【課題】製造歩留まりを低下させることなく，化合物半導体ウエハの評価を行うことができる，化合物半導体ウエハの評価方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば，半導体基板上方に化合物半導体積層体を有する化合物半導体ウエハの特定部位の周縁部分をエッチングして前記特定部位を柱状に加工し，この柱状の特定部位に一次イオンビームを照射して二次イオンを放出させ，放出された二次イオンの質量分析を行い，前記質量分析の結果に基づいて化合物半導体ウエハの評価を行う工程を含む化合物半導体ウエハの評価方法が提供される。 （もっと読む）

使用時にイオンが移送されるアパーチャを有する複数の電極を含む質量分析器（２）が提供される。複数の擬ポテンシャル波形が質量分析器（２）の軸に沿って生成される。擬ポテンシャル波形の振幅または深さは、イオンの質量電荷比に反比例する。イオンを質量分析器（２）の長さに沿って推進するために１つ以上の過渡ＤＣ電圧が質量分析器（２）の電極に印加される。電極に印加される過渡ＤＣ電圧の振幅は、時間とともに増加され、イオンは、質量電荷比の逆順に質量分析器（２）から射出される。２つのＡＣまたはＲＦ電圧が電極に印加される。第１のＡＣまたはＲＦ電圧は、最適な擬ポテンシャル波形を形成するように構成され、他方、第２のＡＣまたはＲＦ電圧は、質量分析器２内へのイオンの軸方向の最適な閉じ込めを実現するように構成される。 （もっと読む）

【課題】イオン移動度分析計を含む装置
【解決手段】第１のチャンバ（１０）と第２のチャンバ（５）とを含むマススペクトロメータが開示される。第２のチャンバ（５）は、第１のチャンバ（１０）の下流に位置し、２つのチャンバ（５，１０）間には、チャンバ間アパーチャ（１２）が提供される。第１のチャンバ（１０）内には、イオンガイド（１３）が位置し、第２のチャンバ（５）内には、イオン移動度分析計（６）が位置する。第１のチャンバ（１０）に、ヘリウムガスが提供される。イオンは、比較的低圧の領域からイオン移動度分析計（６）に向かって加速されるに際し、先ず、第１のチャンバ（１０）内に入る。第１のチャンバ（１０）内に提供されるヘリウムガスは、イオンが比較的高圧の領域内へと加速される際のイオンフラグメンテーション効果およびイオン識別効果を最小限に抑える。イオンは、次いで、イオンガイド（１３）によって伝送され、引き続き、第２のチャンバ（５）内に位置するイオン移動度分析計（６）へと伝送される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、生体分子に関連する。
【解決手段】具体的には、本発明は、対象における細胞増殖異常の存在、素因、及び／又は重篤度を検出する方法を提供する。また、本発明は、対象における細胞増殖異常のための処置の効力をモニターする方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、分析すべきイオンの質量-対-電荷比の公知の特徴的な関数を有する質量分析計で使用するためのタンデム質量分光測定方法であって、（ａ）分析すべき一次イオン供給源を用意する工程、（ｂ）該一次イオンの、該一次イオンピーク出現を含む一次質量スペクトルを、解離を行わずに発生させる工程、（ｃ）該一次質量ピークの少なくとも幾つかの極大における特徴的な関数値から、および該ピークに関連する電荷値から、該一次質量ピークに対応する、問題とする親一次イオンの解離から生じる帯電フラグメントの多重組に対応する、特徴的な関数値の可能な全ての多重組が適合する必要がある相関法則を決定する工程、（ｄ）一次質量ピークに関連する問題とする一次イオンを同時に解離させ、該親一次イオンのそれぞれから帯電フラグメントの多重組を得る工程、（ｅ）該解離フラグメントに対する特徴的な関数値を発生させる工程、（ｆ）該特徴的な関数値の全ての潜在的な多重組を形成する工程、（ｇ）該潜在的な多重組の中から、該相関法則に対する近接基準に適合する多重組を確認し、親一次イオンに対応する帯電フラグメントの真の多重組を決定する工程、（ｈ）それぞれ問題とする親一次イオンに対応する、確認されたフラグメントの真の多重組に関連するピークを含んでなる、解離質量スペクトルを発生する工程を含んでなる、方法を提案する。
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【課題】試料中の６価クロムの有無を精度良く検出することが可能な技術を提供する。
【解決手段】試料１と、６価クロムと反応する試薬を含む有機酸溶液２とを所定時間接触させる。そして、測定基板６の表面上に有機酸溶液２を載置する。次に、有機酸溶液２を乾燥させる。その後、評価基板６の表面を分析して、試料１中における６価クロムの有無を判定する。試料１中に６価クロムが含まれる場合、有機酸溶液２を乾燥させた後の測定基板６の表面上には６価クロムと試料との反応物４が存在することから、測定基板６の表面を分析することによって、当該反応物４を分析することができる。６価クロムと試薬との反応物４を分析することによって、試料中における６価クロムの有無を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

