Fターム[2G041FA03]の内容

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【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】腎疾患又は腫瘍性疾患の可能性を判定する方法を提供する。
【解決手段】腎疾患又は腫瘍性疾患の疑いがある被験体の生体サンプルにおけるδO−18(δ18O)及び/又はδH−2(δH)の値を測定することと、測定されたδO−18及び/又はδH−2の値と、腎疾患又は腫瘍性疾患を有しない被験体から得られたδO−18及び/又はδH−2の参照値とを比較することと、上記腎疾患又は腫瘍性疾患の疑いがある被験体の生体サンプルにおけるδO−18及び/又はδH−2の値が、腎疾患又は腫瘍性疾患を有しない被験体から得られたδO−18及び/又はδH−2の参照値よりも低い場合に、腎疾患又は腫瘍性疾患の可能性があると判定する。 (もっと読む)


【課題】 被検試料の重量変化とアンモニアの発生温度および発生量を同時に評価する方法を提供する。
【解決手段】 示差熱天秤質量分析法を用いたアンモニアの発生温度および発生量の両者を同時に評価する方法であって、測定した被検試料の質量数18の質量分析プロファイル、および質量数17の質量分析プロファイルを用いて求めた質量数18の強度I18、および質量数17の強度I17から、式[I17−I18×0.212]によって算出される強度プロファイルを用いてアンモニアの発生温度と発生量を評価することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、取り扱いやすい標準ガスを用いて容易に校正を行なうことが可能で、かつ分析計を劣化させることなく、間接的に水素化物ガスの濃度を測定可能なガス測定装置、及び水素化物ガスの測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ガスを分析する分析計12と、分析計12の前段に配置されると共に、分析計12と接続され、かつ水素化物ガスと反応することで水素化物が含まれていないガスを発生させる置換剤を有する反応管25と、を含む。 (もっと読む)


【課題】試料ガスおよび/または標準ガスがオープンスプリットを経て分析装置に供給され、キャリアガスを付加することが可能である、同位体比を分析するための方法と、ガスを分析装置に供給する装置とを提供する。
【解決手段】所定のガス流がガス管内で調節可能である、ガスを分析装置に供給する装置であって、供給管80と、少なくとも1本の後続の管97と、供給管80と後続の管97との間に設けられた複数の弁89〜96とを備え、この弁89〜96が互いに並列に接続され、かつ段階的に、すなわちバイナリ式にまたは漸次式に切換え可能である。 (もっと読む)


【課題】熱分析法で、正確な温度の較正が容易に行えるようにする。
【解決手段】分析対象の物質とは異なり、常温〜1000℃の範囲で気体を生じる指標物質を試料に加えた内標準試料を作製する。次に、内標準試料を昇温脱離分析法で分析することで、指標物質より生じた指標気体の昇温脱離スペクトルを取得する。なお、この昇温脱離分析法の分析においては、指標気体の分析とともに分析対象の物質の分析も行う。試料(内標準試料)に分析対象に物質が含まれていれば、指標気体の昇温脱離スペクトルとともに分析対象の物質の昇温脱離スペクトルも得られる。次に、得られた指標気体の昇温脱離スペクトルより、指標物質から指標気体が発生した計測温度を求める。 (もっと読む)


【課題】 フィラメント表面に多量の酸素が吸着しているような場合に、この酸素を可及的速やかに脱離させるようにした酸素検出計を提供する。
【解決手段】 真空容器Wに装着されてその内部の酸素を検出する本発明の酸素検出計M1は、金属製でその表面が酸化物膜で被覆されたフィラメント1と、グリッド2と、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の可変電源E1とを備える。フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流が所定値に保持されるように可変電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、このときフィラメントを流れる電流値から酸素を検出する。また、エミッション電流が所定値となるときのフィラメント電流より大きな電流をこのフィラメントに流し得る通電手段E3、SWfを更に備える。 (もっと読む)


【課題】有機半導体デバイスの製造に適した昇華速度および純度(不純物酸素量)を有するフラーレン精製物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】720℃における昇華速度が50μg/min以上であり、かつ、酸素含有量が80重量ppm以下であるフラーレン精製物。該フラーレン精製物は、原料フラーレンを730℃以上の温度に加熱して昇華させ、該加熱温度よりも低い析出温度にて、フラーレン精製物を析出させることにより製造することができる。 (もっと読む)


