濃度の高い被験試料をイオン気化した分析装置（１０）のイオン化室に、イオン導入量制御手段（８）を設け、イオン引出電極（９）に導入する被験試料イオンの量を制御するため、質量スペクトルの分析および吸収・発光・散乱スペクトルの分析を略同時に行うことができる分析装置を提供することができる。さらに、スプレイヤー（１０４）に導入される前の上記被験試料溶液を冷却する低温浴（１０６）と、上記スプレイヤーおよび、上記スプレイヤー（１０４）に導入された上記被験試料溶液を冷却する、上記スプレイヤーとは独立した構造の冷却ガス導入管（１０８）とを備えことにより、高電圧印加時における被験試料の加熱を効果的に抑制することが可能となることから、極低温下でのみ安定な被験試料を用いた場合であっても、質量スペクトル分析と吸収・発光・散乱スペクトル分析とを略同時に行うことができる。 （もっと読む）