Array ( [0] => その他の電気的手段による材料の調査、分析 [1] => 装置部品 [2] => 流路系の構成 [3] => 排気流路 ) 装置部品 | 流路系の構成 | 排気流路
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Fターム[2G041GA22]の内容

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Fターム[2G041GA22]に分類される特許

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【課題】本発明の好ましい実施形態では、真空チャンバは、ターボ分子ポンプで排気され、フォアライン排気は、隔膜ポンプによって提供される。そして、回転ポンプの使用を避けることによって、システムの全体のサイズおよび重量は、かなり低減でき、加えて、衝突冷却として周知の現象が、期待されるよりもはるかに低い圧力で、小型イオンガイドで高効率で生じる。
【解決手段】大気圧イオン化源に結合できる小型質量分析計が、表現される。イオンは、大気圧または低真空の領域から小さなオリフィスを通り抜け、それらが非常に短い差動排気イオンガイドを通過するとき、効率の良い衝突冷却を受ける。低エネルギーイオンの狭いビームは、小さな開口を通り抜けて、質量分析器を含む別個のチャンバに入る。 (もっと読む)












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