【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置10は、先細りの先端側に第1オリフィス22があり他端側にガス供給管26が接続された筒状体の試料セル20と、先細りの先端側に第2オリフィス52があり他端側に四重極質量分析器62が配設された筒状体のスキマー部51と、をオリフィス側で対向させ減圧室30に内包した状態で配設している。減圧室30は、拡散ポンプ33及びロータリポンプ34で減圧される。試料セル20は、高耐熱性材料(アルミナなど)により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ23を接続管24側から試料セル20に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置10はで、減圧室30を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 (もっと読む)


【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置10は、先端側に第1オリフィス22があり他端側にガス供給管26が接続されたクヌッセン型の試料セル20を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル20へガス供給管26を介してガスを供給可能であり、この試料セル20を内包した減圧室30の内包空間を拡散ポンプ33及びロータリポンプ34によって減圧可能である。そして、試料セル20を加熱し試料から生成した試料ガスを、第1オリフィス22、内包空間、第3オリフィス72及び第2オリフィス52を介して検出器が配設された測定室50へ導入してこれを測定する。このように、試料セル20が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室30内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル20を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。 (もっと読む)


【課題】極微量であっても所定濃度の赤リンの均一分散が保証された標準試料の作成方法、及び、熱分解GCMSによる樹脂中の赤リンの定量方法であって、前記標準試料を用いることを特徴とする分析方法を提供する。
【解決手段】赤リンを所定量秤量して樹脂中に均一混合し赤リン含有コンパウンドを作成する工程、前記赤リン含有コンパウンドを粉砕し、5μm以上の最大径を有する粒子数を、1μm以上5μm未満の最大径を有する粒子数の1/20以下とする工程、及び粉砕された赤リン含有コンパウンドを0.05〜10mg、好ましくは、0.1〜0.5mg程度秤量して標準試料とする工程を有することを特徴とする樹脂中の赤リン定量用標準試料の製造方法、及び、熱分解GCMSによる樹脂中の赤リンの定量方法であって、前記標準試料を用いることを特徴とする分析方法。 (もっと読む)


【解決手段】水素−重水素交換セルを備える質量分析計を開示する。イオンが水素−重水素交換を受けることにより、立体配座が異なる一方でイオン移動度がほぼ等しい異性体イオンを識別することが可能になる。水素−重水素交換の相対的な度合いを求めることにより、イオン移動度がほぼ等しい2つのイオンが異なる表面立体配座を持つ場合には、これら2つのイオンをより効果的に識別することができる。 (もっと読む)


