【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置１０は、先細りの先端側に第１オリフィス２２があり他端側にガス供給管２６が接続された筒状体の試料セル２０と、先細りの先端側に第２オリフィス５２があり他端側に四重極質量分析器６２が配設された筒状体のスキマー部５１と、をオリフィス側で対向させ減圧室３０に内包した状態で配設している。減圧室３０は、拡散ポンプ３３及びロータリポンプ３４で減圧される。試料セル２０は、高耐熱性材料（アルミナなど）により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ２３を接続管２４側から試料セル２０に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置１０はで、減圧室３０を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 （もっと読む）

【課題】 イオンの真空部への導入損失率を低減し、感度を上昇させる。
【解決手段】 バリヤー放電、および、バリヤー放電で生じた励起分子またはイオンと試料との反応による試料のイオン化を、大気圧よりも低圧下で行う。 （もっと読む）

【課題】 小型・簡単な構成で、質量分析部へイオンを高効率に導入して分解能を向上させる。
【解決手段】 質量分析部へ試料を導入する試料導入配管部と質量分析部との間に、間欠的にガス導入を行って試料通過を制御するための開閉機構を設け、試料導入配管部の高圧側、つまり、開閉機構に対して質量分析部とは反対側の圧力が100Pa以上10,000Pa以下となるように排気するポンプ機構を備えた質量分析装置。 （もっと読む）

【課題】 イオン源から四重極離部へとイオンを効率よく導くことができるようにした低コストの四重極型質量分析計を提供する。
【解決手段】 フィラメント４３及びグリッド４１を備えるイオン源４と、四重極部３と、イオン源と四重極部との間に介設されたフォーカス電極５と、相対する電極間に直流電圧と交流電圧とを印加することで四重極部を通過したイオンを捕集するイオン検出部２とを有するセンサ部ＭＡと、フィラメントに直流電流を通電する電源Ｅ１と、グリッドに対してフィラメントより高い電位を印加する電源Ｅ２と、グリッドとフィラメントとの間に電位差をつくるためフィラメントに電位を与える電源Ｅ４と、四重極部に直流電圧を重畳した交流電圧を印加する電源Ｅ３と、制御部Ｃ１とを有する制御ユニットＣとを備える。フィラメントの電位とフォーカス電極の電位とを同等とする。 （もっと読む）

【課題】質量分析方式を用いて空気中の有害成分等を検知あるいは定量するガス分析装置において、湿度変化による測定対象物質の信号強度の変化に対し、湿度計や内部標準物質を用いることなく簡便に校正する方法を提供する。
【解決手段】大気中に通常含まれる成分ガスのイオンのうち、湿度に対して正の相関を有するイオンと負の相関を有するイオンの湿度依存性をそれぞれデータベースとして保有し、これを利用して測定対象物質の信号強度を校正する。 （もっと読む）

【課題】大型化を伴うことなく多成分を有する試料について短時間で正確な定性／定量分析を行うことが可能なイオン分子反応イオン化質量分析装置を実現する。
【解決手段】複数のイオン源３−１〜３−４が互いに直列に接続され、イオン源３−１〜３−４のうちのいずれに高電圧源７から放電針８により電圧が供給されるかが制御・解析部６により制御される。複数のイオン源が稼動した場合、試料導入部１に近いイオン源では通常のＡＰＣＩとなり、生成されたイオンは排除電極９によりイオン源外に排除される。イオン化しなかった残留中性分子は引出電極１０により質量分析部側のイオン源に送られる。イオン源３−１〜３−４の各段の組み合わせにより、１段だけでは検出が難しい成分も検出が可能となる。 （もっと読む）

過渡電圧プロファイルを印加してイオンパケットを加速させるマスフィルタを有する質量分析計である。電圧プロファイルは、質量対電荷比が高くなるにつれて高くなる運動エネルギー及び質量対電荷比が高くなるにつれて低くなる速度を各イオン種に付与する関数形を有するように選択される。イオンは、当該イオンの運動エネルギーに基づいて、かつ電圧プロファイルの関数形を考慮して異なるイオン種を区別するイオン検出器において検出される。適切な電圧プロファイルは、正弦関数、三角関数、及びのこぎり波関数などの周期関数を含み、これによってマスフィルタ内の駆動パルスの増幅が、構築が簡易で安価な狭帯域増幅段によって実行されることが可能になる。 （もっと読む）

