Fターム[2G041EA05]の内容

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【課題】試料を高効率にイオン化するコロナ放電を用いたイオン源を提供する。
【解決手段】高電圧を印加することにより針電極先端に生成するコロナ放電において、該コロナ放電の領域に対する試料の導入方向とコロナ放電によりイオンを引き出す方向をほぼ対向させることにより、イオン生成効率を向上させる。 (もっと読む)


【課題】全圧測定手段を用いることなく、圧力が高い雰囲気下において測定される分圧を良好な値に補正できる、特定ガスの分圧検出方法を提供する。
【解決手段】四重極型質量分析計10を用いて、特定ガスの質量電荷比に対応するイオン電流値を測定することにより、被測定ガス中の前記特定ガスの分圧を検出する方法である。特定ガスの質量電荷比に対応する第一イオン電流値の測定値を、イオン電流値のピークが出現しない質量電荷比に対応する第二イオン電流値の測定値を用いて補正することにより、特定ガスの現実の分圧を求める。 (もっと読む)


【課題】
【解決手段】サンプリングコーン3とコーン−ガスコーン4とを含み、サンプリングコーン3を通過し、質量分析計の後続ステージに入り、当該ステージを通過する分子質量が高いイオンの移送を向上させるために、使用時に、六フッ化硫黄(「SF6」)をコーンガス5としてコーン−ガスコーン4とサンプリングコーン3との間の環状部へ供給する質量分析計が開示される。 (もっと読む)


【課題】ヘリウムを含む複数のキャリアガスによるリーク検査を作業性良く行うことができるリークディテクタの提供。
【解決手段】ヘリウムガスと水素ガスとの混合ガスが充填された校正用標準リーク6を装着して校正動作を行うことにより、ヘリウムガスおよび水素ガスの各検出感度をいっぺんに取得することができる。取得された各検出感度は記憶部72に記憶される。そして、いずれのキャリアガスでリーク検査を行うかが操作部71により指示されると、指示されたキャリアガスが検出できるように分析管5の加速電圧が設定され、指示されたキャリアガスの検出感度を用いてリーク量が算出される。その結果、キャリアガスの異なるリーク検査を切り替えて行う場合に、リーク検査作業時間の短縮を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】レーザを用いてウエハの状態で直ちに汚染物質を検出及び分析することのできるウエハ汚染物質の分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】ウエハ汚染物質の分析装置100は、汚染物質を分析するためのウエハWを支持するウエハホルダ160と、ウエハWから分離した試料を採取するためにウエハW側にレーザLを照射するレーザアブレーション装置110と、レーザLを照射することによってウエハW表面から分離した試料を採取するための分析セル170と、分析セル170に連結されて前記採取する試料から汚染物質を分析するための分析装置190とを含む。 (もっと読む)


【課題】 試料を高効率かつ長時間安定にイオン化するコロナ放電を用いたイオ
ン源を提供する。
【解決手段】 高電圧を印加することにより針電極先端に生成するコロナ放電に
おいて、該コロナ放電の領域から試料ガス中の中性分子が移動する方向と、放電
により生じたイオンの引き出し方向が異なる構成とすることにより、イオン生成
効率を向上させると共に安定な放電を長時間持続させる。 (もっと読む)


【課題】気体分子を電離させ、生成したイオンの数から圧力を求める方式の真空計は、圧力が高くなるに伴い、イオンと気体分子との衝突などの相互作用が無視できなくなり、イオンやカソード電極から放出される電子の平均自由行程が短くなる。これにより、圧力に対して集イオン電極に到達するイオンの割合が低下して、真空計の指示値の精度が低下する。
【解決手段】真空中の気体分子を電離させてイオンを生成し、生成したイオンを捕捉してイオン電流を検出し、検出したイオン電流から圧力指示値を算出する真空測定方法であって、少なくとも感度の圧力依存特性を取得する工程と、算出された圧力指示値を感度の圧力依存特性で補正する工程を有する真空測定方法により、真空計の指示値の精度を向上することができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、被測定ガスを加熱して加熱前後の被測定ガスの重量差を求め、被測定ガス中の微量ガスの実際の重さを測定することを課題とする。
【解決手段】大気等に含まれる微量ガスを定量するガス分析装置であり、被測定ガスを加熱する電気炉(加熱手段)31と、被測定ガスの加熱前後のガス量を測定する計測手段とを具備することを特徴とするガス分析装置。 (もっと読む)


