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Fターム[2G041FA04]の内容

その他の電気的手段による材料の調査、分析 (22,023) | 検出対象 (2,606) | 非金属 (2,002) | 無機 (184) | 単体(H2、O2等) (68) | 希ガス (19)

Fターム[2G041FA04]に分類される特許

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【課題】試料ガス中のキセノンガス等の測定対象ガスを、バックグランド放射能の影響を受けずに高感度で測定し、しかも、試料ガスの制約を少なくする。
【解決手段】試料ガス中の、キセノンガス、クリプトンガス及びラドンガスのうちの少なくとも1つのガスである測定対象ガスを測定する測定装置1は、前記試料ガスとアルゴンガス及び/又はヘリウムガスとを混合して混合ガスを得る混合手段34と、混合手段34により得られた前記混合ガスから不活性ガス以外の成分を選択的に低減させる低減手段33と、低減手段33により前記成分が選択的に低減された前記混合ガスが導入され、当該導入されたガスの質量分析を行う大気圧イオン化質量分析装置2と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 部品点数の増加を招くことなく確実に圧力を把握でき、リークディテクタの使用継続時間に関係なく、正確にリーク値を測定することに最適なリークディテクタ用の質量分析管を提供することにある。
【解決手段】 磁場偏向型の質量分析管2は、ガス導入口22が開設された管体21を有し、この管体内にフィラメント23aとグリッド23bとを有してガス導入口から導入されたガス分子をイオン化するイオンソース23と、ヘリウムイオンを捕集する第1のイオンコレクタ25と、管体内でイオンソースとイオンコレクタとの間に介設され、このイオンソースから所定の加速電圧下で放出されたイオンをその質量数に応じて偏向させる磁場を形成してヘリウムイオンのみをイオンコレクタへと導くマグネット24とを備え、イオンソースの周囲に第2のイオンコレクタ27が付設され、この第2のイオンコレクタにイオンソースによりイオン化された正イオンを捕集する。 (もっと読む)


【課題】レーザ共鳴イオン化質量分析装置において、分析目的のガス以外のガスのイオンが検出信号に影響するのを軽減する。
【解決手段】イオン化室に導入したカバーガスとタグガスの混合ガスにイオン引出し電極8112a,8112bの間においてレーザビーム83を照射してタグガスを共鳴励起・イオン化するときに、レーザ光の散乱により放出される光電子等によってカバーガスが非共鳴反応によりイオン化されることにより制御電極の間の広い範囲で生成され、分析目的のタグガスイオンは、照射されるレーザビームに沿って生成されることに着目し、イオン引出し電極8112bにおけるイオン引き出し窓8112b1をレーザビームの通路に沿ったスリット形状とすることにより、カバーガスイオンが引き出されるのを抑制する。 (もっと読む)


【課題】試料ガスに含まれるガス組成を高精度で測定することのできるガス分析装置を提供する。
【解決手段】試料ガスに含まれる特定の質量電荷比を有する特定ガスの濃度を測定する非分散型赤外線濃度計(23)、試料ガスに含まれる、特定ガスを含む複数種類のガスの質量を測定する質量分析計(24)、非分散型赤外線濃度計(23)により測定された特定ガスの濃度と質量分析計(24)により測定された複数種類のガスの質量とに基づいて、試料ガスに含まれるガスの濃度を演算する演算部(30)、を備える。演算部(30)は、特定ガスの濃度を特定ガスの質量に換算し、複数種類のガスの存在量のうち、該特定ガスの質量電荷比について測定された存在量から、換算された特定ガスの存在量を減算して、該特定ガスと同じ質量電荷比を有する異種類のガスの存在量を演算する。 (もっと読む)


【課題】オゾンを安全に取り扱うために用いられるヘリウム、CFなどからなる希釈ガスの爆発抑制効果を確認するためのオゾンを高濃度に濃縮する試験設備やプロセスなどのオゾンを濃縮する工程が含まれるプロセスにおいて、このプロセス中の濃縮されたオゾンの濃度を正確、簡便、安全に知ることができるようにする。
【解決手段】オゾナイザー5で得られたオゾン・酸素混合ガスにオゾン濃度に対応する濃度となるようにキセノンを加え、この混合ガスを液化濃縮槽1に送り、オゾンとキセノンを液化し、オゾンとキセノンがCFなどの希釈液化ガス中に溶解し、オゾンとキセノンが濃縮された液体とし、この液体の一部を抜き出し、気化器11でガス化した後オゾン分解槽12でオゾンを分解し、ガス分析計13にてキセノン濃度を計測して、このキセノン濃度からオゾン濃度を推定する。 (もっと読む)


