Fターム[2G041DA16]の内容

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Fターム[2G041DA16]に分類される特許

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【課題】イオン化ビームの試料への照射の時間的ばらつきによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる質量分布分析方法を提供する。
【解決手段】本発明の質量分布分析方法は、一次イオンビームを試料に照射し、発生した二次イオンを検出する質量分析方法であって、この一次イオンビームは進行方向に対して垂直な方向への広がりを有し、かつ軌道を偏向することにより、一次イオンビームに含まれる各々の一次イオンの一次イオン源から試料表面までの行路長を調整したうえで、試料表面に対して斜めに入射される。 (もっと読む)


【課題】イオン化ビームの照射方向依存性、或いは、試料への照射むらによる質量分析結果への影響を低減し、信頼性の高い質量分布を測定することのできる方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る、質量分布計測方法では、該試料表面にイオン化ビームを照射する方向を変化させ、複数の照射方向における複数の質量分布像を取得し、イオン化ビームの入射方向と基板面との成す角度に応じてこの質量分布画像に対して画像変換を行い、複数の変換画像を合成し、合成された質量分布画像を出力する。 (もっと読む)


【課題】従来の質量分析装置では、測定対象物表面に垂直に一次ビームを入射させることができないため、その表面に凹凸がある場合は、一次ビームに対して影になる部分を生じた。その結果、試料から発生するイオンの分布と測定対象表面の物質分布に乖離が生じる問題があった。
【解決手段】一次イオン生成部、一次イオンを測定対象物に照射するための一次イオン光学系、二次イオンを検出するための検出器、および測定対象物から検出器までイオンを導く二次イオン光学系を有する質量分析装置において、
当該一次イオン生成部は当該二次イオン光学系のイオン光軸の外に設置し、偏向部を当該測定対象物と当該検出器との間に有することを特徴とする飛行時間型質量分析装置 (もっと読む)


【課題】ペプチド、特に疎水性ペプチドの質量分析感度を高めるための質量分析用タグを提供する。
【解決手段】一般式(1)で表される、n個のアミノ酸残基からなる質量分析用タグ。
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【課題】 エッチングの進行に伴って形成されるクレーターが深くなっても、試料の深さ方向の組成プロファイルの正確な測定が行える二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、試料面内の一次イオンビームが照射される範囲内にマークを形成し、このマークを含む領域に対して一次イオンのラスタースキャンを行い、特定組成の二次イオンの信号強度について一次イオンビームのスキャン範囲とマークの位置関係とその変化を検出し、クレーター底部における二次イオン計測範囲の位置を試料面に平行な向きに移動しないように補正する二次イオン質量分析方法に関する。 (もっと読む)


【課題】アルカリ金属イオンの一次イオンビームを用いる二次イオン質量分析において、試料上面へのアルカリ金属化合物の堆積を抑止する。
【解決手段】スパイラル状の走査線21に沿ってスパイラルの最外周を含む第1の走査線分21a上を一次イオンビーム7が走査するときに、二次イオン引出し電極6に対し試料10電位が正電位になるように制御し、第1の走査線分21aよりスパイラルの内側に位置し、かつスパイラルの最内端に至る第2の走査線分21b上を一次イオンビーム7が走査するときに、試料10電位が負電位になるように制御する。 (もっと読む)


【課題】 試料分析方法及び試料分析装置に関し、不安定な中間酸化物を含む酸化膜を表面に有するシリコンを主成分とする基板を酸素一次イオンにより精度良く分析する。
【解決手段】 シリコンを主成分とし、表面に中間酸化物を含む酸化膜を有する被分析試料の表面に90eV以下のエネルギー範囲で酸素イオンを供給して前記中間酸化物を含む酸化膜を改質させる前処理工程と、前記前処理工程の後に、二次イオン質量分析を行う工程とを設ける。 (もっと読む)


【課題】試料に予備処理を施すことなく、チャージアップを防止することができる、原子プローブを用いた二次イオンによる分析装置および分析方法を提供する。
【解決手段】分析装置は、試料41に中性粒子ビームNを入射するための中性粒子ビーム源と、試料から放出された二次イオンを加速するイオン加速手段と、中性粒子ビームが入射されて試料から放出された二次イオンのエネルギーまたは質量を測定する測定装置とを備える。 (もっと読む)


