Fターム[2G042BC03]の内容
化学的手段による非生物材料の調査、分析 (9,632) | 対象成分(金属元素、金属化合物) (343) | 希土類、アクチノイド (2)
Fターム[2G042BC03]に分類される特許
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発光プローブ及び発光体
【課題】Sc、Zn等の金属イオンの発光プローブを提供すること。
【解決手段】テトラ−2−ピリジニルピラジン又はその誘導体からなる発光プローブ。テトラ−2−ピリジニルピラジン又はその誘導体の金属錯体からなる発光体。上記発光プローブを用いて発光を観測する、金属の検出方法。
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検知テープ及びそれを用いた濃度測定装置
【課題】 半導体製造工程等から排出されるガスに含まれるトリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウム等の金属化合物等を、アンモニア等の同伴ガスに影響されることなく、高感度で容易に検知あるいは濃度測定できる手段を提供する。
【解決手段】 シート状の担体に、変色成分としてピリジルアゾ化合物を含浸させてなる検知テープを用いる。また、この検知テープを用いた濃度測定装置を使用して、半導体製造工程等から排出されるガスを測定する。
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