【課題】 試料から脱離した分析対象のガスのみを高精度に分析できる昇温脱離ガス分析装置を提供する。
【解決手段】 赤外線発生ランプ３２により試料ステージ３０を介して試料を加熱し、試料から脱離したガスを四重極質量分析計６０および四重極質量分析計７２によって分析する。四重極質量分析計６０では、試料からの脱離ガスを高感度に測定する。四重極質量分析計７２では、測定室１２からバルブ４４および固定オリフィス７０を介して一定量の脱離ガスが、銅筒１０４の冷却機能により、８０〜１３０Ｋの任意の温度になり、水がトラップされ、銅筒１０４内には開口部１０４ａを介して水以外の試料の脱離ガスのみが流入する。そのため、銅筒１０４内の四重極質量分析部１０２によって、水の影響を除去して試料の脱離ガスのみを高精度に分析される。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ＳＭＩＳシステムの感度を増加することを目的とする。
【解決手段】 二次イオン質量分析計（ＳＩＭＳ）の感度は、一次集束イオンビームによってスパッタリングされる正の二次イオンの収量を高めるために水蒸気を使用することで増加される。水蒸気は、サンプルの近傍に位置決めされ二次イオンのコレクション場との干渉を減少させるために電気的にバイアスされる針を通じて注入される。感度は、正イオンとしてスパッタリングされる傾向にある特に金属に対して高められる。 （もっと読む）

【課題】SALDI-MSに有用な質量分析用基板であって、イオン化剤として有機多価カルボン酸を添加しなくてもMALDI-MSに匹敵するイオン化効率を達成でき、しかもMALDI-MSに匹敵するソフトイオン化を達成できる質量分析用基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】粗面化された半導体基板上に樹枝状白金ナノ構造体が形成されている質量分析用基板であって、前記樹枝状白金ナノ構造体は、前記粗面化された半導体基板を白金溶液に浸漬することにより自己成長により形成されることを特徴とする質量分析用基板。 （もっと読む）

【課題】熱分析法で、正確な温度の較正が容易に行えるようにする。
【解決手段】分析対象の物質とは異なり、常温〜１０００℃の範囲で気体を生じる指標物質を試料に加えた内標準試料を作製する。次に、内標準試料を昇温脱離分析法で分析することで、指標物質より生じた指標気体の昇温脱離スペクトルを取得する。なお、この昇温脱離分析法の分析においては、指標気体の分析とともに分析対象の物質の分析も行う。試料（内標準試料）に分析対象に物質が含まれていれば、指標気体の昇温脱離スペクトルとともに分析対象の物質の昇温脱離スペクトルも得られる。次に、得られた指標気体の昇温脱離スペクトルより、指標物質から指標気体が発生した計測温度を求める。 （もっと読む）

【課題】容易かつ高精度に膜硬度を計測する膜硬度計測方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】ＱＭＳ２０により、放電中のプラズマにおけるイオン種を計測し、計測された電流値からＨ＝１、Ｃ＝１２という事実を用いてイオン種の質量と定義し、この質量を、水素流量比０、パルス周波数２０ｋＨｚという条件での値で除することでイオン種の総質量比として算出した。上記水素流量比及びパルス周波数の条件下でＤＬＣ膜が生成されると、チャンバ１１内を大気圧に戻し、この生成されたＤＬＣ膜に対して、ラマン分光分析装置３０によりレーザー光を照射し、散乱したラマン散乱光を検出することで生成膜中の規則性六員環の多さを示すＤピークとＧピークの積分強度比Ｉ_D／Ｉ_Gを算出した。生成された各々のＤＬＣ膜の硬度を、ＱＭＳ２０により算出されたイオン種の総質量比と、ラマン分光分析装置３０により算出された積分強度比と、に基づいて計測した。 （もっと読む）

【課題】ＲＮＡを簡便に且つ効率良く分解することができる方法、及び簡便に且つ解析感度高くＲＮＡの配列を解析することができる方法を提供する。
【解決手段】ヒドロキシピコリン酸存在下、トリフルオロ酢酸を用いて、ＲＮＡの酸加水分解反応を行い、前記ＲＮＡ由来のフラグメントを含む反応混合物を得る工程を含む、ＲＮＡの分解方法。ヒドロキシピコリン酸存在下、トリフルオロ酢酸を用いて、ＲＮＡの酸加水分解反応を行い、前記ＲＮＡ由来のフラグメントを含む反応混合液を得る工程と、前記反応混合物を質量分析に供し、前記ＲＮＡの配列を決定する工程とを含む、ＲＮＡの配列解析方法。具体的には、前記トリフルオロ酢酸水溶液中のトリフルオロ酢酸の濃度は１．２５〜３％(v/v)とすることができる。 （もっと読む）

