【課題】鉛フリーはんだに含まれる各種元素を分析する方法を提供する。
【解決手段】本発明のはんだの組成分析方法は、（ａ）硫酸、硝酸およびフッ化水素酸を含有する混酸にはんだを溶解する工程（はんだ溶解工程）と、（ｂ）上記（ａ）工程で形成された溶解液を定量分析することにより上記はんだの組成成分を分析する工程（分析工程）と、を有する。上記混酸として、硫酸が、３．６ｍｏｌ／Ｌ以上１３．４ｍｏｌ／Ｌ以下の濃度で、硝酸が、１．３ｍｏｌ／Ｌ以上３．４ｍｏｌ／Ｌ以下の濃度で、フッ化水素酸が、０．５３ｍｏｌ／Ｌ以上の濃度であり、且つ硫酸と硝酸のモル比が２．６：１以上７．９：１以下である混酸を用いることができる。かかる方法によれば、鉛フリーはんだ中にＧｅを含有していても、当該Ｇｅの含有量を分析することができる。 （もっと読む）

【課題】重質油中の金属及び重質油中の金属含有触媒の含有量を迅速に定量する方法を提供すること。
【解決手段】（１）重質油試料を芳香族系溶剤と混合し、（２）該混合液を遠心分離処理し、（３）遠心分離後の沈殿層の量を計測し、（４）予め作成した遠心分離後の沈殿層の量と重質油中の金属含有量との関係を示す検量線に基づき、前記沈殿層の容量に対応する重質油試料中の金属含有量を測定することを特徴とする重質油中の金属の定量方法である。 （もっと読む）

【課題】スパーク放電式発光分光分析方法を用い、鋼材中に分散しているアルミナ介在物の粒径分布を従来よりも簡便に測定する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気中で、金属試料と対電極との間で多数回のスパーク放電を起こして発光を分光測定し、放電ごとにO、Al、Feの固有スペクトル線の発光強度を測定して、O/Fe、Al/Fe発光強度比を計算し、O/Fe発光強度比の統計値である標準偏差（σ）および全放電のAl/Fe発光強度比の中央値を求め、O/Fe発光強度比の3σ以上の放電であって、かつ、Al/Fe発光強度比から全放電のAl/Fe発光強度比の中央値を引いた値が正になる放電をアルミナに起因する放電とみなして、前記Al/Fe発光強度比からAl/Fe発光強度比の中央値を引いた値によりアルミナ介在物の粒径を求め、金属試料中に存在するアルミナ介在物の粒径分布を得ることを特徴とする金属中のアルミナ介在物の粒径分布測定方法。 （もっと読む）

【課題】多数個の標準固体試料を測定する手間や、標準固体試料の入手の困難さの問題を解決することができる検量線作成方法の提供。
【解決手段】複数の基準検量線が登録されたデータベースを作成するデータベース作成ステップと、発光分析装置に基準検量線を記憶させる基準検量線記憶ステップと、発光分析装置で、測定対象の元素を既知濃度で母材中に含有する少なくとも１個の標準固体試料を測定することにより、少種類の各スペクトルの強度をそれぞれ取得する強度取得ステップと、基準発光分析装置の光検出器と発光分析装置の光検出器との検出感度差である補正係数を算出する補正係数算出ステップと、記憶された基準検量線を補正係数で補正することにより、発光分析装置に検量線を記憶させる補正検量線記憶ステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検出される信号のＳＮ比を改善するように、（発光分光分析で）輝線の強度を、及び／又は（質量分析で）イオン化収量を増しながら、エッチング速度を高めると同時にエッチングの均質性を増すことが可能な、放電発光分光分析による有機（層）またはポリマー（層）を含む固体試料の分析方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの有機材料層を含む固体試料の放電発光分光分析による測定方法に関し、放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、放電発光ランプに、少なくとも１つの希ガスと酸素とを含む混合気を投入し、酸素の濃度が混合気の１質量％〜１０質量％であるステップと、前記放電発光ランプの電極に無線周波数の放電を行って放電発光プラズマを発生するステップと、前記有機材料層を前記プラズマで照射するステップと、前記プラズマのイオン種及び／又は励起種を示す少なくとも１つの信号を分光分析により測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶリソグラフィレチクルといった物品の汚染物質粒子を検出するための検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、物品に蛍光染料物質を塗布することと、蛍光染料物質を励起するのに適した波長における放射を用いて物品を照明することと、第１の放射とは異なる波長における蛍光染料による第２の放射の放出について物品をモニタリングすることと、第２の放射を検出した場合には汚染を表す信号を生成することとを含む。一例では、低親和力コーティングといった手段がレチクルに塗布されて、染料分子に対する親和力を減少する一方で、染料分子は物理または化学吸着によって汚染物質粒子に結合する。染料は、疎水性または親水性によって高められる蛍光挙動を有するように選択されてよく、また、汚染物質表面はバッファコーティングによって適宜処理される。 （もっと読む）

