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Fターム[2G041EA01]の内容

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向上した質量分解能を有する多重極マスフィルタ。多重極マスフィルタは、少なくともRF電圧源に結合される第1の電極一式と、第1の電極一式に挟入され、並列である第2の電極一式とを有する。第2の電極一式は、第2の電極一式の2つの半径方向に対向する電極に結合される可変AC電圧を有する。上記第1の電極一式の複数の伝導性ロッドのそれぞれは、横断面が略円形であり、上記第2の電極一式の複数の伝導性ロッドのそれぞれは、横断面が略T字形である。
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【課題】酸化物材料を成型体として利用する場合に水和反応による体積膨張に起因して成型体中に亀裂の発生や粉化・破壊等を引き起こす原因となる酸化物材料中のアルカリ土類金属酸化物の含有量を精度良く測定する方法を提供する。
【解決手段】予め前記酸化物材料の粉砕試料を重水(DO)又は重水酸化ナトリウム(NaOD)重水溶液中に浸漬し、該粉砕試料中のアルカリ土類酸化物を、それぞれ重水酸化物とした後、これらを昇温加熱した際に発生する重水及び水を定量し、前記酸化物材料の粉砕試料中のアルカリ土類金属酸化物の含有量を求めることを特徴とする酸化物材料中のアルカリ土類酸化物の測定方法である。 (もっと読む)


【課題】本発明は、知識と経験の少ない作業者であっても、FIM試料の結晶方位及び粒界角度を容易に決定する装置を提供すると共に、結晶粒サイズが小さくて従来方位決定が困難であった試料でも結晶方位を決定する装置を提供する。
【解決手段】測定試料中の結晶粒に対する電界イオン顕微鏡(FIM)像の画像データ取込手段と、取り込んだFIM像中の特定結晶方位極点に対して対象結晶粒の理論結晶方位極点を一致するように回転操作する手段と、前記回転操作の結果から特定結晶方位極点の結晶方位極点(l,m,n)を決定する手段と、FIM像と決定した結晶方位極点(l,m,n)を重ねて表示する手段とを少なくとも有することを特徴とする結晶方位決定装置である。 (もっと読む)


【課題】MALDI質量分析における糖タンパク質又は糖ペプチドの構造解析において、比較的均質な試料−マトリックス混合物の調製が可能で、且つ、糖ペプチドイオンのような糖−アミノ酸結合が維持されたイオンを優先的に検出することが可能な方法を提供する。
【解決手段】構造解析すべき糖タンパク質又は糖ペプチドと、マトリックスとしてのイオン性液体とを少なくとも含む混合物を、MALDI質量分析測定に供し、前記混合物中から前記構造解析すべき糖タンパク質又は糖ペプチドに由来し且つ糖−アミノ酸結合が維持されたイオンを検出することを含む、液体マトリックスを用いたMALDI質量分析による糖タンパク質又は糖ペプチドの構造解析手法。 (もっと読む)


【課題】試料の構成成分の平面分布を容易に測定可能な質量分析方法を提供する。
【解決手段】平面配置された複数のエミッタを用いて電界脱離イオン化法により試料のイオン化を行い、生成したイオンを質量分析する質量分析方法であって、平面配置された複数のエミッタに試料の測定面を対応させ、各エミッタ上に当該試料の対応部分が配置されるように試料を設置する工程と、これらのエミッタを独立に駆動し、順次、電界を生じさせ、これに応じて試料の各エミッタに対応する部分をイオン化する工程と、イオン化により生成したイオンを、そのイオンの生成のために駆動したエミッタに対応させて質量分析する工程を有する質量分析方法。 (もっと読む)


【課題】硫酸化糖鎖のイオン化における脱硫酸化を抑制して、容易かつ正確に硫酸化糖鎖を分析することができる、硫酸化糖鎖の構造解析手法を提供する。
【解決手段】MALDI法により硫酸化糖鎖をイオン化する工程を含む、硫酸化糖鎖の分析方法および配列解析方法。 (もっと読む)