【課題】複雑性を最小限に抑えたかまたは解消したガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の真空チャンバ用のガス分析装置は電子処理部を備えており、この電子処理部が、質量スペクトルデータを受け入れ、真空チャンバ内の全圧を示す入力を受け入れ、少なくとも1つのセンサからの外部入力を受け入れ、これら質量スペクトルデータ、真空チャンバ内の全圧、および少なくとも1つのセンサからの外部入力を用いて、少なくとも1つの品質基準に基づき真空品質指数を算出するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】
既存のレーザー顕微解剖装置(LMD)での使用に適したレーザー照射チャンバーが、LMDと組み合わせて試料の元素濃度の定量的に場所分解されたナノ局所分析及び分布分析と同じ試料のナノメートルの範囲内の表面のトポグラフィーの顕微鏡による検出との双方を可能にする。オプション的には、試料が当該試料を有するスライドガラスから除去される必要なしに、その他の検査が続く。当該検査のため、試料の分析すべき領域が、LMDの顕微鏡によって検査される。
【解決手段】
この場合、当該試料は、カバーガラス(スライドガラス)の下面に存在する。同時に、このカバーガラスは、スライドガラスの下で且つLMDの内部に取り付けられたレーザー照射チャンバーの一部である。当該試料の一部が照射されて分析される。オプション的には、組織の、金属が検出された特定の領域が、既存のLMD装置によってその他の分析のために適切に切除され、レーザー照射後にスライドガラスの下に取り付けられる試料容器内に収集される。
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【課題】本発明は、金属体中に存在する拡散性水素の正確な局所定量分析が可能な金属体中の水素の局所分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被測定金属体としての試料20の表面の所定箇所を融点以下に加熱するために、所定条件下でレーザー光2gを断続的に照射し、レーザー光2gの照射の有無における試料20の表面の所定箇所から放出される各水素放出速度をAPIMS10で測定し、これらの測定された水素放出速度の偏差と予め求められた試料20の表面の所定箇所から放出される水素放出速度の偏差と拡散性水素量との関係より、試料20の表面の所定箇所に含有する拡散性水素量を求める工程を有したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】小型で測定誤差が小さく、安価に製造することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】筒状の電極1、及び筒状の電極1の表面全体を覆うとともに一方の端部側が塞がれた有底筒状の誘電体2を有し、複数の貫通孔3が形成された外筒部5と、棒状の電極11、及び棒状の電極11の表面全体を覆うように配設された誘電体12を有し、一方の端部13側が外筒部5内に位置し、他方の端部14側が外筒部5の外に位置するとともに、外筒部5の内壁面と接触しないように配設された軸部15とを備え、荷電された粒子状物質、又は、外筒部5内に生じる放電により荷電された粒子状物質を、外筒部5の内壁面に電気的に吸着させることが可能であり、外筒部5を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより外筒部5の内壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置100。 (もっと読む)


【課題】小型で測定誤差が小さく、安価に製造することが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】一方の端部に少なくとも一の貫通孔2が形成された一方向に長い検出装置本体1と、貫通孔2の壁の内部に埋設され、誘電体で覆われた少なくとも一対の電極11,12と、一対の電極11,12からそれぞれ検出装置本体1の他方の端部に向かって延びる配線11b,12bと、配線11b,12bの間に挟まれる位置に配設された帯状の接地電極14とを備え、前記貫通孔内に流入する流体に含有される荷電された粒子状物質、又は、前記一対の電極に電圧を印加することにより前記貫通孔内に生じる放電により荷電された、前記貫通孔内に流入する流体に含有される粒子状物質を、貫通孔2の壁面に電気的に吸着させることが可能であり、貫通孔2を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔2の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置100。 (もっと読む)


【課題】試料ガスを、安全、簡便かつ前処理の時間を省いて測定でき、試料ガスと標準物質を混合して測定する際の問題を解決したポリ臭化ビフェニル、ポリ臭化ジフェニルエーテルなどの臭素を含む高分子化合物の分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】試料ガスとキャリアガスとの混合ガスをガスクロマトグラフ10のインレット8に注入し、標準物質をマイクロシリンジ9からインレット8に注入する。気化室において標準物質は気化し、混合ガスと混合してカラム11に流れて分離操作を受ける。カラム11からのガスを質量分析計または原子励起検出器12に送り、分析を行う。 (もっと読む)


【課題】複数種の金属原子からなる多成分系クラスターの触媒活性を短時間で正確に評価する。
【解決手段】複数の特定元素を蒸発させて複数種のクラスターを生成させ、その質量スペクトルを測定して基スペクトルとし、複数種のクラスターに被吸着ガスを接触させた後の質量スペクトルを測定して測定スペクトルとし、基スペクトルのピーク面積強度に対する測定スペクトルのピーク面積強度の割合を各ピークについて算出して、割合が所定値以上であるピークに対応する特定クラスターの触媒活性を高いと評価する。 (もっと読む)


【課題】カーボンナノチューブの特性を損なわずに、カーボンナノチューブの欠陥を簡単且つ確実に評価することができる、カーボンナノチューブの評価方法を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブをエタノールなどの溶媒に入れて超音波で分散させ、このカーボンナノチューブを含む溶媒を金属基板にエアブラシなどで吹き付けた後に乾燥させることによって、金属基板に固定されたカーボンナノチューブに、HやDなどの気体を吸着させた後、昇温させて昇温脱離スペクトルを測定し、得られた昇温脱離スペクトルのピーク温度やピーク形状に基づいて、カーボンナノチューブの欠陥を判断する。 (もっと読む)


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