【課題】低下した検出感度を簡単にもとに戻すことができるヘリウムリークディテクタを提供すること。
【解決手段】加速スリット対向壁14の一部の面S1や中間隔壁13の一部の面S2にカーボンが厚く付着した場合、分析管10の内部を密閉する容器20から容器部分20aを取り外す。そして、中間隔壁13を中心として左右反対になるように、容器部分20aを回転させる。そして、そのまま容器部分20aを取り付ける。 (もっと読む)


本発明は、冶金プロセスにおいて廃ガス流量を間接的に決定する方法に関する。この目的のため、標準ガスと廃ガスとの完全な混合が行われるように、すなわち実質的に均質な分布が得られるように、具体的には流れに関してサンプルの採取より十分に先行する時点で、ヘリウムなどの標準ガスを最初に廃ガスに加え、ヘリウムの添加量を考慮しながら、質量分析計による測定によって廃ガスのヘリウムおよび窒素の定量分析を行う。
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【課題】検出感度の低下を抑制し、測定制度の高いヘリウムリークディテクタを提供すること。
【解決手段】CイオンなどのHeイオンより重たいイオンが照射される位置に補正電極18を設ける。補正電極18は、中間隔壁13などの分析管10の内部とは絶縁されている。補正電極18は電源111に接続されている。電源111は、補正電極18に印加する電圧の電圧値を可変にできる。電源111は、分析管10の内部に付着したカーボンが偏向軌道Aに及ぼす静電力を相殺するように補正電極18に電圧(たとえば、−70〜0V)を印加する。これにより、Heイオンの偏向軌道Aの歪を抑制できる。 (もっと読む)


【課題】高精度な全圧および分圧測定を容易に実現することができる質量分析計を提供する。
【解決手段】被測定ガスの分子をイオン化するイオン源9と、イオン源9で生成されたイオンの進路を質量電荷比ごとに決定する質量分離部5と、質量分離部5を通過した特定の質量電荷比のイオンを捕捉する分圧測定用集イオン電極7とを備えた質量分析計11であって、イオン源9を挟んで質量分離部5の反対側に、イオン源9で生成された全種類のイオンを捕捉する全圧測定用集イオン電極8を設け、全圧測定用集イオン電極8が板状に形成され、かつ開口が形成されている。 (もっと読む)


【課題】各種検査を効率かつ安価に行うことのできる、質量分析ユニット、及び質量分析ユニットの使用方法を提供する。
【解決手段】被測定ガスの質量電荷比ごとの分圧を測定する測定部12、及び測定部12に連続的に設けられ、かつ測定部12を制御する電気系部14を有した質量分析部1と、質量分析部1に導入される被測定ガスの圧力を所定値まで減圧する差動排気部20と、を備えた質量分析ユニット10である。電気系部14は差動排気部20の制御部として機能し、かつ差動排気部20の操作部が設けられる。 (もっと読む)


【課題】固体物質を通過する気体の透過を測定する装置および方法。
【解決手段】物質(M)を通過する気体の透過を測定する方法において、混合筐体14内で同位体気体の混合物を形成する工程であって、各同位体気体が物質(M)を通過する透過が追求されるターゲット気体に対応し、同位体気体は対応するターゲット気体の質量数と異なる質量数を有している工程と、第一チャンバ11と第二チャンバ12を含み、物質(M)によって第二チャンバ12から分離されている透過筐体10の第一チャンバ11を、同位体気体の混合物で満たす工程と、対応するターゲット気体の各々の物質(M)を通過する透過を同時に計算するために、物質(M)を通過して透過し、第二チャンバ12内に存在する同位体気体を解析する工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】微量ガス漏れ検出分野に於いて改良された質量分析計と方法とが必要である。
【解決手段】質量分析計は、間隙を区画する相互離間した磁極片を含み、かつ前記間隙に於いて磁界を生成する主磁石と、イオンを発生させかつ前記イオンを前記間隙内の前記磁界内部に加速させる、前記間隙外部に位置するイオン源と、前記イオン源により生成され且つ前記磁界により偏向されたイオンのうちの選択種を検出するイオン検出器とを含む。前記イオン検出器は、前記間隙に於いて、前記選択イオン種の自然焦点に位置している。この質量分析計は、微量ガス漏れ検出器に於いて使用してもよい。 (もっと読む)