【課題】比較的簡易な構成の試料を用いて、実際の配線構造に近似する状況で配線導電材料の不純物濃度を精度良く測定し、実際の配線構造に極めて近い不純物濃度の知見を得ることを可能とし、当該知見を実際の配線形成に反映させる。
【解決手段】シリコン基板1に配線溝1aを形成し、配線溝1aを配線導電材料3で埋めんで配線様構造4を形成し、試料11を作製する。この試料11を用いて、SIMS法により配線様構造4の配線導電材料3をSIMS分析する。 (もっと読む)


【課題】集束イオンビームを利用した不純物同定、元素分析、組成、結晶性、表面界面状態をナノメートルオーダーの微小領域で分析可能とする。
【解決手段】3次元可視化する方法として、10nm以下に集束した中エネルギー100〜400keVのイオンを試料に走査照射し、ラザフォード後方散乱されるイオンの飛行時間計測を、2次電子イオンをスタート信号として検出することにより求め、各照射位置に対応したTOF−RBSデータをナノメートル分解能で取得し、時間エネルギー変換により3次元可視化を可能とする。 (もっと読む)


【課題】検出する試料を迅速に効率よく分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うことを目的とする。
【解決手段】試料導入装置1は、収容部41に収容した試料を、排気ポンプ51を備えた質量分析装置45に導入するための装置であって、一端が収容部41に流通可能に接続された差動排気配管3と、差動排気配管3の他端に接続され、差動排気配管3内を排気して減圧する差動排気ポンプ5と、差動排気管3と質量分析装置45とを流通可能に接続するキャピラリ管7とを備えている。 (もっと読む)


【課題】深さ方向の元素濃度分析方法に関し、二次イオン質量分析法を実施するに際し、分析領域周辺の情報を取り込むことなく,所望の領域のみの情報を得られるようにして、微量元素の精確な深さ方向分布を知得する。
【解決手段】被測定対象物に照射される一次イオンビームの走査領域の一部において、該被測定対象物に電圧を印加することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】Si基板中の微量元素を、酸素雰囲気ではない状態で、深さ方向の分解能を高くかつ短い測定時間で、酸素イオンを一次入射イオンとするSIMSにより深さ方向の元素分布の分析を行う。
【解決手段】入射エネルギーをパラメータとして試料表面粗さ、および/または減衰深さを、一次イオン入射角度を変化させて測定し、入射エネルギー領域が高い領域の範囲において、かつその範囲で試料表面粗さ、および/または減衰深さが極小値をもつ入射角度範囲を見出し、その条件下でSIMSの測定を行う。 (もっと読む)


【課題】どのようなタイプの発光素子であっても高度なポリッシュ技術等を必要とせずに、D−SIMSによる評価を行う試料表面を簡単に且つ高精度に作製することができ、発光素子のSIMSによる評価を精度よく行うことができ、評価にかかるコストを削減できる発光素子の評価方法を提供する。
【解決手段】基板2の第1主面2a上にエッチストップ層10をエピ成長させた後、該エッチストップ層の上に少なくとも発光層3及び電流拡散層5の順にエピ成長させ、基板の第2主面2b側からエッチング液によりエッチストップ層10まで基板2をエッチングして除去した後、発光素子1をエッチストップ層10側から2次イオン質量分析法により深さ方向の元素分析をすることを特徴とする発光素子の評価方法。 (もっと読む)


【課題】微量のPd、Rh及びRuを高周波プラズマ質量分析装置で高精度に分析するための方法を提供する。
【解決手段】微量Pd、Rh又はRuを測定対象元素として分析する方法であって、(1)ナトリウム化合物を用いたアルカリ融解法によって試料を前処理する工程と、(2)該前処理を行った試料を高周波プラズマ質量分析装置にて分析する工程とを含み、工程(2)において、サンプリングコーンとスキマーコーンの間隔を、Pdと干渉する40Ar65Cuの濃度、Rhと干渉する40Ar63Cu及び40Ar40Ar23Naの濃度、並びにRuと干渉する38Ar63Cu及び40Ar38Ar23Naの濃度のすべてが0.05ppb以下となる値に設定して分析することを特徴とする方法。 (もっと読む)