【課題】検出する試料を迅速に効率よく試料分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うこと。
【解決手段】試料分析を行う質量分析装置に導入させるための試料を切符９から採取する試料採取装置であって、内部を通過する切符９に付着した試料を気化させる気化容器本体と、一端が気化容器本体内に開口し、他端が質量分析装置側に流通可能に接続される試料引込み流路２４１とを備え、気化容器本体の内面には、試料引込み流路２４１の試料引き込み口２４５と切符９とを離間させる台形状凸部２５３ａが試料引き込み口２４５面に沿って設けられている試料採取装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】母材組成が不均一な試料において、測定対象の元素のより正確な二次元分布の情報が得られるようにする。
【解決手段】測定対象の元素Ｃが含まれている試料と同一の母材より構成された基板に、元素Ｃを設定されたイオン注入条件でイオン注入して標準試料を作製する。次に、標準試料の表面における各組成領域の各々についてイオン注入条件をもとに元素Ｃの濃度を算出して算出濃度を得る。次に、設定された測定条件で標準試料における元素Ｃの二次イオンを測定して標準試料の表面における各組成領域の各々について元素Ｃの標準二次イオン強度を得る。次に、標準試料の表面における各組成領域の各々について、標準二次イオン強度を算出濃度で除した二次イオン収率を算出する。 （もっと読む）

【課題】基板上の試料分子の質量に関する情報を取得するための質量分析装置において、試料成分やマトリックスより産出されるプロトンを無駄なく捕獲し、該プロトンを飛翔中の中性試料分子に有効に付着させることにより、試料分子の検出感度を向上させる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】一次ビームの軌跡を一次ビーム軸とし、該一次ビーム軸と基板上の試料表面が交わる点を中心点とし、中心点を通り基板法線方向に延びる軸を中心軸としたときに、中心軸に対し該一次ビーム軸と線対称をなす軸に対して３０度の角度で円錐状に広がる領域内に電極を配置する。この電極を使い発生させた電界により、一次ビームの照射により飛翔するプロトンを捕獲し、該プロトンを同様に飛翔する中性試料分子に付着させる。 （もっと読む）

【課題】有機半導体デバイスの製造に適した昇華速度および純度（不純物酸素量）を有するフラーレン精製物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】７２０℃における昇華速度が５０μｇ／ｍｉｎ以上であり、かつ、酸素含有量が８０重量ｐｐｍ以下であるフラーレン精製物。該フラーレン精製物は、原料フラーレンを７３０℃以上の温度に加熱して昇華させ、該加熱温度よりも低い析出温度にて、フラーレン精製物を析出させることにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続されたクヌッセン型の試料セル２０を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル２０へガス供給管２６を介してガスを供給可能であり、この試料セル２０を内包した減圧室３０の内包空間を拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４によって減圧可能である。そして、試料セル２０を加熱し試料から生成した試料ガスを、第１オリフィス２２、内包空間、第３オリフィス７２及び第２オリフィス５２を介して検出器が配設された測定室５０へ導入してこれを測定する。このように、試料セル２０が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室３０内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル２０を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。 （もっと読む）

【課題】高分子材料を高感度に分析可能であり、且つ、質量スペクトルと高分子の種類の選択性も高いレーザイオン化質量分析装置を提供する。
【解決手段】高分子材料をイオン化してその質量を分析するレーザイオン化質量分析装置は、試料台１０とイオンビーム源２０とレーザ光源３０と分析部４０とからなる。試料台１０は、高分子材料が配置される。イオンビーム源２０は、試料台に配置される高分子材料にイオンビームを照射する。レーザ光源３０は、試料台の表面に平行にレーザ光を照射するものであり、イオンビーム源からのイオンビームにより試料台に配置される高分子材料から放出される高分子材料由来の分子にレーザ光を照射し、高分子材料由来の分子をイオン化する。分析部４０は、レーザ光源からのレーザ光によりイオン化される試料を質量分析する。 （もっと読む）

