンバー1内に霧状の試料をネブライザ2が噴霧し、サイクロンチャンバー1の送出口11から元素分析装置のプラズマトーチなどへ試料を導入する構成の試料導入装置に、ネブライザ2の噴霧口へ赤外線を照射して試料を加熱する赤外線照射器5を設ける。また、ネブライザ2へキャリアガスを供給する給気管41を加熱部42により加熱すると共に、サイクロンチャンバー1の送出口11に連通する送出管12及び導入管46を冷却部46が冷却する。これらにより、ネブライザ2が噴霧した試料の粒子サイズを小さくし、粒子サイズの小さい試料のみをプラズマトーチなどへ導入することができる。 (もっと読む)


【課題】質量分析計
【解決手段】連続的な軸方向電場を印加することによってイオンをそれらのイオン移動度にしたがって時間的に分離するための第1の動作モードで動作することができる装置(2)を含む質量分析計が開示される。装置(2)は、印加される軸方向電場をONとOFFとでパルス切り替えすることによってイオンをそれらの質量電荷比にしたがって時間的に分離する第2の動作モードでも動作可能である。 (もっと読む)


【課題】IH2の干渉がないヨウ素分析方法および装置を実現する。また、ヨウ素127の測定が連続しても検出器が劣化しないヨウ素分析方法および装置を実現する。
【解決手段】誘導結合プラズマ質量分析装置を用いてヨウ素を分析するにあたり、土壌試料(300)をアルゴンガス雰囲気中で加熱(100)してサンプルを気相状態にし、前記気相状態のサンプルをリアクションセル(240)付の誘導結合プラズマ質量分析装置(200)にそのまま導入して質量分析する。前記質量分析を、リアクションセル(240)のパラメータ設定により、検出感度がヨウ素127に関しては相対的に低く、ヨウ素129に関しては相対的に高い状態で行う。 (もっと読む)


【課題】質量分析計
【解決手段】飛行時間型質量分析器(7)を含む質量分析計が開示される。飛行時間型質量分析器(7)は、分圧器を形成する一連の抵抗器(2)によって相互接続される複数の電極(1)を含むイオンガイドを含む。イオンは、電極(1)に対する二相RF電圧の印加によって、イオンガイド内において径方向に閉じ込められる。イオンガイドの長さに沿って不均一な擬ポテンシャル力が維持されるように、分圧器に跨って付加的な単相RF電圧が印加される。 (もっと読む)


【課題】
シリコンウェーハ表面上の珪素を効率よく脱離することができるシリコンウェーハ表面の珪素脱離方法、この珪素脱離方法を適用することにより採取した液体サンプル中のシリコン含有量を低く抑えることができるようにしたシリコンウェーハ表層下領域の液体サンプル採取方法、及びこの採取方法により採取した液体サンプルを用いて分析することにより分析感度を向上させ高感度で安定した分析が行えるようにしたシリコンウェーハ表層下領域の金属不純物分析方法を提供する。
【解決手段】
HF溶液、HNO3溶液及びH2OのそれぞれをN2ガスでバブリングする工程と、シリコンウェーハを収納したチャンバー内に前記それぞれの溶液の揮発蒸気を含んだN2ガスを導入し当該シリコンウェーハをエッチングする工程と、前記エッチングされたシリコンウェーハをN2ガスでブローすることにより前記シリコンウェーハ表面上の珪素を蒸発する工程と、を有するようにした。 (もっと読む)


【解決手段】イオン移動度分析計(8)と、イオンゲート(9)とを含む質量分析計が開示される。イオンゲート(9)の下流に、衝突セル(10)が配置される。イオン移動度分析計(8)及びイオンゲート(9)の動作は、特定の質量電荷比と、所望の荷電状態とを有するイオンのみが衝突セル(10)へと前方に伝送されるように、同期化される。 (もっと読む)


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