【課題】１台の質量分析装置を用いて、前駆イオンのマスクロマトグラムを予測し、良好なＭＳ^ｎデータを得られる可能性が高いタイミングでＭＳ^ｎを実行することができる質量分析システムを提供する。
【解決手段】試料の分離手段と質量分析手段から構成される質量分析システムにおいて、ｎ回目までのサンプル測定で得られたＭＳ^１データから全イオン種溶出パターンを算出し、前記イオン種溶出パターンとＭＳ^ｎデータとを基にｎ＋１回目のサンプル測定時に質量分析するイオン種の優先順位を決定する。 （もっと読む）

【課題】検体に関するイオン信号を干渉により生じる信号から分解する方法に関する。
【解決手段】イオン源からイオン輸送器、四重極衝突セル、分析質量分光計にイオンを輸送することによる同重干渉を、除去しなければ反応して同重干渉を形成しやすい中間イオンを除去する通過帯域をもって衝突セルを動作させて低減する方法。衝突セルにおける反応ガスとしてアンモニアを用いることが好ましい。関与する化学種及びその化学的特性に応じて、適切なレベルに低質量カットオフを設定して衝突セルを作動させるか、あるいはより一般的には、衝突セルにＲＦ及びＤＣをともに印加することにより定められる高質量及び低質量カットオフの双方を通過帯域が有する。衝突セルは飛行時間型（ＴＯＦ）質量分光計にイオンを輸送するための通過帯域をもって作動させることもでき、よってＴＯＦに入るイオンの質量範囲を限定し、従ってＴＯＦのデューティサイクルを改善できる。 （もっと読む）

【課題】改良された質量分析計および質量分析の方法を提供すること。
【解決手段】期間ΔＴ₁におけるゼロ透過率動作モードと期間ΔＴ₂における非ゼロ透過率動作モードとを繰り返し切り換えてイオンビームを減衰させるイオンビーム減衰器を含む質量分析計が開示されている。イオンビームの減衰の程度は、マークスペース比ΔＴ₂／ΔＴ₁を変化させることによって変化させることができる。イオンビーム減衰器は、イオンをパケットまたはパルスで放出し得るが、イオンのパケットまたはパルスは、イオンビーム減衰器の下流に配置された比較的高圧のイオンガイドまたはガス衝突セルによって、連続したイオンビームに変換され得る。 （もっと読む）

【課題】微量成分の吸着量を高める塩析剤を用いた質量スペクトル分析において、塩析剤の妨害を排除した分析方法ないし試料調製方法を提供する。
【解決手段】酸性試料液に含まれる微量のウランおよびトリウムを吸着させて捕集し、これを溶離して質量スペクトル分析する方法において、ウランおよびトリウムの吸着量を高める塩析剤として、試料液と同種の酸のカルシウム塩を用いることを特徴とする質量スペクトル分析方法であり、例えば、塩析剤として硝酸カルシウムを添加した硝酸性試料液をイオン交換樹脂またはフィルターに通液して、試料液中のウランおよびトリウムを吸着させ、次いで、このウランおよびトリウムを溶離してＩＣＰ-ＭＳによる質量スペクトル分析を行なう分析方法。 （もっと読む）

【課題】タンデム型質量分析計で、断片化の過程の前に、イオンの分子を活性化する手段及び方法を提供する。
【解決手段】タンデム型質量分析計１００は、質量分析器１４０の上流側に、分析物イオンを受け入れる第１の衝突セル１２４と、その下流に並置される第２の衝突セル１２８とを有する。第１の衝突セル１２４は、イオンが第２の衝突セル１２８に入る前に、分析物イオンの内部エネルギーを高めることができる。第１の衝突セル１２４で高められる内部エネルギーは、分析物イオンのうちの大部分を断片化するには十分でない程度とされる。 （もっと読む）

