Fターム[2G041FA05]の内容

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Fターム[2G041FA05]に分類される特許

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【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】腎疾患又は腫瘍性疾患の可能性を判定する方法を提供する。
【解決手段】腎疾患又は腫瘍性疾患の疑いがある被験体の生体サンプルにおけるδO−18(δ18O)及び/又はδH−2(δH)の値を測定することと、測定されたδO−18及び/又はδH−2の値と、腎疾患又は腫瘍性疾患を有しない被験体から得られたδO−18及び/又はδH−2の参照値とを比較することと、上記腎疾患又は腫瘍性疾患の疑いがある被験体の生体サンプルにおけるδO−18及び/又はδH−2の値が、腎疾患又は腫瘍性疾患を有しない被験体から得られたδO−18及び/又はδH−2の参照値よりも低い場合に、腎疾患又は腫瘍性疾患の可能性があると判定する。 (もっと読む)


【課題】大気中の各種ガス成分の影響を排除してアルシンをパルス放電型検出器で確実に分析することができるアルシンの分析方法を提供する。
【解決手段】試料ガスを脱水剤に接触させて試料ガス中の水分を除去し、分離カラムで試料ガス中のアルシンを含む分析用ガスと他のガス成分とを分離し、分離した分析用ガスと共に、準安定状態を有する原子からなる第1のガスと、該第1のガスよりイオン化ポテンシャルの低い原子からなる第2のガスとをパルス放電型検出器の放電室に供給し、準安定状態に励起された前記第1のガスが前記第2のガスをイオン化して形成されたプラズマを用いて前記分析用ガス中のアルシンをイオン化し、該イオン化したアルシンのイオン強度を測定することにより、前記試料ガス中のアルシンの濃度を求める。 (もっと読む)


【課題】大気圧下におけるイオン検出を基本とした、検出装置を提供する。
【解決手段】筐体内が大気圧環境下であって、当該筐体内に、外気を筐体内に導入する導入口と、当該導入口によって、筐体内に導入された外気に含まれる荷電粒子の偏向された一部を検出する検出電極と、電圧印加電極とを有し、前記検出電極と前記電圧印加電極は重力方向に向かって並置され、当該検出電極と電圧印加電極とを保持する電極保持部を備え、当該電極保持部は吸水率が0.4以下の材料より形成されていることを特徴とするイオン検出装置。 (もっと読む)


【課題】本発明は、取り扱いやすい標準ガスを用いて容易に校正を行なうことが可能で、かつ分析計を劣化させることなく、間接的に水素化物ガスの濃度を測定可能なガス測定装置、及び水素化物ガスの測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ガスを分析する分析計12と、分析計12の前段に配置されると共に、分析計12と接続され、かつ水素化物ガスと反応することで水素化物が含まれていないガスを発生させる置換剤を有する反応管25と、を含む。 (もっと読む)


【課題】試料ガスおよび/または標準ガスがオープンスプリットを経て分析装置に供給され、キャリアガスを付加することが可能である、同位体比を分析するための方法と、ガスを分析装置に供給する装置とを提供する。
【解決手段】所定のガス流がガス管内で調節可能である、ガスを分析装置に供給する装置であって、供給管80と、少なくとも1本の後続の管97と、供給管80と後続の管97との間に設けられた複数の弁89〜96とを備え、この弁89〜96が互いに並列に接続され、かつ段階的に、すなわちバイナリ式にまたは漸次式に切換え可能である。 (もっと読む)


【課題】熱分析法で、正確な温度の較正が容易に行えるようにする。
【解決手段】分析対象の物質とは異なり、常温〜1000℃の範囲で気体を生じる指標物質を試料に加えた内標準試料を作製する。次に、内標準試料を昇温脱離分析法で分析することで、指標物質より生じた指標気体の昇温脱離スペクトルを取得する。なお、この昇温脱離分析法の分析においては、指標気体の分析とともに分析対象の物質の分析も行う。試料(内標準試料)に分析対象に物質が含まれていれば、指標気体の昇温脱離スペクトルとともに分析対象の物質の昇温脱離スペクトルも得られる。次に、得られた指標気体の昇温脱離スペクトルより、指標物質から指標気体が発生した計測温度を求める。 (もっと読む)


【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置10は、先細りの先端側に第1オリフィス22があり他端側にガス供給管26が接続された筒状体の試料セル20と、先細りの先端側に第2オリフィス52があり他端側に四重極質量分析器62が配設された筒状体のスキマー部51と、をオリフィス側で対向させ減圧室30に内包した状態で配設している。減圧室30は、拡散ポンプ33及びロータリポンプ34で減圧される。試料セル20は、高耐熱性材料(アルミナなど)により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ23を接続管24側から試料セル20に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置10はで、減圧室30を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 (もっと読む)


