【課題】測定に必要な塩酸濃度を低下させつつ臭素酸イオン濃度を精度高く測定すること。
【解決手段】臭素酸イオンとの共存によって蛍光強度が変化する蛍光物質を試料水に添加し、塩酸添加により酸性条件とする第１工程と、蛍光物質の蛍光強度を計測する第２工程と、臭素酸イオンを含まない標準試料水の蛍光強度と計測された蛍光強度との差を蛍光強度差として算出する第３工程と、予め求めた蛍光強度差と臭素酸イオン濃度との検量線を用いて、算出された蛍光強度差から臭素酸イオン濃度を算出する第４工程とを含む臭素酸イオンの測定方法において、第２工程が、励起波長及び蛍光波長がそれぞれ２６４ｎｍ及び４００ｎｍである時、励起波長及び蛍光波長がそれぞれ２６４ｎｍ及び４８０ｎｍである時、及び励起波長及び蛍光波長がそれぞれ３００ｎｍ及び４００ｎｍである時のうちのいずれかの時の蛍光強度を計測する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、具体的に高純度化が達成された、即ち、ハロゲンや金属不純物の含有量が低減された高純度ジルコニウムアルコキシド原料を効率的に製造する方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の課題は、下記分析法で測定されるハロゲンの含有量が１質量ｐｐｍ未満、鉄、クロム及び銅それぞれの含有量が０．１質量ｐｐｍ未満であり、ニッケルの含有量が０．４質量ｐｐｍ未満である、高純度ジルコニウムアルコキシド原料によって解決される。
ハロゲンの分析法；
高純度ジルコニウムアルコキシド原料を、そのまま又は有機溶媒に溶解した後、これに塩基性水溶液を添加して、沈殿物を除去した溶液の水溶液部分をイオンクロマトグラフィーにより高純度ジルコニウムアルコキシド原料中のハロゲン含有量を分析する。
金属含量の分析法；
高純度ジルコニウムアルコキシド原料を、そのまま又は有機溶媒に溶解した後、これに酸性水溶液を添加して、この酸性水溶液の水溶液部分を誘導結合プラズマ質量分析（ＩＣＰ−ＭＳ）、誘導結合プラズマ発光分光分析（ＩＣＰ−ＡＥＳ）又はそれらを組み合わせて高純度ジルコニウムアルコキシド原料中の鉄、クロム、銅及びニッケル含有量を分析する。 （もっと読む）

【課題】照射と同時に発光が計測できるようにしてリアルタイムで計測が可能であり、かつ廃棄物が計測の過程で発生しないようにする。
【解決手段】検査対象である金属表面６にパルス状のレーザー光１１を照射して付着物質をアブレーションし、その後アブレーションによりプラズマ化された物質からの発光１３を計測し、分光することにより、金属表面に付着する微量成分の特定と濃度を求めるようにしている。この計測方法は、狭隘な空間に面している金属表面に付着している微量成分の濃度を計測する場合には、狭隘な空間の外にレーザーと少なくとも分光器を含む濃度計測装置本体を配置し、狭隘な空間に金属表面に沿って挿入される光伝送部を介して金属表面にレーザー光を照射して付着物質をアブレーションすると共にプラズマ化し、プラズマ化された物質からの発光を光伝送部を介して狭隘な空間の外の分光手段に導いて分光すると共に受光素子で発光スペクトルを得るようにしている。 （もっと読む）