衝突またはフラグメンテーションセル（８）の上流に配置されるイオン移動度分光計またはセパレータ（６）を含む質量分析計が開示される。イオン移動度分光計またはセパレータ（６）において、イオンがそのイオン移動度にしたがって分離される。イオンが衝突またはフラグメンテーションセル（８）に入射する際のイオンのフラグメンテーションエネルギーを最適化するために、イオン移動度分光計またはセパレータ（６）を出射するイオンの運動エネルギーを実質的に時間とともに直線的に増加させる。イオン移動度分光計またはセパレータ（６）のポテンシャルを変化させる期間中、イオン源（１）、イオンガイド（２）、四重極質量フィルタ（３）、必要に応じて設けられる第２の衝突またはフラグメンテーションセル（４）およびイオントラップデバイス（５）などのイオン移動度分光計またはセパレータ（６）の上流のイオン光学部品のポテンシャルは一定に保たれる。 （もっと読む）

【課題】試料の表面荒れを防止しつつ、試料中の測定対象領域における元素を正確に測定することができる、二次イオン質量分析装置を用いる元素測定技術を提供する。
【解決手段】二次イオン質量分析装置を用いる、試料の深さ方向における元素の測定方法において、試料に対し、一次イオンとして、反応性ガスから得られるイオンを使用し、更に不活性ガスイオンを、当該一次イオンとは独立に照射する。 （もっと読む）

アナログ−デジタル変換器を備えるイオン検出器を備える飛行時間質量分析器を備えた質量分析計が開示される。アナログ−デジタル変換器からの信号がデジタル化され、イオンの到着時間および強度が決定される。各イオン到着イベントの到着時間Ｔ₀および強度Ｓ₀は、近接する時間ビンＴ_(n)、Ｔ_(n+1)に記憶された２つの別個の強度Ｓ_(n)、Ｓ_(n+1)に変換される。 （もっと読む）

アナログ−デジタル変換器を備えるイオン検出器を備える飛行時間質量分析器が開示される。イオン検出器からの出力信号はデジタル化され、イオン到着イベントに関係する到着時間および強度値が決定される。２つの信号から決定された到着時間が同じ時間ウィンドウに含まれる場合、到着時間は重み付けを行って加算され、強度値は合成される。
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衝突、フラグメンテーションまたは反応セル４を含む質量分析計を開示する。衝突、フラグメンテーションまたは反応セル４は、高フラグメンテーション動作モードと低フラグメンテーション動作モードとの間で繰り返し切り替えられる。質量スペクトルデータセットがこの２つの動作モードで得られる。小数質量フィルタを１つまたは両方のデータセットに適用する。特に、対象の親または前駆イオンに関係するフラグメントイオンまたは代謝産物を、該対象の親または前駆イオンと同様の小数質量を有することに基づいて同定する。 （もっと読む）

【課題】糖鎖の異性体混合物中の各異性体の構造情報を、より簡便かつ迅速に得る質量分析法を提供すること。
【解決手段】糖鎖異性体の混合物を用いてそれぞれの糖鎖異性体を分離同定する質量分析法であって、（１）糖鎖異性体の混合物に対し、基質特異性が判明している酵素反応を行う工程、（２）酵素反応を全く行っていない糖鎖異性体の混合物および最後に行った酵素反応後の反応物を質量分析する工程、（３）酵素反応を受けたり受けなかったりした糖鎖のｍ／ｚを検出する工程、を含むことを特徴とする質量分析法、並びに、それらのデータを搭載したデータベース。 （もっと読む）

