【課題】 本発明の課題は、高純度有機金属化合物の微量分解不純物を分析するに当たり、その使用に適した高純度有機金属化合物の分析用処理液を提供することを課題とする。本発明の課題は、又、当該処理液を用いた高純度有機金属化合物中の微量不純物の分析方法を提供することも課題とする。
【解決手段】 本発明の課題は、高純度有機金属化合物を無機酸水溶液と有機溶媒とで分解処理した後、酸性水溶液を用いて金属濃度を０．００１〜１質量％とした高純度有機金属化合物の分析用処理液によって解決される。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程等から排出されるゲルマン及びビニルトリメチルシラン、アリルトリメチルシラン等の有機ケイ素化合物を、水素等の雰囲気ガスに影響されることなく高感度で検知でき、しかも使用するまでの期間中、光等により容易に感度が低下しない検知剤を提供する。
【解決手段】 無機質担体に、変色成分として、重クロム酸アンモニウム、アルカリ金属の重クロム酸塩等の重クロム酸塩を担持させてなる検知剤とする。好ましくは、無機質担体に重クロム酸塩とともに貴金属塩を担持させてなる検知剤とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程等から排出されるガスに含まれるトリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウム等の金属化合物等を、アンモニア等の同伴ガスに影響されることなく、高感度で容易に検知あるいは濃度測定できる手段を提供する。
【解決手段】 シート状の担体に、変色成分としてピリジルアゾ化合物を含浸させてなる検知テープを用いる。また、この検知テープを用いた濃度測定装置を使用して、半導体製造工程等から排出されるガスを測定する。 （もっと読む）