Fターム[2G041GA17]の内容

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Fターム[2G041GA17]に分類される特許

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【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するA工程と、液中のSiの質量数28、Pの質量数31およびPO不純物の質量数47の質量スペクトル強度を計測するB工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するC−1工程、この固形物中のSi、P、PO元素の真空中でのエネルギー強度を測定するC−2工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するC−3工程、C−3工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記B工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のSi、P,POの真の不純物量を求める。 (もっと読む)


【課題】酸化防止剤を含有する樹脂材料の劣化度或いは寿命を比較的短時間で判定、評価、検査する方法を提供すること。
【解決手段】酸化防止剤を含有する樹脂材料の試料を準備し、
該試料のガスクロマトグラフィー・質量分析法によりマススペクトルを計測し、
該マススペクトルからトータルイオンクロマトグラムのピーク面積を求め、
該ピーク面積から酸化防止剤、その分解物及び/又は変性物(以下、測定対象物と称する)の樹脂材料中の濃度を求め、
前記面積から、予め求められた指標と比較して樹脂材料の劣化度を判定する、
ことを特徴とする樹脂材料の劣化度判定方法。 (もっと読む)


【課題】本発明は、皮膚に浸透した皮膚外用剤の成分を迅速に分析することが可能な分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】分析方法は、皮膚に浸透した皮膚外用剤の成分を分析する方法であって、皮膚外用剤を皮膚に塗布する工程と、複数の粘着テープを用いて、皮膚の皮膚外用剤が塗布された領域から複数層の角層を剥離する工程と、DARTイオン源200を用いて、剥離された複数層の角層から生成したイオンを順次質量分析計300に導入して質量分析する工程を有する。 (もっと読む)


【課題】イオントラップで質量分析を行なう場合に、空間電荷の影響を補正し、感度とダイナミックレンジを両立する。
【解決手段】イオン源で試料をイオン化する工程と、イ
オントラップにイオンを蓄積する工程と、前記イオント
ラップから質量選択的にイオンを排出して検出器で検出
し、質量スペクトルを取得する工程を有し、前記質量ス
ペクトルの質量軸を、各イオンが排出される時点で前記
イオントラップ内に蓄積されているイオン量に基づいて
補正する。 (もっと読む)


【課題】本発明では、噴霧された試料溶液を効率良く気化させることにより、微細な帯電液滴を生成させ、試料のイオン化効率を向上させ、イオン強度の高く、大きな液滴を軽減させることにより、検出感度の高い質量分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、試料溶液を成分毎に分離する液体クロマトグラフ分離手段と、液体クロマトグラフ分離手段で分離されて溶出する試料溶液を液滴として噴霧する試料噴霧部と、液滴に帯電(帯電液滴)させてイオンを生成するイオン化生成手段と、イオンを導入して質量分離する質量分析部と、帯電液滴に含まれる溶媒を除去する脱溶媒部と、を有する液体クロマトグラフ質量分析装置において、脱溶媒部が帯電液滴が流通する脱溶媒流通室と、脱溶媒流通室を加熱する加熱手段と、脱溶媒流路室に設けた螺旋状の液滴案内流路を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明により、高感度でかつフラグメンテーションの少ないイオン化をハイスループットで行うことができる。
【解決手段】 試料を配置させる試料配置部材と、試料配置部材の導入口と試料イオンを発生させるイオン源とを備えたイオン化室と、試料イオンの分析をする質量分析部を有する真空チャンバーと、イオン化室と真空チャンバーとの間に設けられた開閉機構とを有し、開閉機構は、イオン化室内に試料配置部材が導入された後、閉から開への状態に制御されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】固体試料中に存在する成分を、良好な検出下限で高い確度および高い精度で定量できるようにする。
【解決手段】ステップS103で、第1測定既知濃度信号に対する第2測定既知濃度信号の関係により第1昇温脱離分析の測定結果に対する第2昇温脱離分析の測定結果の関係を示す感度補正係数を求め、ステップS104で、標準固体試料と同じ材料から構成されて未知の濃度で成分が含まれている測定対象の測定対象固体試料に対して第1昇温脱離分析を行い測定未知濃度信号を得、ステップS105で、測定未知濃度信号と感度補正係数とにより補正未知濃度信号を求める。次に、ステップS106で、第2測定既知濃度信号に対する既知の濃度の関係をもとに、補正未知濃度信号から測定対象固体試料に含まれている成分の濃度を求める。 (もっと読む)


