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Fターム[2G042EA01]の内容

Fターム[2G042EA01]に分類される特許

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【課題】容器の構造を複雑化させずに、シリコン基板の分解速度を高めることができる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置1は、シリコン基板21を分解するものであり、内部にシリコン基板21と、分解液22とが充填される容器11を備える。この容器11には孔113が形成されており、容器11内部の気体は孔113を介して、外部に排出される。従って、容器11からは、シリコン基板21の分解反応に伴って発生する副生成ガスである二酸化窒素や、SiFが排出されることとなり、シリコン基板の分解速度の向上を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】シリコン基板を効率よく分解することができる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置1は、ドラフト内に設置されており、内部にシリコン基板21と、分解液22とが充填される容器11と、加熱部12と、支持板13とを備える。支持板13上にシリコン基板21を設置し、容器11内に配置する。支持板13は、容器11の容器本体111内に所定の角度を持って傾斜して配置されており、分解液22の液面と平行に配置されていないので、分解液22の気化を妨げることがない。これにより、シリコン基板21の分解を効率よく行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 固体の試料に含まれるハロゲン元素を他の元素と同一の試液を用いて分析できるハロゲン元素分析用の試液を作成する方法を提供する。
【解決手段】 銀イオンを添加した硝酸を収容した容器2内に分析対象の固体のプラスチック材1を入れ(a)、ヒータ3にて加熱して、プラスチック材1を分解させた分解液4を得る(b)。プラスチック材1に含まれている全ての塩素は、気体となって放散することなく、塩化銀の沈殿5として捕集される(c)。この分解液4にアンモニア水を加えて、塩化銀を溶解させ、塩化物イオンが遊離した溶液6を得る(d)。得られた溶液6を試液として、ICP発光分析装置を用いて、塩素分析を行う。この同じ溶液6(試液)に対して、他の元素の分析を併せて行える。 (もっと読む)


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