【課題】面倒な調整の必要がなく、波長再現性の良い安価な分光器を提供する。
【解決手段】回折格子およびスリット部を、可動部を持たない固定型とし、回折格子１で分光された分光光に対応した位置に複数のスリットが設けられたスリット部３を設置し、さらに特定波長の分光光のみ透過可能なマスクを該スリット部の入射側手前に設置し、減光フィルタ２６を付設したλ３用マスク４に開口されたスリット４ａに合致した光のみを透過させて、前記複数の分光光すべての検出が可能な大きさを有する検出器５により光強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】水蒸気の凝結水からなる水滴の試料用ボートへの付着を防止して、安定して試料の熱加水分解反応を行うことができる熱加水分解装置及びそれを用いてなる分析システムを提供する。
【解決手段】内部に熱加水分解される試料を収容する燃焼管２３と、前記燃焼管２３内に水蒸気を供給する水蒸気供給機構２２と、前記燃焼管２３の一端部に連結されるとともに前記水蒸気供給機構２２が接続されており、その側周壁に１又は複数の貫通孔２１３が形成されている内管２１１と、前記内管２１１を内部に収容して前記内管２１１と二重管構造を構成し、かつ、ドレイン２１４が設けられている外管２１２とからなる水蒸気導入部２１と、を具備し、試料中に含まれるハロゲン元素又は７００Ｋ以下で気化する低温気化元素を水中に抽出するようにした。 （もっと読む）

【課題】誘導結合プラズマ発光分光分析装置による塩素又は臭素を定量下限を下げる。
【解決手段】塩素又は臭素を含有する溶液２に酸化剤６を添加し、塩素又は臭素を気化させ、気化した塩素又は臭素を誘導結合プラズマ発光分光分析装置１にて定量する。 （もっと読む）

【課題】誘導結合プラズマ発光分析装置による臭素を定量下限を下げる。
【解決手段】臭素を含む溶液２に３価の鉄イオンを添加し、臭素を気化し、気化した臭素を誘導結合プラズマ発光分析装置１を用いて定量する。
【効果】臭素が含有された溶液に３価の鉄イオンを添加して、溶液中の臭素を気化することで、臭素が誘導結合プラズマ発光分光分析装置のプラズマトーチに導入されやすくなり、臭素の導入量を多くすることができる。これにより、定量誤差を増大させることなく、臭素の定量下限を下げることができる。また、簡便且つ迅速に臭素の定量が可能となるため、臭素が添加又は混入された系に対して幅広く用いることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発光分析において、プラズマの短時間での確実な点灯が可能とし、ヘリウム光強度を一定とし、ハロゲン元素の分析定量の際の分析感度の安定化が行えるようにする。
【解決手段】プラズマ発光分析装置において、被測定ガスとヘリウムキャリアガスを導入する放電管３と、この放電管に交流電圧を印加してバリア放電を生じさせる高周波電源４と、前記放電管に導入されるヘリウムキャリアガスを加熱するヒータ２１と、このヒータの温度を制御して放電管内の雰囲気温度を５０〜５００℃に制御する温度制御部２２と、前記放電管に導入されるヘリウムキャリアガスの流量を、ヘリウムに起因する発光の光強度が１５０００〜２００００カウントとなるように制御する流量制御部２３を備える。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな設備が不要で分離作業を簡単なものにする。ガスの分離性能を向上させる。
【解決手段】検出対象のガス絶縁電力機器から取り出した吸着剤４（ステップＳ１）を絶縁ガスの分解ガスが溶解する液体中に浸漬して分析用水溶液を作成し（ステップＳ２）、分析用水溶液の分析（ステップＳ３）による分解ガスの検出に基づいてガス絶縁電力機器内での異常を検出する（ステップＳ４〜Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置のチャンバあるいは搬送経路などの分析対象部に残留する物質を検出できる半導体装置の製造装置、残留成分の分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】半導体製造のための所定の処理工程のために内部に基板が保持され、あるいは、処理工程の前後において内部に基板が搬送または収容される半導体装置の製造装置を構成する部分であり、内部における残留成分の分析対象となる分析対象部（１）と、分析対象部の内部に存在する残留成分から発せられる電磁波を受信する受信部５と、受信部で受信されて得られた信号を分光する分光部６とを有し、上記のように分光することにより、分析対象部の内部における残留成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】液体試料中における、ハロゲン化合物の含有量を現地で簡便かつ瞬時に判別することができるハロゲン化合物の判別方法を実現する。
【解決手段】本発明のハロゲン化合物の判別方法は、液体試料中における、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子の何れか１つを少なくとも含むハロゲン化合物の存在の有無を判別する方法であり、液体試料を銅含有化合物の存在下、火炎内で燃焼させ、生じた火炎色から液体試料中におけるハロゲン化合物の存在の有無を判別する。 （もっと読む）