【課題】スパ−ク放電発光分光分析にて金属中の介在物を分析するに際して、介在物の情報を持つ発光パルスの出現頻度を高め、且つ、地金による影響の少ない発光パルスを得ることにより、信頼性の高い介在物分析法を提供する。
【解決手段】 試料表面に物質粒子を付着させた後、スパ−ク放電を行って発光パルスを計測し、介在物の情報を持つ発光パルスを選別・解析して、金属中の介在物を分析する。 （もっと読む）

【課題】一度のガス計測において、長期間に亙って安定して被測定ガス中のガス成分を計測することができるガス中のガス成分計測装置及び方法を提供する。
【解決手段】被測定ガスに対して照射されるレーザ光により発生するラマン散乱光及びプラズマ発光から被測定ガス中のガス成分を計測するガス中のガス成分計測装置において、被測定ガス１１に第１のレーザ光１２を照射するレーザ装置１３と、前記第１のレーザ光１２の波長を変換して第２のレーザ光１４とする波長変換器１５と、変換された第２のレーザ光１４の照射により発生するラマン散乱光１６を計測する光検出器１７と、前記第１のレーザ光１２を遅延させる第１のレーザ光１２のレーザ遅延ライン１８と、遅延された第１のレーザ光１２の照射により発生するプラズマ発光１９を計測する光検出器１７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】産業設備のプラントの現場における配管長が長い場合や、ガス吸収量が大きい場合においても、オンラインでガス成分の分析が可能な配管中のガス成分計測装置及び排ガス成分計測用煙道を提供する。
【解決手段】発振された基本レーザ光２２を第１のレーザ光２１−１に波長変換する第１の波長変換部２３と、基本レーザ光を波長変換し、第２のレーザ光２２−２とする第２の波長変換部２４と、第１及び第２のレーザ光を導入して、被測定ガス中のガス成分に照射するするガス測定部２５と、照射される第１のレーザ光２２−１及び第２のレーザ光２２−２により高い準位に励起された励起分子が低い準位に電子的に緩和する際、その準位が下がるときに発生する自然放射増幅光（Amplified Spontaneous Emission：ＡＳＥ）を計測する光検出器２６と、前記被測定ガス１１中に存在する油分由来のハイドロカーボンが発生する蛍光５０を計測する蛍光検出部５１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス板状体の表層に含有される金属をエッチング液で溶解して定量分析する際、エッチング液が漏出しないようにする。
【解決手段】板状体分析用治具１の下側シート材２１に分析すべき板状体試料４０を載せ、その板状体試料４０の表面にリング１０を載せ、更に上側シート材２０をリング１０の上に載せる。固定手段３のボルト３０を穴２６に通し、ナット３１によって上下のシート材２０、２１を締め付けて上下シート材２０をリング１０に密着させる。開口２５からエッチング液をリング１０と上側シート材２０で画定された貯留空間に注入し、板状体試料４０の表層部分を溶解させ、溶解液を採取し、採取した溶解液中の金属またはイオンを分析定量する。 （もっと読む）

