【課題】プロダクトイオンの運動エネルギーの圧縮を可能とするタンデム型飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】第１の飛行時間型質量分析装置と第２の飛行時間型質量分析装置の間に、両
飛行時間型質量分析装置のイオン軌道を連結し、イオンの運動エネルギーを圧縮する反射場から成るインターフェイスを設けた。２台の飛行時間型質量分析装置のうち、少なくとも一方は、らせん軌道型飛行時間型質量分析装置である。 （もっと読む）

【課題】液量が多い条件では流路として作用し、液量が少ない条件ではチャネル内に各々独立に液滴を安定的に保持可能なウェルとして作用するチャネルを実現する。
【解決手段】試料を溶解した溶液が満たされるチャネル３０４を備え、チャネル３０４が気密に閉じられた状態でチャネル３０４に沿って電圧を印加して電気泳動を行って試料をチャネル３０４内で分離し、電気泳動の後、チャネル３０４が気体に開放された状態でチャネル３０４に沿ってレーザーを走査して試料の質量分析を行うために用いられる。チャネル３０４の底面には、溶液を液滴として保持するためのパターンが形成され、このパターンは、親水性領域を疎水性領域とチャネル３０４の側壁５０１とで囲むパターンにされている。 （もっと読む）

質量分析のためにイオン源から質量分析計まで運ばれるイオンには、多くの場合、イオン源から生じる、光子、中性粒子およびクラスタまたはエアロゾルイオンなどのバックグラウンド粒子が伴う。バックグラウンド粒子は、質量分析計検出器までの見通し線の存在する圧力のより高い領域における、バックグラウンド気体分子との衝突中の散乱およびイオンの中性化によっても生じる。いずれの場合にも、そのようなバックグラウンド粒子は、質量スペクトルにノイズを発生させる。複数の真空ステージを通じて効率的にイオンを運ぶように多重極イオンガイドが構成されるとともに、イオン源において、またイオン輸送の経路に沿って生じるバックグラウンド粒子が検出器へ到達することを妨げることによって質量スペクトルにおける信号対雑音を改良する、装置および方法を提供する。
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【課題】大気圧下で特定範囲のイオン移動度のイオンを通過させる低コストでイオン透過率の高いイオン移動度分離フィルターを実現する。
【解決手段】イオン源と、ガス流れ方向と直流電界方向が対向した第１のドリフト領域と、前記第１のドリフト領域におけるガス流れ方向と異なるガス流れ方向を有し、ガス流れ方向と直流電界印加方向が対向した第２のドリフト領域と、前記第１のドリフト領域と前記第２のドリフト領域との間にイオンを進行させる電界を有する中間領域と、前記第１の領域及び前記第２の領域を通過したイオンを検出する検出器を有する。
【効果】従来技術に比べ、低コストでイオン透過率の高いイオン移動度分離フィルターが実現する。 （もっと読む）

【課題】質量電荷比ごとにイオン電流の測定範囲を調整するのに要する時間を削減し、測定時間の短縮を図る。
【解決手段】イオン電流の測定値とともに該イオン電流測定範囲を質量電荷比ごとにメモリ５に記録し、該記録に基づいて、イオン電流値の昇順または降順で各質量電荷比についてのイオン電流測定を行うとともに各質量電荷比についてのイオン電流測定範囲を設定するＣＰＵ４を備える。 （もっと読む）

【課題】低真空雰囲気中においても高い輸送効率で以てイオンを偏向させ、光や中性粒子を確実に除去する。
【解決手段】直方体の互いに平行な４辺に沿って４本のロッド電極１１、１２、１３、１４を配置し、第１、第２ロッド電極１１、１２を含む面をイオン入射面Ｐｉ、第１、第４ロッド電極１１、１４を含む面をイオン出射面Ｐｏとする。各ロッド電極１１〜１４にそれぞれ所定の直流電圧を印加することで、４本のロッド電極１１〜１４で囲まれる空間にイオンの軌道を略９０°曲げる直流電場を形成し、さらに対向する２本のロッド電極１１、１３と他の２本のロッド電極１２、１４とに互いに逆相の高周波電圧を印加することで形成する高周波電場により、イオンを振動させて束縛する。これにより、イオンが残留ガスに衝突してその進行方向を変えても発散することを抑制することができ、屈曲した偏向軌道に沿って高い効率でイオンを輸送して後段に送ることができる。 （もっと読む）