本発明は、精製された試料または複合生物学的マトリックスにおけるタンパク質−タンパク質相互作用などの、タンパク質複合体に薬物候補が及ぼす効果の定性および定量分析のために、高質量マトリックス支援レーザ脱離イオン化(MALDI)質量分析を使用する方法、ならびに自動化ハイスループット応用を含む、リード化合物の最適化、薬物のキャラクタリゼーション、薬物製造過程、および薬物品質管理過程のためにこの方法を使用することに関する。
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【課題】本発明は、質量分析装置における真空装置内において、水分子および水素分子の質量分析時の妨げとなる残留水分子および残留水素分子を簡単な装置構成および方法によって低減し、水分子のバックグラウンドを下げると同時に、水分子を発生源として生成する水素分子のバックグラウンドを下げることができるため、質量分析を行なう際の水分子と水素分子の高感度分析を可能とする質量分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による質量分析方法は、質量分析装置1の質量分析方法であって、(a)質量分析装置1の分析室2を真空排気する工程と、(b)工程(a)の後、分析室2に対して重水ボンベ11から重水ガスを導入する工程とを備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】深さ方向元素濃度分析方法に関し、測定されたイオン注入元素の深さ方向プロファイルを減衰深さとスパッタ収率との関係を利用し、スパッタ収率の変化を分析しようとする。
【解決手段】二次イオン質量分析法で測定されたイオン注入元素の深さ方向プロファイルを分析する方法であって、イオン注入時に形成されたダメージの度合いにより変化するスパッタ収率の変化を減衰深さから求め、そのスパッタ収率の変化に依って測定プロファイルの深さ軸を補正する。 (もっと読む)


【課題】二次イオン質量分析を行なう際に、試料面における分析領域の周辺部位への一次イオンの付着を防止し、試料面の近接する複数箇所における高精度の分析を行なう。
【解決手段】試料1の試料面1aにおける一次イオンが照射される分析領域の少なくとも一部を囲む部位、ここでは試料面1aで並列する複数のストライプ状に、元素としてSi+をイオン注入する。このイオン注入により、注入部位に体積膨張が生じ、ストライプ状の複数の障壁11が形成される。 (もっと読む)


【課題】数十nmの空間分解能で安定したSIMS分析を実施することができる質量分析装置を提供する。
【解決手段】試料にパルスイオンビームを照射して生じる二次イオンの質量を検出する質量分析装置において、金属コート探針と、試料を保持する試料保持機構と、パルスイオンビームを照射するイオン照射機構と、前記金属コート探針を前記試料保持機構に保持される試料に対して相対的に移動させる移動機構と、前記イオン照射機構により照射されるパルスイオンビームと前記金属コート探針とが同時に試料表面を走査するように制御する探針−イオン走査制御機構と、を備えることを特徴とする質量分析装置。 (もっと読む)


【課題】基板状の被検体上のサブミクロンオーダーの異物をその位置情報と共に確実に検出し、異物を被検体から収集して同定、解析を行う必要がなく、信頼性が高い分析、解析を効率よく行うことができる異物検査装置や方法を提供する。特に、微小な有機物の異物の検出、分析を確実に行うことができる異物検査装置や異物検査方法を提供する。
【解決手段】基板状の被検体の表面の凹凸を測定し、異物を検出する検出手段と、異物から特定の水平距離の被検体の表面に凹部を付すマーキング手段と、被検体表面に1次イオンビームを照射・走査して凹部を検出し、凹部から特定の水平距離の位置から放出される2次イオンの質量スペクトル測定手段とを有する。 (もっと読む)


【課題】結晶構造を有している試料について、当該結晶構造を原子レベルで正確に再構築する。
【解決手段】3DAP法を用いて試料11の原子構造を、その結晶構造を含めて正確に再構築すべく、結晶構造を決定する少なくとも1つの基本結晶情報を用いて、3DAP法により得られた試料の構造分布を、誤差関数生成手段20、データベース30及び修正構造データ修正手段により修正し、当該試料11の構造を再構築する。 (もっと読む)


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