【課題】測定感度および測定精度が高く、効率の良い、半導体ウェハプロセス用希ふっ酸溶液の不純物分析方法を提供すること。
【解決手段】希ふっ酸溶液を浸漬槽から採取するＡ工程と、液中のＳｉの質量数２８、Ｐの質量数３１およびＰＯ不純物の質量数４７の質量スペクトル強度を計測するＢ工程と、採取した希ふっ酸溶液を乾燥濃縮して固形化するＣ−１工程、この固形物中のＳｉ、Ｐ、ＰＯ元素の真空中でのエネルギー強度を測定するＣ−２工程と、前記固形物の真空中での質量スペクトル強度を計測するＣ−３工程、Ｃ−３工程で求めた目的の不純物の質量スペクトル強度とマトリックス質量のスペクトル強度とを合わせたスペクトル強度と目的の不純物の質量スペクトル強度との強度比を求め、この強度比によって前記Ｂ工程で求めた質量スペクトル強度を補正して、希ふっ酸溶液中のＳｉ、Ｐ，ＰＯの真の不純物量を求める。 （もっと読む）

【課題】従来法である硫酸バリウム法よりも短時間で、作業者の主観や技量、熟練度に依存することなく高い再現性をもって、しかも被検試料の塩化物イオン濃度が希薄な場合であっても、^３６Ｃｌ含有塩化物イオンを^３６Ｓ含有硫酸イオンから確実且つ精度よく分離する。
【解決手段】対立イオンが塩化物イオン以外の陰イオンからなる強塩基性陰イオン交換樹脂を充填剤として被検試料を対象にカラムクロマトグラフィーを行うことにより、被検試料中の^３６Ｃｌ含有塩化物イオンを^３６Ｓ含有硫酸イオンから分離するようにした。 （もっと読む）

【課題】生体試料中に含まれるリン脂質を除去することで、イオン化時に起こりうる目的成分に対するイオンサプレッションを抑制し、簡便かつ高精度な質量分析を可能とするリン脂質の除去方法を提供することにある。
【解決手段】加水分解酵素ホスホリパーゼＤ又はホスホリパーゼＣを作用させて試料溶液中のリン脂質を分解した後、固相抽出法や液体クロマトグラフにより酵素やリン脂質の分解生成物を除去することで、質量分析法で問題となるイオンサプレッションを抑制し、高精度な測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】揮発性が低い有機化合物であっても簡便に測定することができる非揮発性有機ハロゲン化合物の検出方法を提供すること。
【解決手段】非揮発性有機ハロゲン化合物を含む検水を弱酸性下〜アルカリ性下で酸化処理して、非揮発性有機ハロゲン化合物を分解して揮発性有機ハロゲン化合物を生成し、その後、パージトラップ法もしくはヘッドスペース法を用いて前記揮発性有機ハロゲン化合物を気相に移行し、該気相中の有機ハロゲン化合物を電子捕獲型検出器（ＥＣＤ）又は水素炎イオン化検出器（ＦＩＤ）で検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコン溶液の量や分析の対象の形状にかかわらず適用でき、短時間で容易に分析でき、しかも高精度で信頼性の高いシリコンウェーハ中の汚染物の分析方法を提供する。
【解決手段】溶解されたシリコンウェーハを含むシリコン溶液７を製造用シリコンウェーハ８上に載置する載置工程と、前記製造用シリコンウェーハ８上で前記シリコン溶液７を加熱することにより、前記シリコン溶液７中のシリコン成分を除去する除去工程とを備えるシリコンウェーハ６中の汚染物の分析方法とする。 （もっと読む）

【課題】アンモニア含有ガス中に含まれる二酸化炭素を高精度で分析することができる方法を提供する。
【解決手段】アンモニアを含む試料ガス中の二酸化炭素を分析するにあたり、前記試料ガスを、二酸化炭素とアンモニアとを分離する酸化ホウ素、ほう酸、ホウ素化物、硫酸亜鉛、燐酸アルミニウム化合物、硫酸鉄、塩化ナトリウム、臭化カリウム、硫酸アルミニウムの少なくともいずれか一種を含む分離剤３に接触させた後、アンモニアを除去する塩基性炭酸銅、水酸化銅、硫酸銅、硝酸銅、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛、燐酸アルミ、固体燐酸、塩化カルシウム、銅トリメシン酸錯体の金属酸化物の少なくともいずれか一種を含む除去剤４に接触させ、次いで分析計に導入して二酸化炭素を分析する。 （もっと読む）

本発明は、質量分析法による改善された分析のための新規の添加剤を提供する。より特定的には、アスコルビン酸は質量スペクトルに通常存在する付加物の存在を低減または除去することが見出された。本発明の改善されたプロセスおよび組成物は、質量分析法によって分析されるサンプルに対する正確さ、感度およびスループットの増大を可能にする。一局面においては、質量分析法によって分析物を分析するための方法が提供され、この方法は、サンプルを質量分析計に導入するステップであって、該サンプルは分析物と、アスコルビン酸またはその塩、互変異性体もしくは類似体とを含む、ステップ、ならびに、質量分析法によって該サンプルを分析するステップを含む。 （もっと読む）