【課題】 外場遮断後も試料状態が変化するため、外場遮断後に試料中のイオンの分布状態が短時間で変化する試料に適用することは困難であった。
【解決手段】 イオン化する物質を有する高分子材料の被測定部に厚みが10nm以下の金属膜を形成することで、前記イオンの運動を抑制した状態で、表面分析装置を用いて前記被測定部を測定する。 (もっと読む)


【課題】より正確に炭素原子数を推定すること。
【解決手段】質量分析計から取得されたデータを解析して、イオン化された試料から解離したフラグメントイオンの炭素原子数を推定する解析装置であって、前記試料から得られるMS/MSスペクトルにおける質量電荷比が1異なる隣接ピークの高さ比に基づいて前記フラグメントイオンの炭素原子数を推定する第1の炭素原子数推定手段と、前記試料から得られるMS/MSスペクトルにおける質量電荷比が1異なる隣接ピークの高さ比と、前記試料に炭素原子数が既知の物質を付与し、又は前記試料から炭素数が既知の物質を脱離させたラベル化試料から得られるMS/MSスペクトルにおける質量電荷比が1異なる隣接ピークの高さ比と、の相違程度に基づいて前記フラグメントイオンの炭素原子数を推定する第2の炭素原子数推定手段と、を備える解析装置。 (もっと読む)


【課題】窒素原子含有量が大きい有機化合物のフラグメントイオンの炭素原子数を精度良く推定する方法。
【解決手段】第一の有機化合物を、また、第一の有機化合物の炭素原子数を変化させることにより得られる第二の有機化合物をイオン化させたイオンよりも質量電荷比が1大きい第一の、また、第二のプリカーサーイオンから生成するプロダクトイオンを質量分析する工程と、第一のプリカーサーイオンから生成するプロダクトイオンを質量分析することにより得られる、第一のフラグメントイオン及び第一のフラグメントイオンよりも質量電荷比が1小さい第二のフラグメントイオンのピークの高さの比を求める工程と、第二のプリカーサーイオンから生成するプロダクトイオンを質量分析することにより得られる、第一のフラグメントイオンに対応するフラグメントイオン及び第二のフラグメントイオンに対応するフラグメントイオンのピークの高さの比を求める工程を有する。 (もっと読む)


【課題】動作原理に内在する問題点によって性能や機能が制限されることが少ない質量分析装置であって、原理上、測定できる質量電荷比の範囲に限界がなく、高速の質量走査が可能な装置を提供する。
【解決手段】質量分析装置10をイオン源1、イオン導入部2、質量分離部3、およびイオン検出部4などによって構成する。イオン群は所定の加速電圧によって分離空間17へ導入される。分離空間17では、イオン種は入射方向に飛行するとともに、それに交差する方向に作用する高周波回転電場または二次元高周波電場から受ける力によって交差方向へ変位する。質量電荷比が互いに異なるイオン種は、変位量の違いによって分離される。この際、被測定イオン種が電場の作用を1周期間受けた後、分離空間17から出射されるように、加速電圧を設定する。 (もっと読む)


【課題】共鳴多光子イオン化スパッタ中性粒子質量分析法により、鋼材中に微量添加されたB化合物の化合物種を特定する。
【解決手段】B化合物を含有する鋼材に対して、不活性な一次イオンビーム2によってスパッタリングされた中性粒子5をレーザー光でイオン化し、引出電極6を介して質量分析計7に取り込まれたイオン種の質量分析をするスパッタ中性粒子質量分析法を利用する。このとき、B原子の第1の遷移(2s22p(2Po1/2)→2s23s (2S1/2)(249.7 nm))および第2の遷移(2s22p(2Po3/2)→2s23s(2S1/2)(249.8 nm))に対応する波長を基点として、基点となる波長を中心に±0.02 nm〜±0.05 nm以内の範囲でレーザー光の波長掃引を行い、これにより検出されたB+の最大ピークのカウント数の比からB原子の化合物種を特定する。 (もっと読む)


【課題】 試料の分析において、質量分布画像と光学顕微鏡の画像とをマーカを利用して重ね合わせることは知られていたが、ラマン分光法を用いて取得されるラマン振動の強度分布情報と、質量分析法を用いて取得される質量情報を精度よく関連させる技術は知られていなかった。
【解決手段】 基板上に、試料と、高さが試料表面と同じか試料表面よりも高い三次元形状のマーカを試料の外周部に配置する。試料とマーカについて、ラマン分光分析および質量分析をする。得られたラマン振動の強度分布情報と質量情報とをマーカの情報に基づいて位置合わせをする。 (もっと読む)