【課題】樹脂中の添加剤の定量分析において、添加剤を樹脂中に含有させた樹脂の標準試料を用いることなく、樹脂中に含有する添加剤を定量する。
【解決手段】樹脂中に含有する添加剤を熱脱着−ガスクロマトグラフ質量分析によって定量する定量方法であり、分析試料に含有され定量分析対象である添加剤と同種の添加剤および樹脂を含有する標準試料を作成し、作成した標準試料を用いて分析試料に含有される添加剤を定量する。標準添加試料作成工程と、標準添加試料分析工程と、検量線作成工程と、分析試料分析工程と、定量工程の各工程を備え、標準添加試料作成工程、標準添加試料分析工程および検量線作成工程によって、分析試料に含有する添加剤や樹脂の種類に合わせて標準添加試料を作成し、標準添加試料を用いて樹脂中の添加剤の分析に用いる検量線を作成する。分析試料分析工程および定量工程によって、前記工程で作成した検量線を用いて分析試料に含有される添加剤を定量する。 (もっと読む)


【課題】大気圧下において、イオン化効率にきわめて優れ、微量の測定試料を高感度で分析することができる質量分析機器用試料イオン化装置を提供すること。
【解決手段】本発明の質量分析機器用試料イオン化装置は、薄層クロマトグラフィー板上の所定の展開箇所に熱風を当てることで前記所定の展開箇所から測定試料を脱離させる熱風加熱手段と、上記脱離後の測定試料をイオン化するためのイオン化手段とを備えることを特徴としている。 (もっと読む)


【課題】RoHS規制対象物質であるPBBとRoHS規制対象物質ではないTBBPAとを、簡便かつ迅速に識別することのできる臭素系難燃剤の判定方法およびプログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】イオン付着型質量分析装置で得られたデータを解析するデータ解析装置で実行される臭素系難燃剤の判定方法であって、第1判定工程と判定工程とを含む。第1判定工程では、第1判定手段が、第1の質量数におけるピーク強度に対する、第2の質量数におけるピーク強度の比である第1ピーク強度比が、第1の範囲内であるか否かを判定する。判定工程では、判定手段が、前記第1ピーク強度比が前記第1の範囲内である場合に、被検査体であるサンプルは規制対象ではない臭素系難燃剤を含んでいると判定する。 (もっと読む)


【課題】 試料から脱離した分析対象のガスのみを高精度に分析できる昇温脱離ガス分析装置を提供する。
【解決手段】 赤外線発生ランプ32により試料ステージ30を介して試料を加熱し、試料から脱離したガスを四重極質量分析計60および四重極質量分析計72によって分析する。四重極質量分析計60では、試料からの脱離ガスを高感度に測定する。四重極質量分析計72では、測定室12からバルブ44および固定オリフィス70を介して一定量の脱離ガスが、銅筒104の冷却機能により、80〜130Kの任意の温度になり、水がトラップされ、銅筒104内には開口部104aを介して水以外の試料の脱離ガスのみが流入する。そのため、銅筒104内の四重極質量分析部102によって、水の影響を除去して試料の脱離ガスのみを高精度に分析される。 (もっと読む)


【課題】
デバイス等の不良原因となる数μm程度の有機微小異物をSEM中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
SEMチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、SEM中で観察した異物をSEMの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またEDXとの併用で無機/有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 外部電源が無い場所や移動しながらでも、環境負荷ガスを高感度に検出する。
【解決手段】 バッテリーボックス20と環境測定装置30をワンボックスカー10に載せる。環境測定装置30は、一つのフレームにより車内に固定される。環境測定装置30は、バッテリー21又は外部電源からの電力の供給を受けて動作する。環境測定装置30では、レーザー発生部31で発生した紫外光35を真空紫外光発生部33で真空紫外光37に変換してイオン化部38に導入する。イオン化部38には大気ガス導入部50で取り込まれた測定対象ガスも導入する。イオン化部38に導入された測定対象ガスは真空紫外光37によりイオン化され、飛行時間型質量分析部34でイオン73の質量スペクトルを測定する。 (もっと読む)