イオンが使用時に移送される開口を有する複数の電極を含む閉ループイオンガイド（１）が開示される。イオンは、閉ループイオンガイド（１）中へ注入され、イオンガイド（１）から排出される前に閉ループイオンガイド（１）を数回周回し得る。一動作モードにおいて、イオンガイド（１）は、イオンをそのイオン移動度にしたがって時間的に分離するように構成され得る。
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【課題】効率よく金属を表面に析出させる金属析出装置を提供する。
【解決手段】金属析出装置１００は、シリコンウェハ９００中に含まれる不純物金属を表面に析出させる。金属析出装置１００は、シリコンウェハ９００に向けてＸ線を発射するＸ線発射部３００を備える。Ｘ線の波長は、不純物金属のＫ吸収端の波長以下であってＫ吸収端に近い波長である。例えば、不純物金属がＮｉであるとき、特性Ｘ線を発射するターゲット３３１をＺｎとする。また、例えば、不純物金属がＣｕであるとき、特性Ｘ線を発射するターゲット３３１をＺｎとする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】親イオンが混合物から溶離するのと実質的に同時に生成されたと分かった娘イオンを照合することによって親イオンを同定する方法を開示する。イオン源（１）から出射されたイオンは、電子捕獲解離、電子移動解離または表面誘起解離フラグメンテーションデバイスを含むフラグメンテーションデバイス（４）へ移送される。フラグメンテーションデバイス（４）は、イオンが実質的にフラグメンテーションされ、娘イオンを生成する第１のモードとイオンが実質的にフラグメンテーションされない第２のモードとの間を交番しておよび繰り返し切り換えられる。質量スペクトルは、両方のモードにおいてとられる。１回の実験稼動の終了時に、親および娘イオンが２つの異なるモードにおいて得られた質量スペクトルを比較することによって認識される。娘イオンは、それらの溶離時間の一致度にしたがって特定の親イオンと照合され、次いでこれによって親イオンを同定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ホウ素化合物をポンプによる吸引等の操作を必要とせず簡便にしかも効率よく捕集することができるホウ素化合物捕集用パッシブサンプラー、および、それを用いて空間のホウ素化合物の量を評価する方法を提供すること。
【解決手段】Ｎ−メチルグルカミン基を官能基とする陰イオン交換樹脂、セルロース、高純度シリカおよびキサトン誘導体からなる吸着剤群から選ばれる少なくとも１種の吸着剤を表面に有する捕集材を備えることを特徴とするホウ素化合物捕集用パッシブサンプラー。 （もっと読む）

【課題】誘電結合プラズマ高周波（ＲＦ）電源を実現するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】調節可能な作動周波数で高周波電力信号を発生する電力増幅器を含む電源を実現するためのシステム及び方法。電力増幅器はまた、高周波電力信号から導出される基準位相信号を発生する。インピーダンス整合器は、可変共振条件を有するプラズマコイルに高周波電力信号を供給する。位相プローブは、プラズマコイルに隣接して位置決めされ、調節可能作動周波数に対応するコイル位相信号を発生する。位相固定ループは、次に、基準位相信号とコイル位相信号の間の位相関係に基づいてＲＦ駆動信号を発生する。位相固定ループは、電力増幅器にＲＦ駆動信号を供給して調節可能な作動周波数を制御し、それによって調節可能な作動周波数は、次に、可変共振条件を追跡する。 （もっと読む）

本発明は、低真空雰囲気の下でも、高質量電荷比を持つイオンを高いイオン通過効率で以て輸送することができるイオンレンズを有する質量分析装置を提供する。従来の大気圧イオン化質量分析装置又は同様の質量分析装置では、イオンレンズに高すぎる電圧を印加すると不所望の放電が起こる。したがって、高質量電荷比のイオンの通過効率をあまり上げることができず、検出感度が犠牲となっている。この問題を解決するために、本発明に係る質量分析装置は、イオンレンズ（５）の各レンズ電極に印加される高周波電圧の振幅と周波数の両方が分析対象のイオンの質量電荷比に応じて変化されるように可変高周波（ＲＦ）電圧発生部（２４）を制御する電圧制御部（２１）を備える。この制御により、たとえ高質量電荷比のイオンを分析する場合であっても、イオンレンズ（５）はイオンを収束させて高い通過効率で以て後段に輸送することができる。それによって、検出感度が改善される。上述した制御は、電圧制御データ記憶部（２２）に記憶されている制御データに基づいて行われる。それらデータは、質量電荷比が既知である物質を含む試料を、分析条件を変化させながらイオン検出器の信号強度が保たれるように予め測定することにより得られたものである。
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開口を有する複数の電極を含む質量分析器（２）が提供される。使用時にイオンはその開口を通って移送される。複数の擬ポテンシャル波形が質量分析器（２）の軸に沿って生成される。擬ポテンシャル波形の振幅または深さは、イオンの質量電荷比に反比例する。イオンを質量分析器（２）の長さに沿って駆動するために１つ以上の過渡ＤＣ電圧が質量分析器（２）の電極に印加される。電極に印加される過渡ＤＣ電圧の振幅は、時間とともに増加され、イオンは、質量電荷比の逆順に質量分析器（２）から出射される。
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開示された装置は、一対のグリッド無しイオンミラー（１２）、ドリフト空間（１３）、直交イオン加速器（１４）、オプションの偏向器（１５）、イオン検出器（１６）、一組の周期的レンズ（１７）、及びエッジ偏向器（１８）を備えた多重反射型飛行時間質量分析計（ＭＲ‐ＴＯＦ ＭＳ）（１１）を有する。ＭＲ‐ＴＯＦ ＭＳにおける長い飛行によって決定される低い繰り返し速度でのイオン注入のデューティーサイクルを改善するために、多様な対策がとることができる。入射イオンビームと加速器をＭＲ‐ＴＯＦ内のイオン経路に対して実質的に直交する方向に向けることができ、イオンビームの初期速度は、加速器を傾けビームを同じ角度だけ旋回させることで補償される。任意の多重反射、又はマルチターン質量分析計のデューティーサイクルを更に改善するために、イオンガイドを用いて軸方向イオン速度を変調することによってビームを時間圧縮することができる。加速器内におけるイオンの滞留時間は、ビームを静電トラップ内に閉じ込めることによって改善できる。加速器内における滞留時間を長くした装置は、感度と分解能の両方を改善できる。 （もっと読む）