セルベースの質量分析計のためのガス送達システムは、ガス源に連結された入力を有する質量流量コントローラを含む。三方弁は、質量流量コントローラの出力に連結された入力と、真空システムに連結された第１の出力と、通常、反応または衝突セルに連結された第２の出力とを含む。セルは、質量分析計の真空チャンバの内側に位置付けられ、三方弁の第２の出力は、セルの入口に連結され、質量流量コントローラは、セルにガスを提供し、真空チャンバ内の圧力に対してセル内側の圧力を増加させる。
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【解決手段】水素−重水素交換セルを備える質量分析計を開示する。イオンが水素−重水素交換を受けることにより、立体配座が異なる一方でイオン移動度がほぼ等しい異性体イオンを識別することが可能になる。水素−重水素交換の相対的な度合いを求めることにより、イオン移動度がほぼ等しい２つのイオンが異なる表面立体配座を持つ場合には、これら２つのイオンをより効果的に識別することができる。 （もっと読む）

質量分析システムには、低圧分離領域および微分移動度分光計が含まれる。微分移動度分光計には、イオンフロー経路を画定する少なくとも一対のフィルタ電極が含まれ、このイオンフロー経路において、フィルタ電極は、サンプルイオンのイオン移動度特性に基づいてサンプルイオンの選択された部分を通過させるための電界を生成する。微分移動度分光計にはまた、ＤＣおよびＲＦ電圧をフィルタ電極の少なくとも１つに供給して、電界を生成する電圧源と、低圧分離領域を通過したサンプルイオンを受け取るイオン入口と、サンプルイオンの選択された部分を出力するイオン出口と、が含まれる。質量分光計は、サンプルイオンの選択された部分のいくらかまたは全てを受け取る。
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【課題】イオン移動度測定と質量分析を単一装置で行う事により、輸送工程の排除や解析の自由度を増すシステムを提供する。
【解決手段】単一組の複数の電極に異なる電位を異なる時間に印加する事により、イオン移動度に基づく分析（ＦＡＩＭＳ）と質量分析（ＭＳ）とを単一装置で実行可能とする。前記複数の電極は、分離装置内の単一の室１０に外部円筒電極１４と同軸配置された環状棒電極１２とを備える。ＦＡＩＭＳを実行する際には、環状棒電極１２は定電位又はグラウンドに維持され、非対称ＦＡＩＭＳ波形が外部円筒電極１４に印加される。 （もっと読む）

【課題】質量分析計の大気圧イオン源から真空ステージへのイオンの効率的な移送を実現する、改良された質量分析計を提供する。
【解決手段】サンプリングコーン３とコーン−ガスコーン４とを含み、サンプリングコーン３を通過し、質量分析計の後続ステージに入り、当該ステージを通過する分子質量が高いイオンの移送を向上させるために、使用時に、六フッ化硫黄（「ＳＦ₆」）をコーンガス５としてコーン−ガスコーン４とサンプリングコーン３との間の環状部へ供給する質量分析計が開示される。 （もっと読む）

【課題】低周波誘電体バリア放電の放電開始電圧を下げることにより高圧電源部のコストダウンを図る。
【解決手段】プラズマガス（Ｈｅ）が流れる円筒管２の外部に配置した光源部２０から、円筒管２の壁面を通してガス流路４中のプラズマ生成領域（プラズマ生成用電極６、７の間の領域）に光を照射する。光エネルギーによりＨｅ分子又はＨｅガス中の微量不純物ガス分子は励起され光電離が生じるため、通常の放電開始電圧よりも低い低周波電圧を電極５と６、７との間に印加した状態で放電が開始され、プラズマが形成される。一旦放電が開始されると通常の放電維持電圧を電極５と６、７との間に印加していれば放電は持続するから、放電開始時に短い時間だけ光源部２０をオンすればよい。 （もっと読む）

【課題】複雑性を最小限に抑えたかまたは解消したガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の真空チャンバ用のガス分析装置は電子処理部を備えており、この電子処理部が、質量スペクトルデータを受け入れ、真空チャンバ内の全圧を示す入力を受け入れ、少なくとも１つのセンサからの外部入力を受け入れ、これら質量スペクトルデータ、真空チャンバ内の全圧、および少なくとも１つのセンサからの外部入力を用いて、少なくとも１つの品質基準に基づき真空品質指数を算出するように構成されている。 （もっと読む）