イオン移動度分光計は、その入口開口部(6)の外側に予備濃縮器(7)を有する。実質的にどのガスも反応領域(3)に入ることを許されていない第一段階の間に、被測定物蒸気が吸着される。次に、予備濃縮器(7)が働いて、被測定物分子を脱着させ、イオン移動度分光計ハウジング(1)の外側に、脱着分子の試料室を形成する。次に、圧力パルス発生器が瞬間的に働いて、ハウジング(1)内の圧力を低下させ、開口部(6)を通して脱着した試料室(9)から少量の被測定物分子を引き込む。装置が別の吸着段階に入った後で、脱着した試料室(9)の被測定物分子の濃度が、正確に分析できなくなるほど低くなるまで、この動作を繰り返す。
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IMS装置は、インレット7に前段濃縮器9を有する。ハウジング1の内側に結合された圧力パルス発生器8は、ハウジングに小さい交番の正負圧力のパルスを供給し、空気をインレット7へ、およびインレット7から、脈動して流す。これにより、試料が、前段濃縮器9により吸着され、イオン化され検出されるのに十分な試料は流れることができない。前段濃縮器9で検出可能な試料の量を集めるのに必要な時間の後、装置は、脱離フェーズに切り替える。前段濃縮器9が、試料を脱離するために加熱され、圧力パルス発生器8が、イオン化と検出のために反応領域に、解放された試料の十分な量を流すため大きな負のパルスを生成する。
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IMS検出装置は、ピンホールまたは毛細管入り口(4、104、201)を備えている。前記ピンホールまたは毛細管入り口(4、104、201)は、影響力のある検体物質を吸着させる、ポリジメチルシロキサンのような吸着剤で構成された被膜(42、242)を有している。前記検体物質は、ヒータ(43)が、前記被膜を加熱して、吸着された検出用検体物質を脱着させるために作動するまで、前記被膜(42、242)に吸着される。
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IMS装置は反応領域(3、103)に開口し且つプリコンセントレータ(9)を備える流入手段を有し、検体分子は反応領域(3、103)においてイオン化されるとともにシャッタ(11)を介してドリフト領域(2,102)に流されて収集及び分析される。ポンプ(21)及びフィルタ(22,23)手段は、ハウジング(1,101)に、イオン流と逆に流れるクリーンガスのフラッシング流を供給する。ハウジング(1,101)に接続する圧力パルサ(8)を瞬間的に作動することによって、ハウジング(1,101)内の圧力を一時的に低下させ、そして検体サンプルのボーラスをプリコンセントレータ(9)から吸い込む。サンプルのボーラスを吸い込む直前において、ポンプ(21)をオフしてフラッシング流を実質的にゼロになるまで減少させ、それによって検体分子が反応領域(3)内に滞留する時間を延長させる。
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【課題】リアルタイム測定しながら、妨害する夾雑物を分離して定量精度の高い測定を行う分析装置を提供する。
【解決手段】試料ガスの導入配管を分岐し、一方は直接イオン源に導入しリアルタイムに分析しておき、もう一方は遅れてイオン源に導入されるようにしておく。リアルタイムの分析結果で、MSスペクトル上のスペクトルパターンが変化し、夾雑成分の濃度上昇が観察されたときに、試料の導入経路を切り替え、もう一方の導入配管に設けておいた分離部で夾雑成分を分離した上で、イオン源に導入する。 (もっと読む)


【課題】IH2の干渉がないヨウ素分析方法および装置を実現する。また、ヨウ素127の測定が連続しても検出器が劣化しないヨウ素分析方法および装置を実現する。
【解決手段】誘導結合プラズマ質量分析装置を用いてヨウ素を分析するにあたり、土壌試料(300)をアルゴンガス雰囲気中で加熱(100)してサンプルを気相状態にし、前記気相状態のサンプルをリアクションセル(240)付の誘導結合プラズマ質量分析装置(200)にそのまま導入して質量分析する。前記質量分析を、リアクションセル(240)のパラメータ設定により、検出感度がヨウ素127に関しては相対的に低く、ヨウ素129に関しては相対的に高い状態で行う。 (もっと読む)


【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 (もっと読む)


【課題】 同一質量電荷比(m/z値)で異なるフラグメント形態であっても成分分離が可能な燃料電池評価装置を実現する。
【解決手段】 燃料電池の排出ガスを質量分析して評価する燃料電池評価装置において、燃料電池の排出ガスが供給される質量分析計と、この質量分析のマススペクトルから質量電荷比が重ならない低分子ガスの同位体の検出強度を抽出し、同位体比に基づき他方の同位体の検出強度を算出し、他方の同位体と同一質量電荷比内の他の成分の検出強度を算出し、フラグメント形態の存在比に基づき同一成分内のフラグメント形態の検出強度を算出する演算制御手段とを設ける。 (もっと読む)


イオン移動度分光計または質量分析計におけるガス分析用に正および/または負にイオン化したガス検体を生成するための方法を解決手段とし、この方法を用いて、従来のイオン化方式が伴う制約なしに、イオン移動度分光計または質量分析計におけるガス分析用にガス検体をイオン化して、正イオンおよび/または負イオンを形成することができる。これは、正および/または負のガスイオンがプラズマ(6)によって生成され、このプラズマが誘電体バリア放電によって引き起こされ、この誘電体バリア放電が、誘電体材料から成る毛細管(2)を通じて希ガスが誘導されることによって生成され、その際、毛細管の出口領域に隣接して前記毛細管に配置された、電気絶縁された2つの電極(3、4)を用いて交流電圧が印加され、前記ガス検体が前記毛細管の外側の前記出口領域へ誘導されることによって実現される。
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新規なガス分析システム、およびガス試料中の検体を同定する方法を提供する。このシステムは、複数のガス分析テクノロジを用い、ガス試料を分析するために複数のガス分析テクノロジから得られる組み合わせた定性的かつ定量的なデータを使用する。
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【課題】軟X線を用いてベースガスイオンを生成し、このベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成することによって、安全性が高く、装置の汚染、試料の分解、及びイオン化室の電界への影響などを抑制でき、試料分子を効率よくイオン化できるイオン移動度計およびイオン移動度計測方法を提供する。
【解決手段】イオン移動度計1は、試料分子をイオン化するイオン化装置2と、イオン化された試料分子の移動度を計測するドリフト室11とを備える。イオン化装置2は、ベースガスをイオン化するとともにベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室20と、イオン化室20内へ軟X線を照射する軟X線管3とを有する。軟X線管3は、軟X線の照射量を増減可能に構成されている。 (もっと読む)


サンプル収集デバイスを解析デバイス内への導入のために適切に配列するサンプル受けデバイスが、提供される。サンプル収集デバイスは、サンプル収集デバイスがサンプル導入を容易にするために適切に配列されるように、サンプル収集デバイスをサンプル受けデバイス内でガイドおよび配列する、ガイド構造または複数のガイド構造を備えてもよい。
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