【課題】界面活性剤中の無機物イオン、とりわけ有機スルホン酸イオンの硫酸イオンの定量分析を高感度および高精度で行う手法を提供する。
【解決手段】有機スルホン酸塩などの界面活性剤中の無機物イオン、例えば、硫酸イオンの定量分析において、ESI(Electrospray Ionization)-MS(Mass Spectrometry)分析法を用い、メタノール・水混合溶液に試料を溶解し、内部標準添加法による所定濃度調製により無機物イオンを高感度および高精度分析法が可能となる。 (もっと読む)


【課題】複雑性を最小限に抑えたかまたは解消したガス分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の真空チャンバ用のガス分析装置は電子処理部を備えており、この電子処理部が、質量スペクトルデータを受け入れ、真空チャンバ内の全圧を示す入力を受け入れ、少なくとも1つのセンサからの外部入力を受け入れ、これら質量スペクトルデータ、真空チャンバ内の全圧、および少なくとも1つのセンサからの外部入力を用いて、少なくとも1つの品質基準に基づき真空品質指数を算出するように構成されている。 (もっと読む)


【課題】低アルコール飲料等のエタノール低濃度試料中のエタノール同位体比を、高精度かつ高感度で、迅速かつ容易に分析可能な方法を提供する。
【解決手段】被検体溶液に含まれるエタノールの同位体比の迅速分析方法は、被検体溶液を、密閉容器中にヘッドスペースとして気相部分を残して密閉し、該気相部分に固相マイクロ抽出(SPME)ファイバーを挿入して、被検体溶液中のエタノールを吸着時間約1時間以内として吸着させることによってサンプルを得、該サンプルをガスクロマトグラフ−燃焼−同位体比質量分析計(GC−C−IRMS)に付して、エタノールの同位体比を質量比として得、これを、同位体既知サンプルより得られた基準値と対比することを特徴とするものである。 (もっと読む)


【課題】窒素濃度の高精度な分析を可能にする金属材料の窒素濃度分析方法および窒素濃度分析装置を提供する。
【解決手段】窒素濃度分析装置10は、収容室11、一次イオン照射装置12、中和電子照射装置13、連通管14、飛行室15および二次イオン検出装置16を有する。収容室11には、金属試料17が収容される。金属試料17の表面には、炭素系物質が付着している。一次イオン照射装置12から金属試料17の表面に向けてパルス状の一次イオンが照射される。これにより、金属試料17からシアン化物イオンが放出される。金属試料17から放出されたシアン化物イオンは、二次イオン検出装置16において二次イオンとして検出される。 (もっと読む)


【課題】 放射線源を使用することなく、特定の金属ガスを検出することのできるイオン化式ガスセンサおよびガス検知システムを提供すること。
【解決手段】 イオン化式ガスセンサは、加熱されて固体の酸化物が生成される金属ガスを検知対象ガスとし、被検査ガスが加熱されて導入される導電性のチャンバと、チャンバ内に存在する空気によってオゾンを発生させるオゾン発生手段と、チャンバ内において生ずるイオン電流を検出する集電極と、チャンバと集電極との間に電位差を与える電圧印加手段とを具えてなり、チャンバ内の空気によってオゾンが発生することにより生ずるイオン電流が前記検知対象ガスに係るガス粒子の存在により減少するその変化量に応じてガス濃度が検出される。ガス検知システムは、上記ガスセンサと、熱分解器と、ガス導入手段とを備えてなる。 (もっと読む)


【課題】CO貯留層からの漏洩があることを的確に判定する。
【解決手段】海上部30は、船舶に搭載されて測定者によって直接制御され、海中部20を遠隔操作する。海中部20は、漏洩COを検知すべき海中に投入される。気泡等103が存在すると判定された、あるいはPHが所定の値以下であった場合には、海中制御部22又は海上制御部32は、COが存在する可能性があると認識する。この場合、海中制御部22は、サンブリング部(試料採取部)24にこの部分の海水を採取させる。第1の分析部34では、CO成分が実際にこの中に存在するか否かが判定される。ここでCOが検出された場合には、第2の分析部35は、採取されたCOに対して質量分析を行い、その13C/12Cの存在比率(同位体比)を算出する。海上制御部32は、この同位体比が、ある所定の値以下であるか否かを判定する。 (もっと読む)