【課題】安定同位体比の測定に基づく、蒸留酒類の産地を判別する方法、蒸留酒類の種類を判別する方法を提供する。
【解決手段】蒸留酒類について、水素安定同位体比又は酸素安定同位体比又は炭素安定同位体比又を測定し、測定した試料における安定同位体比を産地又は種類が既知である蒸留酒類における安定同位体比と比較して蒸留酒類の産地又は種類を判別する。安定同位体比の測定は、公知の同位体比分析方法を用いることができ、常法に従い、質量分析計を用いて質量電荷比に応じた分離・検出を行い、各同位体の存在量を計測して行うことができる。 (もっと読む)


【課題】測定対象物質を脱離・イオン化する質量分析において、分析対象物質について、その二次元分布状態を損なわず、各測定場所において、分析対象物質のソフトイオン化と、高いイオン化効率の実現を両立することが、困難であるという課題があった。
【解決手段】分析対象物質に、-(CF2)COOH で表される官能基を有する沸点150℃以上の有機酸と、常圧において融点が20℃以下かつ沸点150℃以上である多価アルコールとを含むイオン化補助剤を付与することで、イオン化補助剤の構成成分である有機酸が分析対象物質に効果的にプロトンを付加することによりイオン化効率を向上し、多価アルコールがフラグメンテーションを抑制する。結果、これらの作用が相乗的に奏効することによる幅広い分子量域での高効率な質量分析及びイメージングが可能となる。 (もっと読む)


【課題】潤滑剤塗布プロセスにおいて所定の膜厚で均一な潤滑層を安定的に形成するためには、潤滑剤塗布液のプロセス管理が重要である。塗布液中の潤滑剤の濃度が低い場合にも適用できる、微量の試料で且つ簡便な潤滑剤塗布液の劣化診断方法を提供する。
【解決手段】本発明における潤滑剤塗布液の劣化診断方法は、塗布液を乾燥して溶媒を揮発・除去した後、TOF−SIMSにより発生する各種イオンを測定し、基準のCOイオン強度と標識のBis体潤滑剤末端構造のC11イオンの強度とを比較し、イオン強度比(C11イオン強度/COイオン強度)から潤滑剤塗布液の寿命を判定して劣化診断を行なうことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】試料の構成成分の本来の分布情報を保持しつつ、感度良く検出できる試料分析方法および装置を提供する。
【解決手段】試料に一次イオンビームを照射し、該試料から放出される二次イオンを質量分析法によって分析する試料分析方法であって、チャンバー内に配置した試料を冷却する工程と、前記チャンバー内に水または水溶液を放出し、冷却された前記試料の表面に氷の層を形成する工程と、前記氷の層が形成された状態で、前記試料表面に前記一次ビームを照射する工程とを有し、前記氷の層を形成する水の量が0.1ng/mm以上20ng/mm以下であることを特徴とする分析方法。 (もっと読む)


【課題】少なくともポリプロピレン系フィルムから構成される積層体であって、該ポリプロピレン系フィルムにあらかじめ添加された滑剤などが長期の時間経過や熱履歴を経た後も、積層体の印刷や製袋工程などの二次加工を安定して行う為の、添加剤の挙動を計測する評価方法を提供する。
【解決手段】滑剤などの添加剤を含むオレフィン系フィルムと接着剤と基材フィルムからなる積層体において、断面垂直方向での該添加剤の濃度分布を測定することで添加剤の挙動を予測して、事前に適性な加工条件を導き出すことを特徴とする積層体の評価方法である。 (もっと読む)


【課題】生体組織切片のタンパク質を消化分解した後にTOF−SIMS法で質量分析して、理論消化断片の信号を用いてタンパク質の二次元分布画像を構成する方法では、コントラストの高い画像が得られに難いという課題があった。
【解決手段】試料中のタンパク質又はペプチドを質量分析して、前記質量分析で得られた質量情報に基づいて前記試料中の前記タンパク質又は前記ペプチドの分布状態に関する情報を取得する情報取得方法であって、限定分解された前記タンパク質又はペプチドの親イオンの前記一定領域の強度分布および積算スペクトルのピーク強度に対して、ピアソンの積率相関係数が0・5乃至1.0以下の強度分布を有し、前記一定領域の積算スペクトルのピーク強度比が1.0よりも大きく、m/zが500以上のイオンピークを用いて分布状態に関する質量情報を得る工程と、を有することを特徴とする情報取得方法に関する。 (もっと読む)


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