脱着前に予備濃縮装置ハウジング（2）を排気する際に、化学分析装置（7）と予備濃縮装置ハウジング（2）のあいだの流動制限物質および／またはメンブレン（15）が省略されうるように、化学分析装置の内圧に実質的に等しいレベルまで予備濃縮装置ハウジングの内圧をポンプシステム（13）が低減させる、化学分析システムを開示する。化学分析システムは、化学分析装置（7）；関心対象化学物質を吸着または脱着させるために吸収材料を加熱するように構成された温度制御要素（5、18）と吸収材料（1）とをその中に入れた、化学分析装置に連結された予備濃縮装置ハウジング（2）；および関心対象化学物質を脱着させる前に予備濃縮装置ハウジングを排気するように構成された、予備濃縮装置ハウジングおよび化学分析装置に連結されたポンプシステム（13）を含む。

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【課題】多数の用途で使用できるとともに、特に、ガス分析器につながることができる、簡略化したガス採取装置を提供する。
【解決手段】高真空気密ケーシングを含むガス採取装置であって、高真空気密イオン化チャンバが形成されており、前記イオン化チャンバはイオン化されるべきガス用の入口の第１の穴を通してイオン化チャンバの外部の環境に通じているとともに、イオン化チャンバはイオン化されたガス用の出口の第２の穴を通してイオン化チャンバの下流の環境に通じており、前記第１の穴は、ナノメートル程度の直径を有する少なくとも１つのナノホールが設けてある高真空気密膜を用いて、イオン化チャンバの外部の環境から分離されており、前記ナノホールは実質的に直線的な軸に沿って膜を貫通している、ガス採取装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ共鳴イオン化質量分析装置において、分析目的のガス以外のガスのイオンが検出信号に影響するのを軽減する。
【解決手段】イオン化室に導入したカバーガスとタグガスの混合ガスにイオン引出し電極８１１２ａ，８１１２ｂの間においてレーザビーム８３を照射してタグガスを共鳴励起・イオン化するときに、レーザ光の散乱により放出される光電子等によってカバーガスが非共鳴反応によりイオン化されることにより制御電極の間の広い範囲で生成され、分析目的のタグガスイオンは、照射されるレーザビームに沿って生成されることに着目し、イオン引出し電極８１１２ｂにおけるイオン引き出し窓８１１２ｂ１をレーザビームの通路に沿ったスリット形状とすることにより、カバーガスイオンが引き出されるのを抑制する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化やコスト高を招くことなく、測定値の精度向上を図り、最高ｐｐｍオーダーまでの微量ガスを測定可能とする。
【解決手段】微量ガスを定量測定する高感度ガス分析装置において、被測定ガスを収容する被測定ガスリザーバ２１と、被測定ガスリザーバと第１の開閉弁を介して接続する小容器２３と、小容器と第２の開閉弁を介して接続する，容量が前記小容器の容量の２０００倍以上のバッファタンク２５と、バッファタンクと配管を介して接続するマニホールド２７と、マニホールドと接続する，吸気口側に第３の開閉弁を介装したターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプからなる真空排気装置の付いた四極子型質量分析計３０と、被測定ガスを四極子型質量分析計に流入させるためのオリフィスと、マニホールドとターボ分子ポンプとを接続する，第４の開閉弁を介装したバイパス配管３８とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定感度の低下を低減できると共に、長期間メンテナンスフリー及び高精度測定が可能な光イオン化検出器及び光イオン化検出方法を提供する。
【解決手段】光イオン化検出器は、測定流体中のＶＯＣの検出電極２と、該検出電極２に交流電圧又は交流電流を印加する交流印加回路３と、測定流体に紫外線を照射するＵＶランプ４と、該ＵＶランプ４の励起回路５と、検出電極２に流れる電流又は電圧を測定する測定回路７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガスや大気中ガスの成分組成を測定する際に、オンサイト・リアルタイムでターゲット分子を異性体識別を含め、完全に特定してｐｐｔレベルの高感度で測定し、ほぼ同じタイミングで試料中に存在する他のターゲット分子群の質量数分布を把握することが可能な分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】ターゲット分子群を一括して１光子でイオン化して分析するイオン化分析装置１は、イオン化部２０、レーザー照射系３０、分析検出部（質量分析部４０、イオン検出部５０）を具備し、イオン化部２０は、レーザー照射系３０の紫外レーザー光３３及び真空紫外レーザー光３４をほぼ同時に照射することにより、ターゲット分子の異性体識別を行いながら、所定のターゲット分子群をイオン化する。そして、イオン化部２０によりイオン化されたイオンを、分析検出部で質量分析して検出する。 （もっと読む）