デバイスは、誘電体を、第1の導電層または基板の上に積層することによって作製される。第2の導電層または構造は、該誘電体層上に重ね合わされる。いくつかのデバイスにおいては、第2の導電層または構造及び該誘電体層を貫通するマイクロキャビティが形成される。他のデバイスにおいて、該マイクロキャビティは、該第1の導電層を貫通する。該第2の導電層または構造および該マイクロキャビティの内面は、第2の誘電体層で被覆される。そして、該マイクロキャビティには、放電ガスが充填される。適切な大きさの時間依存性電位が該導体間に印加され、マイクロプラズマ放電が該マイクロキャビティ内で生成される。これらのデバイスは、該導体が封止されて、該導体を、プラズマへの曝露による劣化から保護するため、寿命の延長を呈することができる。該デバイスのいくつかはフレキシブルであり、該誘電体は、ミラーとして機能するように選択することができる。 (もっと読む)


【課題】分子量の大きな試料分子であってもCIDによる分解を行うことのできる質量分析装置を提供する。
【解決手段】試料をイオン化するイオン化部10、試料イオンを質量分離する質量分離部40、60、質量分離されたイオンを検出する検出部20、及び前記イオン化部10から質量分離部40,60を経て検出部20に至るまでのイオン経路上に設けられた衝突部(コリジョンセル)51を有する質量分析装置において、所定の原子又は分子のクラスターを生成するクラスター生成装置30を設け、該クラスター生成装置30によって生成されたクラスターを衝突部51に導入する。CIDにおける標的ガスとして質量数の大きなクラスターを用いることで、試料イオンの衝突エネルギーを効率よく該イオンの分解に用いることができる。 (もっと読む)


【課題】 封入ガスを高い精度で分析できる分析方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガス封入管1内に封入された封入ガスを分析する封入ガスの分析方法であって、ガス封入管1とガス封入管1よりも内圧が低くされたサンプリング容器5とを配管Pにより連通させてガス封入管1内の封入ガスをサンプリング容器5に移送する移送工程と、ガス封入管1とサンプリング容器5との連通を遮断する遮断工程と、遮断工程の後にサンプリング容器5とガス分析装置8aとを連通させてサンプリング容器5内の封入ガスの分析をする分析工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】 真空装置の各種検査を効率的に行うことが可能な質量分析装置1の提供を目的とする。
【解決手段】 質量電荷比ごとの分圧の測定部12に連結されて測定部12を制御する電気系部14に、操作部30および測定結果の表示部16を設けた。その操作部30には、複数種類の質量電荷比ごとの分圧を切り替え表示する表示切替ボタン32を備えている。また表示部16は、質量電荷比が28の窒素ガスの分圧と質量電荷比が32の酸素ガスの分圧との比率を表示しうるようになっている。 (もっと読む)


【解決手段】ある実施例では、小型化された構造とそれに関連する方法が、マススペクトロメータ又は分析器として機能し、変更が加えられるとイオンジェネレータとして機能する。小型化された構造は、略平板である平行に離間された一対の電極と出射口を有しており、電極には突出する壁があって、これら電極は協同して、イオン生成チャンバーを与える。加えられた磁場に垂直に向いた電場を制御することで、イオンビームは、質量電荷比に基づいて複数のビームに分離されて、装置の出口から出る。装置がマススペクトロメータ又は分析器として機能している場合、イオンコレクタの衝撃が応答して、関連するプロセッサに情報を送る。イオナイザとしての機能を有することが望まれる場合、イオンの出口に隣接して配置されるイオンコレクタは除かれる。
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地層流体試料が、堅牢に支持された、シリコンゴム等の半透膜に曝され、該地層流体からガスと蒸気とを真空チャンバへと分散させ、同時に液体が半透膜を通過するのを阻止する。膜を透過したガスは、残渣ガス分析機によって真空チャンバ内で分析される。イオンポンプ又は吸着剤が真空チャンバに接続されており、真空を維持するようになっている。イオンポンプ又は吸着剤は、前記半透膜の反対側にある油井試料から真空チャンバに分散して入ったガス及び蒸気を真空チャンバから除去する。 (もっと読む)


漏れレート測定装置は、各々のガスのイオン経路(21)が少なくとも1つの可変の作用量によって影響を及ぼされるイオントレース(飛跡)型スペクトロメータ(Bahn−Spektrometer)(8)を有している。質量M4のガスが検出される必要があるが、スペクトロメータの選択度が十分にないために、質量M2又はM3のガスの特性の末端部が、質量M4のガスの検出期間に重畳している場合、作用量を正弦波状に変調し、それに続いて、有効信号をロックイン増幅器で選択することが提案されている。従って、「ウォータベース」(”Wasseruntergrund”)、つまり、測定結果に及ぼす水分の影響の妨害となる作用を、テストガスとしてヘリウムを用いて漏れレートを測定する際に除去することができる。
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