【課題】大気雰囲気下、試料の表層のみを分析でき、しかも構成物質の分子量まで測定することのできる大気雰囲気測定表面分析装置を提供する。
【解決手段】先端から末端まで内部を貫通する貫通孔を有し、その先端部が試料表面に近接するように配置される探針と、前記探針の先端部周辺にプラズマを供給する手段と、前記探針と試料の間にパルス電圧を印加するための電源と、前記探針−試料間へのパルス電圧印加に起因して前記探針先端部と対する試料表面から脱離すると共に前記プラズマによる作用を受けて生成された試料イオンを前記貫通孔を介して真空室内へ導入するために前記探針の末端部の貫通孔開口部に近接して配置されるイオン導入手段と、前記真空室内に配置され前記イオン導入手段により導入された試料イオンを質量分析するための質量分析器とを備えた。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析法により金属試料に含まれる元素の深さ方向の濃度分布を高精度に測定可能な元素分析方法を提供する。
【解決手段】一次イオンの照射エネルギーを設定し（Ｓ１０４）、次いで、一次イオン入射角度を設定して（Ｓ１０６）、一次イオンビームを試料に照射し、試料の深さ方向に亘って放出された２次イオンにより主要金属元素の深さ方向の強度測定を行う（Ｓ１０８）。得られた主要金属元素の強度の変動率が所定の範囲内か否かを判断し（Ｓ１１０）、所定の範囲内の場合はその一次イオン入射角度を分析対象の元素を分析するための一次イオン入射角度に決定し（Ｓ１１４）、分析対象の元素の深さ方向分析を行う（Ｓ１１６）。 （もっと読む）

【課題】イオン検出システムにおいて、中性子ノイズを抑制することである。
【解決手段】イオン検出システムは、イオンビーム長手方向軸線３．２に沿ってイオンビームを生成する質量分析器３．６を含む。場生成装置３．３は、前記イオンビーム長手方向軸線３．２から離れるようにイオンビーム内のイオンの方向を変更する場を生成する。変換ダイノードは、変換ダイノード表面３．７上にイオン衝突領域３．４を含む。変換ダイノードの軸３．５は、イオン衝突領域３．４を通り、前記変換ダイノード表面３．７と垂直な軸であるが、イオンビーム長手方向軸線３．２と交差しないように前記イオンビーム長手方向軸線３．２からオフセットされる。電子倍増管３．８は、前記変換ダイノード表面３．７に対するイオンの衝突によって生成される二次荷電粒子を前記変換ダイノードから受け取る。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ廉価に電子−イオンコインシデンス分光を行うことができる、新規な電子−イオンコインシデンス分光器及び電子−イオンコインシデンス分光法を提供する。
【解決手段】放出極角が26±2度の範囲にある電子のみを分析する円筒鏡電子エネルギー分析器を準備し、この円筒鏡電子エネルギー分析器内に飛行時間型イオン質量分析器を配置する。前記円筒鏡電子エネルギー分析器の前方に試料を設置し、前記試料からの電子を検出し、前記飛行時間型イオン質量分析器で前記試料からのイオンを検出する。この電子シグナルとイオンシグナルを利用して電子−イオンコインシデンス分光を行う。 （もっと読む）

【課題】ＥＩ及びＰＩの双方が可能であって、小型に構成でき、ＰＩの際に広い範囲にわたって試料分子に対し一様に光を照射することにより検出効率及び感度の向上が可能なイオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン化装置２は、試料分子Ａをイオン化するためのイオン化空間２ｂを有するイオン化室２ａと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに電子衝撃を与えて試料分子Ａをイオン化するためのフィラメント２３ａ，２３ｂと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに紫外光を照射して試料分子Ａをイオン化するための放電管２９とを備える。 （もっと読む）

第１の扇形電場（５）および第２の扇形電場（８）を含むマルチターン飛行時間質量分析器を開示する。第２の扇形電場（８）は、第１の扇形電場（５）と直交するように配置される。イオンは、検出および質量分析される前に質量分析器を複数回周回し得る。これにより、高分解能質量分析器が提供できる。別の実施形態によると、質量分析器は、第１の扇形電場が細長く、かつさらなる扇形電場が第１の扇形電場の長さに沿って千鳥状に配置される開ループ形状を有する。第１および第２の扇形電場（５、８）は、複数の扇形電場区分に細分され得る。
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【課題】 デソープションイオン化方法において、試料台表面近傍のイオンを最大限に捕集する機構を提供する。
【解決手段】 生じたイオンの広がり以上の幅および高さをもつイオン取り込み口を設け、これを試料台に接するように位置させる。または、試料台に段差をつけて試料の積載された面よりも低い面を設け、生じたイオンの広がり以上の幅および高さをもつイオン取り込み口の開口部底面を、試料の積載された面よりも低く設置する。 （もっと読む）

【課題】試料表面構造を保ったまま、質量軸校正物質及びフラグメンテーション抑制物質を試料表面に同時に配し、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ測定において分子量が５００以上の試料を高効率に検出すると同時に、その精密質量を正確に求めることが可能となる試料の作成法を提供することを目的とする。
【解決手段】飛行時間型二次イオン質量分析のための試料作成方法であって、質量軸校正物質を溶液化する工程と、フラグメンテーション抑制物質を溶液化する工程と、ネブライザーを用いて前記二種の溶液を試料表面に噴霧する工程とを含むことを特徴とする試料作成方法である。 （もっと読む）