質量分析によって試料を調査するための方法と装置。本方法によれば、調査すべき試料を含む溶液を気化機で気化し、気化し試料溶液を気体流を用いてコロナ放電帯に噴霧し、ここで調査すべき試料をコロナ放電を用いてＡＰＣＩ法によりイオン化して気相イオンを発生させ、該イオンを分離し、検出器に導く。本発明によれば、気化器を使用し、これを溶液用流路及び該溶液を供給するのに使用し得るキャリアガス用流路並びに気化器のヒーター備えるマイクロメカニカル構造として製造され、これらすべてをモノリシック構造に含める。この解決法は、極めて感度がよい分析技術が必要な場合又は入手可能な試料の量が非常に少ない（1μl未満）場合に特に適する。
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