【課題】製造歩留まりを低下させることなく，化合物半導体ウエハの評価を行うことができる，化合物半導体ウエハの評価方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば，半導体基板上方に化合物半導体積層体を有する化合物半導体ウエハの特定部位の周縁部分をエッチングして前記特定部位を柱状に加工し，この柱状の特定部位に一次イオンビームを照射して二次イオンを放出させ，放出された二次イオンの質量分析を行い，前記質量分析の結果に基づいて化合物半導体ウエハの評価を行う工程を含む化合物半導体ウエハの評価方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】 導出されるキャリアガス中の微粉体物又はガス化物の元素組成比を時間の経過に対して安定化させることができる試料室、レーザアブレーション装置及びレーザアブレーション方法を提供する。
【解決手段】 試料室４０は、レーザアブレーションの対象となる試料Ｓが配置されると共に、試料Ｓに対するレーザアブレーションによって生じる微粉体物又はガス化物を搬送するためのキャリアガスＧが流通する内部空間４２を有している。内部空間４２を画定する側壁面４３には、試料Ｓが配置される位置に対して一方の側Ａに位置する複数のキャリアガス導入口４４、及び試料Ｓが配置される位置に対して他方の側Ｂに位置するキャリアガス導出口４５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガスや大気中ガスの成分組成を測定する際に、被測定ガス中の特定注目分子をオンサイトで連続的にかつ高感度で定量分析できるガス分析用可搬型Ｊｅｔ−ＲＥＭＰＩ装置を提供する。
【解決手段】ガス導入系およびイオン光学系を一体型の構造とし、単一真空排気系を備えて差動排気するとともに、イオン化室に、被測定ガスを飛行時間型質量分析計の方向に噴射するためのオリフィスノズルを内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の対向電極と、イオンを通過させるためのピンホールを有する仕切板を内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の引き出し電極を有し、かつ前記引き出し電極の先端から前記仕切板までの範囲の電極部材の一部または全てをメッシュ構造とするガス分析用可搬型Ｊｅｔ−ＲＥＭＰＩ装置。 （もっと読む）

【課題】飛行時間型質量分析装置において、飛行時間，飛行距離および検出器の応答時間等により決定される分解能により一定の質量数以上において制限される。一方、飛行時間，飛行距離などを変更することは、測定の際のDuty Cycleおよび感度を低下させる。
【解決手段】イオンを偏向させる偏向電極と位置検出器を備え、飛行時間と検出器での分布により構成される質量分布を得ることにより、特定質量数の分解能を向上させることを特徴とした高分解能飛行時間型質量分析装置。 （もっと読む）

【課題】イオン源で生成された電子がイオンとともにイオン光学系を通過して四重極質量フィルタに入射するとバックグランドノイズの原因となるおそれがある。
【解決手段】イオン源であるイオン化室４を出発したイオンを四重極質量フィルタ９まで輸送するイオン光学系７の静電場に、偏向磁場を重畳する磁場形成手段１１を配置する。偏向磁場を通過するイオンや電子にはローレンツ力が作用するが、イオンに比べて格段に質量が小さな電子は軌道を曲げてイオン光学系７を通過し得ないのに対し、イオンは磁場の影響を殆ど受けずに四重極質量フィルタ９に到達する。これにより、イオンの輸送効率を損なわずに四重極質量フィルタ９の手前で不要な電子を排除することができる。 （もっと読む）

【課題】改良された質量分析計および質量分析の方法を提供すること。
【解決手段】期間ΔＴ₁におけるゼロ透過率動作モードと期間ΔＴ₂における非ゼロ透過率動作モードとを繰り返し切り換えてイオンビームを減衰させるイオンビーム減衰器を含む質量分析計が開示されている。イオンビームの減衰の程度は、マークスペース比ΔＴ₂／ΔＴ₁を変化させることによって変化させることができる。イオンビーム減衰器は、イオンをパケットまたはパルスで放出し得るが、イオンのパケットまたはパルスは、イオンビーム減衰器の下流に配置された比較的高圧のイオンガイドまたはガス衝突セルによって、連続したイオンビームに変換され得る。 （もっと読む）

試料成分のクロマトグラフィー分離のための移動固体相中の粒子が開示される。これら粒子は、心部と被覆部を含み、該心部は少なくとも1種の分析試料と相互作用し、そして、該被覆部は、本質的に、液中凝集又は一般凝集を防ぐものである。 （もっと読む）