【課題】照射面の二次元情報を保持したまま高質量数の二次イオンをパルス化できるガスクラスターイオンビームを用いた飛行時間型二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】
分析試料５の照射面から放出される二次イオンは、照射面の二次元情報を保持したまま引出電極１５で引き出され、パルスゲート電極部に入射する。第一の通過孔２３ａから第一、第二の電極２１ａ、２１ｂ間に進入した二次イオンはパルス電圧により加速される。第二の通過孔２３ｂを通過した二次イオンは空間的・時間的収束をおこなう複数の扇形静電型分析器からなる分析器４０に進入する。パルスゲート電極部で加速された二次イオンのみが選別されるとともに同一の電荷質量比を有する二次イオンは照射面の二次元情報を保持したままイオン検出器５０に同時に入射して位置と時刻が検出されるように複数の静電型分析器が配置される。 （もっと読む）

【課題】卒中の診断方法を提供する。
【解決手段】被験者から採取した体液サンプル中の、ApoC-III、血清アミロイドA、ApoC-I、アンチトロンビンIIIフラグメント、およびApoA-Iから選択される少なくともひとつのポリペプチドの濃度を測定することによって、被験者の卒中を診断する方法であって、ポリペプチドが、卒中に罹患した被験者の体液と、卒中に罹患していない被験者の体液とに異なって含まれており、また、サンプル中のポリペプチドの濃度が、卒中の診断と合致しているか否かを決定することを含む。 （もっと読む）

【課題】 デソープションイオン化方法において、試料台表面近傍のイオンを最大限に捕集する機構を提供する。
【解決手段】 生じたイオンの広がり以上の幅および高さをもつイオン取り込み口を設け、これを試料台に接するように位置させる。または、試料台に段差をつけて試料の積載された面よりも低い面を設け、生じたイオンの広がり以上の幅および高さをもつイオン取り込み口の開口部底面を、試料の積載された面よりも低く設置する。 （もっと読む）

【課題】イメージング質量分析により収集された膨大なデータに基づいて、生体試料の組織構造などを把握するために有意であって且つ分析者が直感的にも理解し易い情報を提示する。
【解決手段】試料８上の各ピクセル８ｂ毎にマススペクトル中の最大強度MI(i)と対応する質量電荷比m/z(i)を抽出し、全ピクセルをm/z(i)に応じてクラスタリングする。１つのクラスタは１つの物質に対応する。クラスタ毎に含まれるピクセルの中の最大強度MI(i)の値が最大のものを代表最大強度MI(cj)として抽出し、これをクラスタ番号cjとともに表示する。分析者がこのMI(cj)を参考にして表示したいクラスタを指定すると、指定されたクラスタに各々異なる色を設定し、各クラスタに含まれるピクセルを色付けしたイメージング画像を作成して表示する。イメージング画像上には、複数の物質の空間分布が異なる色で表される。 （もっと読む）

【課題】イオンの垂直方向の収束性を向上させ、感度向上のため直交加速イオン源との接続を可能にすることができる飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】複数のイオンをパルス的に出射できるイオン源１０と、直進軌道とらせん型軌道を実現する分析計と、イオンを検出する検出器１５とを備えた飛行時間型質量分析装置であって、らせん軌道を実現するために分析計を複数の積層トロイダル電場で構成させる。 （もっと読む）

【課題】特別に加工された試料プレートを用いることなく、マトリクス付着後の試料プレートをステージに載置した際の位置ずれを精度良く検出し、その位置ずれを補正して分析者により指定された領域に対する正確な質量分析を実施する。
【解決手段】試料プレート３が試料ステージ２上に載置されると、照射痕形成制御部２２が試料ステージ２を適宜移動させ高パワーのレーザ光を短時間させることにより、試料プレート３上の所定位置に照射痕を形成する。照射痕は固有の形状を有するから、照射痕の顕微観察画像を取得しこれを画像保存部３２に保存しておく。一旦ステージ２上から取り出された試料プレート３が再びステージ２上に置かれたあと、その時点で得られる画像上の照射痕の位置と保存部３２に保存されている画像上の照射痕の位置との相違から位置ずれ量を算出し、分析位置補正部２４は求まったずれ量に応じて分析者により指定された領域の位置情報を修正する。 （もっと読む）