質量分析を用いてサンプル中のジヒドロキシビタミンＤ代謝物の存在または量を検出する方法が提供される。この方法は一般には、サンプル中のジヒドロキシビタミンＤ代謝物をイオン化する工程と、このイオンの量を検出してこのサンプル中のビタミンＤ代謝物の存在または量を決定する工程とを含む。特定の好ましい実施形態では、この方法は、質量分析前にジヒドロキシビタミンＤ代謝物を免疫精製する工程を含む。また、単一のアッセイで２つ以上のジヒドロキシビタミンＤ代謝物の存在または量を検出する方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】高精度で再現性に優れ、信頼性の高い研磨スラリーの分析方法を提供すること。
【解決手段】シリコンウェーハを研磨することによって得られた研磨スラリー中の汚染物を分析する方法において、前記研磨スラリー中のシリコン成分を溶解してシリコン溶液とする溶解工程と、前記シリコン溶液２を蒸発乾固させる乾燥工程と、前記蒸発乾固させた前記残留物４中のシリコン成分を除去する除去工程と、前記除去工程後の残渣５を回収する回収工程とを備えるシリコンウェーハの研磨スラリーの分析方法とする。 （もっと読む）

【課題】良好な精度で、かつ容易に石英部材の分析を行う分析方法を提供する。
【解決手段】石英部材にエッチング液を供給してエッチングする第１の工程と、前記第１の工程で用いた前記エッチング液中の金属を分析する第２の工程と、を有する石英部材の分析方法であって、前記第１の工程の前記エッチング液の供給は、前記石英部材に形成された凹状のエッチング液保持部にされることを特徴とする石英部材の分析方法。 （もっと読む）

【課題】試料液中に存在する微量の測定対象分子を、測定対象分子に特異的に結合する「キャプチャー」分子との複合体を形成させて、濃縮（分離）し、該複合体から測定対象分子を離脱させ、回収する工程において、その後に施す、等電点電気泳動の分離能、ならびに、質量分析における定量性、測定感度に影響を及ぼさない、離脱・回収手段の提供、ならびに、該回収工程後、バイオチップによる等電点電気泳動を施し、分離される測定対象分子を質量分析用試料に調製する方法の提供。
【解決手段】測定対象分子と「キャプチャー」分子との複合体から、測定対象分子を離脱させ、回収する手段として、測定対象分子自体の変性を引き起こすことなく、該複合体中の「キャプチャー」分子の構造を選択的に変化させる薬剤を「キャプチャー」分子に作用させ、「キャプチャー」分子の測定対象分子に対する結合能を喪失させる離脱手段を利用する。 （もっと読む）

【課題】微量成分の吸着量を高める塩析剤を用いた質量スペクトル分析において、塩析剤の妨害を排除した分析方法ないし試料調製方法を提供する。
【解決手段】酸性試料液に含まれる微量のウランおよびトリウムを吸着させて捕集し、これを溶離して質量スペクトル分析する方法において、ウランおよびトリウムの吸着量を高める塩析剤として、試料液と同種の酸のカルシウム塩を用いることを特徴とする質量スペクトル分析方法であり、例えば、塩析剤として硝酸カルシウムを添加した硝酸性試料液をイオン交換樹脂またはフィルターに通液して、試料液中のウランおよびトリウムを吸着させ、次いで、このウランおよびトリウムを溶離してＩＣＰ-ＭＳによる質量スペクトル分析を行なう分析方法。 （もっと読む）

【課題】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハに含まれる不純物量を、効率的かつ高精度で測定可能とするために、最小限の工程で、測定試料を調製して分析する半導体ウエハの不純物分析方法を提供する。
【解決手段】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハ表面に、フッ化水素酸の濃度が０．３１〜０．００６３％、硝酸の濃度が６７．４〜６８％である混酸を接触させて溶解した回収液を加熱濃縮して、シリコン成分およびゲルマニウム成分を揮発させたものを測定試料として、高周波誘導結合プラズマ質量分析装置または原子吸光分析装置にて不純物分析を行う。 （もっと読む）

【課題】フレームを用いることなく、簡便かつ高感度に、３価の重金属イオンを包含する重金属イオンを測定する手段の提供。
【解決手段】例えば下記式[IV]


で示されるような、溶液中で１価の負イオンになる陰イオン性官能基を２個持つ特定の環構造を有する化合物から成る重金属イオン測定用質量分析試薬を提供した。
【効果】イオン性官能基に起因する負電荷により、重金属イオンの電荷が減じられ、また、錯形成により生成される錯体がほぼ単一のピークとして観察されることから、フレームを用いない簡便な質量分析により、高感度に重金属イオンを測定することができる。 （もっと読む）