イオンガイドを備えた質量分析計を開示する。前記イオンガイドは、壁を有する中空で管状の導体（１）を備えている。前記管状の導体（１）の壁に、１以上の電極が設けられている。出口開口（３）が、１以上の電極（２）の下流で、前記管状の導体（１）の壁に設けられている。前記１以上の電極（２）にＡＣまたはＲＦ電圧を印加し、前記管状の導体（１）の壁と１以上の電極（２）との間に、ＤＣ電位差を保持する。ＤＣ電圧勾配と、電極（２）に印加するＡＣまたはＲＦ電圧との組み合わせにより、イオンは、好ましくは前記１以上の電極（２）に近接した領域に径方向に閉じ込められる。前記管状の導体（１）の内側と管状の導体（１）の外側との間に圧力勾配を保持することにより、かつ／または出口開口（３）を通してイオンを抽出する働きをするＤＣ電場を保持することにより、出口開口（３）を通してイオンガイドからイオンを抽出することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】著しいイオン損失か又は電力損失を生じさせることなく、イオンを効率よく輸送する、質量分析計システムのための多重極装置を提供する。
【解決手段】本発明は、質量分析計システムのための多重極装置を提供する。一般に、多重極装置は、複数の導電性ロッドを含む。該複数の導電性ロッドは、導電層と、抵抗層と、該導電層と該抵抗層との間の絶縁層とを含む。本発明は、イオン輸送、イオン断片化、及びイオン質量フィルタリングを含む様々な用途において使いみちを見いだせる。従って、本発明を様々な質量分析計システムにおいて用いることができる。 （もっと読む）

複数の飛行経路を有するＴＯＦ質量分析器が記載される。このＴＯＦ質量分析器は、一団のイオンを生成し、そしてこれらの一団のイオンを加速する、パルス化イオン源を備える。イオン偏向器は、パルス化イオン源が一団のイオンを生成した後の、第１の所定の時間間隔および第２の所定の時間間隔の各々にわたって、イオンの第１の群を、このイオンの一団から第１のイオン経路へと方向付け、そしてイオンの第２の群を、第２のイオン経路へと方向付ける。第１のＴＯＦ質量分離器が、イオンの質量対電荷比に従って、イオンの第１の群を分離し、そして第１の検出器が、これらのイオンの第１の群を受容するために位置決めされる．第２のＴＯＦ質量分離器が、イオンの質量対電荷比に従って、イオンの第２の群を分離し、そして第２の検出器が、これらのイオンの第２の群を受容するように位置決めされる。さらなるイオン経路が使用され得る。
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質量分析計に使用されるイオン源で、電子ビームを放出する電子エミッタアセンブリ、イオン化室、電子レンズおよび少なくとも１つの電極を具備する。前記電子エミッタアセンブリは、基板に固定されており前記電子ビームを放出するカーボンナノチューブ束と、前記電子ビームの放出を制御する第１制御格子と、前記電子ビームのエネルギーを制御する第２制御格子を含む。前記イオン化室は、前記電子ビームを導入させる電子ビーム入口と、試料を導入する試料入口と、イオン化試料分子を出すイオンビーム出口を含む。前記電子レンズは、前記電子エミッタアセンブリと前記イオン化室の間に配置され、前記電子ビームを集束する。前記少なくとも１つの電極は、前記イオンビーム出口の近傍に配置され、前記イオン化室から出る前記イオン化試料分子を集束する。

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漏れレート測定装置は、各々のガスのイオン経路（２１）が少なくとも１つの可変の作用量によって影響を及ぼされるイオントレース（飛跡）型スペクトロメータ（Ｂａｈｎ−Ｓｐｅｋｔｒｏｍｅｔｅｒ）（８）を有している。質量Ｍ４のガスが検出される必要があるが、スペクトロメータの選択度が十分にないために、質量Ｍ２又はＭ３のガスの特性の末端部が、質量Ｍ４のガスの検出期間に重畳している場合、作用量を正弦波状に変調し、それに続いて、有効信号をロックイン増幅器で選択することが提案されている。従って、「ウォータベース」（”Ｗａｓｓｅｒｕｎｔｅｒｇｒｕｎｄ”）、つまり、測定結果に及ぼす水分の影響の妨害となる作用を、テストガスとしてヘリウムを用いて漏れレートを測定する際に除去することができる。
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