本発明は、イオン移動度分光計システムを構成する方法、特に、標的アナライトを検出するためのイオン移動度分光計システムを構成する方法に関する。本方法は、標的アナライトの換算した移動度定数値Kを概算するための量子化学的手法を用いることを含む、検出アルゴリズムに基づくイオン移動度分光計システムを構成する。
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【課題】本発明の課題は、感度の向上に加えてフラグメンテーションが起こらない中性粒子質量分析装置及び分析方法を提供することである。
【解決手段】分析試料に粒子ビームを照射する手段と、分析試料表面近傍から放出される電気的に中性な粒子をポストイオン化するエレクトロスプレー手段と、ポストイオン化された該中性な粒子を質量分析手段へ導くイオン輸送手段とを備えた中性粒子質量分析装置及び分析試料に粒子ビームを照射し、分析試料表面近傍から放出される電気的に中性な粒子をエレクトロスプレーによりポストイオン化し、ポストイオン化された該中性な粒子を質量分析手段へ導くことを特徴とする中性粒子の質量分析方法。 (もっと読む)


【課題】試料ガスに含まれるガス組成を高精度で測定することのできるガス分析装置を提供する。
【解決手段】試料ガスに含まれる特定の質量電荷比を有する特定ガスの濃度を測定する非分散型赤外線濃度計(23)、試料ガスに含まれる、特定ガスを含む複数種類のガスの質量を測定する質量分析計(24)、非分散型赤外線濃度計(23)により測定された特定ガスの濃度と質量分析計(24)により測定された複数種類のガスの質量とに基づいて、試料ガスに含まれるガスの濃度を演算する演算部(30)、を備える。演算部(30)は、特定ガスの濃度を特定ガスの質量に換算し、複数種類のガスの存在量のうち、該特定ガスの質量電荷比について測定された存在量から、換算された特定ガスの存在量を減算して、該特定ガスと同じ質量電荷比を有する異種類のガスの存在量を演算する。 (もっと読む)


【課題】アンモニア含有ガス中に含まれる二酸化炭素を高精度で分析することができる方法を提供する。
【解決手段】アンモニアを含む試料ガス中の二酸化炭素を分析するにあたり、前記試料ガスを、二酸化炭素とアンモニアとを分離する酸化ホウ素、ほう酸、ホウ素化物、硫酸亜鉛、燐酸アルミニウム化合物、硫酸鉄、塩化ナトリウム、臭化カリウム、硫酸アルミニウムの少なくともいずれか一種を含む分離剤3に接触させた後、アンモニアを除去する塩基性炭酸銅、水酸化銅、硫酸銅、硝酸銅、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛、燐酸アルミ、固体燐酸、塩化カルシウム、銅トリメシン酸錯体の金属酸化物の少なくともいずれか一種を含む除去剤4に接触させ、次いで分析計に導入して二酸化炭素を分析する。 (もっと読む)


【課題】NOxやSOxを含むセメント製造設備からの排ガスの臭気を正確に測定するとともに、臭気指数による管理を可能にする。
【解決手段】セメントキルン4からの排ガスを移送する配管12に、排ガスの一部を抽出するサンプリング部13が設けられるとともに、サンプリング部13に、排ガス中の全炭化水素量を測定する全炭化水素測定器14と、排ガス中の一酸化炭素量を測定する一酸化炭素量測定器15とが設けられ、全炭化水素測定器14に、その測定値を一酸化炭素量測定器15の測定値によって補正する補正手段16と、その補正後の全炭化水素量から排ガスの臭気指数を推定する臭気指数推定手段17とが設けられている。 (もっと読む)


【課題】質量分析計を用いた膜性能のリアルタイムモニタリング方法及びその装置を提供する。
【解決手段】被験対象の分離膜の透過特性及び/又は分離性能を測定及び/又はモニタリングする方法であって、試験流体を分離膜に供給し、標準ガスを被験対象の分離膜の透過側に供給し、透過側の成分の一部を分析手段に導入し、膜透過分離試験中の分離膜の透過挙動を連続的に測定、監視、及び/又はモニタリングするとともに、分離膜の透過特性及び/又は分離性能の外部因子依存性を迅速に測定及び/又はモニタリングすること、又は、これらに加えて、更に、膜透過分離試験における非定常状態における分離膜の透過特性及び/又は分離性能を測定及び/又はモニタリングすること、を特徴とする分離膜の透過特性及び/又は分離性能を測定及び/又はモニタリングする方法、及びその装置。 (もっと読む)


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