【課題】灰組成やガス中の微量成分を簡易迅速に計測できるガス中の成分計測装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るガス中の成分計測装置１０Ａは、被測定場中のガス中の灰分又は微量成分をプラズマ化させてガス中の灰分の未燃分又は微量成分を計測するガス中の成分計測装置であって、被測定場である煙道１１内にプラズマ光Ｐを発生させる一対の電極１２ａ、１２ｂと、前記プラズマ光Ｐの信号光１３を検出部（例えば分光器及びＩＣＣＤカメラ等：図示せず）へ送る光ファイバ１４と、前記光ファイバ１４をガードすると共に、前記光ファイバ１４の周囲に供給されつつ煙道１１内に噴出するガードフロー１６を供給するガード部材１５とを具備する。 （もっと読む）

組成物は、不純物を含むとともに、周囲温度未満の沸点と１４．５℃の水より大きい蒸気圧とのうちの少なくとも一方を有する。組成物の分析方法は、組成物を、液体状態で容器内に供給するステップを含む。組成物は、液体状態で容器内で組成物の沸点未満の温度で冷却されることにより、組成物は液体状態に維持される。容器内の冷却された組成物は、蒸発組成物と霧状組成物とのうちの少なくとも一方を製造するために変換され、変換された組成物は分析装置に導入される。組成物の不純物の含有量の測定値は、分析装置から得られる。組成物の処理方法は、組成物の分析方法と同一のステップを含むが、さらに組成物の少なくとも一部が供給タンク内に残留することを必要とする。 （もっと読む）

【課題】 各金属元素濃度及びリチウム／メタル比を高精度に測定できる分析方法を提供する。
【解決手段】 リチウム二次電池用正極材料等を分解して得られる試料溶液中の金属元素の濃度を誘導結合プラズマ発光分光分析法によって測定する分析方法において、誘導結合プラズマ発光分光分析法に使用するプラズマの励起温度を４９００Ｋ以上とし、測定には内標準補正法を適用する。上記試料溶液の測定対象元素にリチウム、アルミニウム、ニッケル、コバルト、マンガンの少なくとも２種を含む場合は、内標準元素として、リチウム、アルミニウム及びマンガンに対してはガリウムを使用し、ニッケル及びコバルトに対しては銅を使用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】レジスト洗浄処理や再生処理後の各種レジスト由来成分を含む炭酸エチレン等のレジスト洗浄剤において、誘導結合プラズマ質量分析装置等の一般的な分析装置を用いて、簡便な前処理、試料調製により精度よく金属定量を行なう方法を提供する。
【解決手段】レジスト成分を含有する、カルボニル基を有し酸素原子を環の構成原子として有してもよい４〜７員の飽和環式化合物の少なくとも１種を含むレジスト洗浄剤中の金属の定量方法であって、前記レジスト洗浄剤を酸性水溶液で希釈する希釈工程と、前記希釈工程で得られた溶液を逆相型固相抽出剤および／または活性炭固相抽出剤と接触させる固相抽出剤接触工程と、前記固相抽出剤接触工程で得られた逆相型固相抽出剤および／または活性炭固相抽出剤と接触させた後の溶液について金属を定量する金属定量工程と、を含むことを特徴とするレジスト洗浄剤中の金属定量方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体試料の元素成分の分析方法として通常行われるＩＣＰ分析方法に比べ、多くの元素を対象に簡便な操作で液体試料中の元素成分を同時分析することが可能であり、検出された元素成分の価数等の化学状態についても解析することが可能な分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明よる分析方法は、液体試料を清浄な基材面に滴下して、乾燥させた後の基材面を表面分析することにより達成される。表面分析方法としては、ＸＰＳ分析法等が挙げられ、ＩＣＰ−ＡＥＳ分析と併用すれば、ＩＣＰ−ＡＥＳ分析では測定不可能だった結果を補足することも出来る。 （もっと読む）