【課題】 ロッドセットの軸に沿って軸電界を発生させること。
【解決手段】 部材間に、縦軸を有する容積を画定する部材のセット、前記部材にＲＦ電圧を印加し、前記縦軸に沿って前記容積を通ってイオンを伝達する手段、および前記部材に沿って延び、前記縦軸に沿って延びる軸電界を確立する手段を有する。 （もっと読む）

【課題】マイクロプラズマジェット発生装置において、マイクロアンテナの端子に、幅寸法の大きな配線や整合回路のリアクタンス素子などの部品を、漏れ容量が小さい状態で接続することができ、マイクロアンテナに効率的にエネルギーを入力できるようにする。
【解決手段】ＶＨＦ帯の高周波電源により駆動されてマイクロ誘導結合プラズマジェットを生成するマイクロプラズマジェット発生装置１において、基板２と、基板２上に配設された複数巻の波状形態のマイクロアンテナ３と、マイクロアンテナ３の近傍に配設された放電管４とを備え、マイクロアンテナ３を、その一方の端子５ａと他方の端子５ｂが波形状の進行方向の中心線に対して互いに反対側に配置された形状とした。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡単な構成で、細管内を移送する流体の流速、流量等を検出することができ、分析・測定等のための各種流体を良好に移送できるようにする。
【解決手段】シリンジポンプ部１１により移送された溶離液ｋとシリンジポンプ部２０により移送されたサンプル液ｓとをインジェクションバルブ部１７で混合し、この混合液をカラムへ給送する流体移送装置において、上記シリンジポンプ部２０によりサンプル液ｓに気泡を混入させると共に、このサンプル液ｓを移送する管２２の所定の距離離れた２箇所に、１対の電極板Ｅａ，Ｅｂを有する検出部２４と２５を設け、この検出部２４，２５の電極板間の静電容量の変化から２箇所の気泡の通過点を検出し、これによってサンプル液ｓの流速、流量等を検知する。これにより、溶離液ｋ、サンプル液ｓ等の給送タイミングが調整できる。 （もっと読む）

【課題】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハに含まれる不純物量を、効率的かつ高精度で測定可能とするために、最小限の工程で、測定試料を調製して分析する半導体ウエハの不純物分析方法を提供する。
【解決手段】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハ表面に、フッ化水素酸の濃度が０．３１〜０．００６３％、硝酸の濃度が６７．４〜６８％である混酸を接触させて溶解した回収液を加熱濃縮して、シリコン成分およびゲルマニウム成分を揮発させたものを測定試料として、高周波誘導結合プラズマ質量分析装置または原子吸光分析装置にて不純物分析を行う。 （もっと読む）

【課題】標準溶液の混入量が精密に調節された試料溶液を供給する溶液供給装置を実現し、
【解決手段】溶液供給装置は、第１の流路（１０１）と第２の流路（１０２）とそれら２つの流路の途中をそれらの流路抵抗よりも大きな流路抵抗で連通させる第３の流路（１０３）とを有する混合手段（１００）と、第１の流路の一端側に連通し試料溶液を貯蔵する第１の貯蔵手段（１０）と、第１の流路の他端側に連通し試料溶液を吸引する吸引手段（２０）と、第２の流路の一端側に開閉弁（３１）を介して連通し標準溶液を貯蔵する第２の貯蔵手段（３０）と、第２の流路の他端側に連通し開閉弁の開状態および閉状態においてそれぞれ標準溶液を吸引および吐出するシリンジポンプ（４０）とを具備する。 （もっと読む）

本発明は、試料中の少なくとも１種の元素の異なる同位体の少なくとも１つの比を決定するための方法に関する。該方法は、試料をイオン化して、少なくとも１種の元素の異なる同位体のイオンであって：多価原子正イオン、水素についての一価正イオンおよび重水素についての一価正イオンからなる群から選択されるものを生成すること、少なくとも１種の元素の異なる同位体の荷電正イオンを、これらの質量対電荷の比に従って分離すること、および前工程で分離された前記少なくとも１種の元素の異なる同位体の少なくとも１つの比を決定することを含む。本発明はまた、上記方法を実施するための装置に関する。
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トーチにおいてプラズマを維持するための装置が提供される。ある実施例では、装置は、電源に連結するように構成されてトーチの半径面に沿ってループ電流を流すように構成配置された第１の電極を備える。いくつかの実施例では、トーチの半径面はトーチ長手方向軸に実質的と直交する。
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