【課題】熱分析法で、正確な温度の較正が容易に行えるようにする。
【解決手段】分析対象の物質とは異なり、常温〜1000℃の範囲で気体を生じる指標物質を試料に加えた内標準試料を作製する。次に、内標準試料を昇温脱離分析法で分析することで、指標物質より生じた指標気体の昇温脱離スペクトルを取得する。なお、この昇温脱離分析法の分析においては、指標気体の分析とともに分析対象の物質の分析も行う。試料(内標準試料)に分析対象に物質が含まれていれば、指標気体の昇温脱離スペクトルとともに分析対象の物質の昇温脱離スペクトルも得られる。次に、得られた指標気体の昇温脱離スペクトルより、指標物質から指標気体が発生した計測温度を求める。 (もっと読む)


【課題】有機半導体デバイスの製造に適した昇華速度および純度(不純物酸素量)を有するフラーレン精製物およびその製造方法を提供する。
【解決手段】720℃における昇華速度が50μg/min以上であり、かつ、酸素含有量が80重量ppm以下であるフラーレン精製物。該フラーレン精製物は、原料フラーレンを730℃以上の温度に加熱して昇華させ、該加熱温度よりも低い析出温度にて、フラーレン精製物を析出させることにより製造することができる。 (もっと読む)


【課題】検出する試料を迅速に効率よく試料分析装置に導入することができ、検出速度を向上させて大量の検査を短時間で行うこと。
【解決手段】試料分析を行う質量分析装置に導入させるための試料を切符9から採取する試料採取装置であって、内部を通過する切符9に付着した試料を気化させる気化容器本体と、一端が気化容器本体内に開口し、他端が質量分析装置側に流通可能に接続される試料引込み流路241とを備え、気化容器本体の内面には、試料引込み流路241の試料引き込み口245と切符9とを離間させる台形状凸部253aが試料引き込み口245面に沿って設けられている試料採取装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置10は、先細りの先端側に第1オリフィス22があり他端側にガス供給管26が接続された筒状体の試料セル20と、先細りの先端側に第2オリフィス52があり他端側に四重極質量分析器62が配設された筒状体のスキマー部51と、をオリフィス側で対向させ減圧室30に内包した状態で配設している。減圧室30は、拡散ポンプ33及びロータリポンプ34で減圧される。試料セル20は、高耐熱性材料(アルミナなど)により取り外し可能に配設されており、試料ホルダ23を接続管24側から試料セル20に挿入することにより試料を配置する。この発生気体分析装置10はで、減圧室30を減圧することにより対向した両オリフィスの間の試料ガスの移動を分子流領域で行うことが可能であり、試料ガスの不要な拡散を抑制可能である。 (もっと読む)


【課題】加熱して発生したガスの分析精度をより高める。
【解決手段】発生気体分析装置10は、先端側に第1オリフィス22があり他端側にガス供給管26が接続されたクヌッセン型の試料セル20を取り外し可能に装着する。また、試料を配置した試料セル20へガス供給管26を介してガスを供給可能であり、この試料セル20を内包した減圧室30の内包空間を拡散ポンプ33及びロータリポンプ34によって減圧可能である。そして、試料セル20を加熱し試料から生成した試料ガスを、第1オリフィス22、内包空間、第3オリフィス72及び第2オリフィス52を介して検出器が配設された測定室50へ導入してこれを測定する。このように、試料セル20が内包されている内包空間が減圧されているから、減圧室30内にガス成分が残留するのを抑制可能であり、試料セル20を加熱した際に減圧室で残留成分のガスが発生しにくい。 (もっと読む)


【課題】 イオンの真空部への導入損失率を低減し、感度を上昇させる。
【解決手段】 バリヤー放電、および、バリヤー放電で生じた励起分子またはイオンと試料との反応による試料のイオン化を、大気圧よりも低圧下で行う。 (もっと読む)


【課題】
デバイス等の不良原因となる数μmの難揮発性の有機微小異物を高感度に分析できる熱分解質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
加熱プローブ2によって気化した試料をイオン源4に導入し,イオン化された試料を質量/電荷比ごとに分離して検出する質量分析技術において,加熱プローブ2を筒型の気体捕集機構3で覆い,気化した試料を気体捕集機構3によって効率よくイオン源4へ導くことにより,従来は拡散して無駄になっていた試料成分も分析に寄与できるようにした。これにより従来より高感度でS/Nのよい質量分析が可能となる。 (もっと読む)


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