【課題】 部品の表面上でレーザプラズマ分光を実施し、詳細には堆積物の浸透から損傷を受けやすい皮膜によって保護されたターボ機械部品上に集積する堆積物の範囲を具体的に検出し、分析し、決定するためのシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】本システムは、レーザエネルギー源と、レーザエネルギー源と相互接続されてレーザビームを受け取り、次に部品が静止状態の間に部品の表面上にレーザビームを配向し、表面区域を走査するプローブとを含む。該プローブは、部品の表面でレーザビームによって発生したレーザ誘起プラズマから放出される放射線を集めるように更に構成される。本システムは、プローブから放射線を伝搬し、放射線をスペクトル分析するために装備される。 （もっと読む）

【課題】従来の方法に比べ、精度よくイオン交換膜に含まれる不純物を定量できる分析方法を提供する。
【解決手段】イオン交換膜に含まれる不純物の分析方法であって、（ａ）イオン交換膜を酸性水溶液に接触させるステップ、（ｂ）ステップ（ａ）の後、イオン交換膜を塩基性水溶液に接触させるステップ、（ｃ）イオン交換膜を接触させた酸性水溶液に含まれる不純物を定量するステップ、（ｄ）イオン交換膜を接触させた塩基性水溶液に含まれる不純物を定量するステップを有する分析方法。 （もっと読む）

【課題】優れた測定処理速度及び測定精度を備える光学測定部及び光学検出用部材、並びにこれらを配設した微小粒子測定装置の提供。
【解決手段】測定光の走査方向に配設された複数の流路１１，１２，１３に対し、同方向に複数の測定光２１，２２，２３を走査して、該流路内に導入された微小粒子の光学測定を行う光学測定部を提供する。この光学測定部においては、一の測定光が一の流路に照射されている場合において、他の測定光はいずれの流路にも照射されないように測定光の走査を行うことが可能である。 （もっと読む）

【課題】被測定試料溶液が、被測定元素以外の元素を含有している場合においても、容易にかつ効率的に、高精度で被測定元素の定量分析をすることができるＩＣＰ発光分光分析方法を提供する。
【解決手段】試料溶液を霧状にした後、高周波プラズマ中に導入することにより、前記試料溶液中の成分を励起して各元素に固有の波長の光を放出させ、その光を分光して得られた発光スペクトルに基づいて前記試料溶液中の元素の定量分析を行うＩＣＰ発光分光分析方法であって、被測定元素の濃度が既知の標準試料溶液、および被測定試料溶液の双方に、被測定元素以外の同一の元素を両溶液において同一濃度となるように添加して、両者の被測定元素の発光強度から、被測定元素の定量分析を行うことを特徴とするＩＣＰ発光分光分析方法。 （もっと読む）

【課題】従来のグロー放電発光分析方法では正確に測定強度を測定することが困難な薄膜を有する測定対象材についての測定を行なうことが可能な測定方法、測定装置および当該測定方法によって測定された薄膜を備えるエピタキシャル基板を提供する。
【解決手段】本発明に従った測定方法は、基板（試料Ｓ）を準備する工程と、測定工程とを備える。測定工程では、グロー放電発光分析法を用いて、試料Ｓの表面からの深さ方向における成分元素の濃度分布を測定する。具体的には、試料Ｓに給電することによりグロー放電による発光を発生させ、当該発光を波長ごとに分光して分光した光の強度を測定することにより、試料Ｓの深さ方向における成分元素の濃度分布の測定を行なう。測定工程において、強度を測定する光のエネルギーは試料Ｓのバンドギャップエネルギーより大きい。 （もっと読む）