組成物は、不純物を含むとともに、周囲温度未満の沸点と１４．５℃の水より大きい蒸気圧とのうちの少なくとも一方を有する。組成物の分析方法は、組成物を、液体状態で容器内に供給するステップを含む。組成物は、液体状態で容器内で組成物の沸点未満の温度で冷却されることにより、組成物は液体状態に維持される。容器内の冷却された組成物は、蒸発組成物と霧状組成物とのうちの少なくとも一方を製造するために変換され、変換された組成物は分析装置に導入される。組成物の不純物の含有量の測定値は、分析装置から得られる。組成物の処理方法は、組成物の分析方法と同一のステップを含むが、さらに組成物の少なくとも一部が供給タンク内に残留することを必要とする。 （もっと読む）

【課題】分析すべき気体をイオン化する装置（２、６）と、イオン化された気体を分析する装置（４、５）とを備えた、制御された圧力下でエンクロージャ（３）内の気体を分析するガス分析システムを提供すること。
【解決手段】本発明によれば、
分析すべき気体をイオン化する装置（２、６）は、エンクロージャ（３）内に含まれれた気体と接触しかつ分析すべき気体からプラズマを発生させる発生器（６）に結合された専用プラズマ源（２）を備え、
イオン化された気体を分析する装置（４、５）は、プラズマが発生する領域の近傍に位置しかつ発生したプラズマによって放出された放射スペクトルの変動を分析する分光計（５）に接続された放射センサ（４）を備える。 （もっと読む）

【課題】試料ガスを、安全、簡便かつ前処理の時間を省いて測定でき、試料ガスと標準物質を混合して測定する際の問題を解決したポリ臭化ビフェニル、ポリ臭化ジフェニルエーテルなどの臭素を含む高分子化合物の分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】試料ガスとキャリアガスとの混合ガスをガスクロマトグラフ１０のインレット８に注入し、標準物質をマイクロシリンジ９からインレット８に注入する。気化室において標準物質は気化し、混合ガスと混合してカラム１１に流れて分離操作を受ける。カラム１１からのガスを質量分析計または原子励起検出器１２に送り、分析を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単に短時間で感度良くコンクリート含有物質濃度を測定可能にする。
【解決手段】被検査コンクリート表面６ａをアブレーションする第１のレーザー１と、アブレーションされた物質をプラズマ化する第２のレーザー２と、プラズマ化された物質からの発光を波長毎に分解する分光手段４と、該分光手段４を経て分光された物質からの発光を制御された時間差をもって受光し発光スペクトルを得るゲート機能を有する受光素子５と、第１レーザー１、第２レーザー２及び受光素子５のゲート開放開始時間との間の時間差を制御するコントローラ３とを備え、アブレーションにより原子化された雰囲気２６に対し、白色光ノイズが減少し尚かつ励起原子が残っている状態で再びレーザー光を照射してアブレーションされた物質を再加熱または再励起によりプラズマ化して発光スペクトルを得ることにより、励起原子の発光ピークを顕著にしてＳ／Ｎ比を上げるようにする。 （もっと読む）

本発明の態様は、1つまたは複数のガス、たとえば、プラズマエッチングまたはプラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの半導体製造プロセスから採取されたガス混合物の成分分析に関する。特定の態様は、多数の分子および分子断片を個々の原子に解離させるために、試料のプラズマに十分な電力を提供する。十分な電力（典型的には3〜40 W/cm³の出力密度）がプラズマに送出されると、発光ピークのほとんどが個々の原子の発光により生じ、それによって、試験されているガスの化学組成の同定を単純化するのに役立つスペクトルを作製することができる。このようにガスの成分を正確に同定することによって、行われているプロセスの段階を正確に決定すること、特に、プロセスのエンドポイントを検出することができる。

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【課題】プラズマ挙動を細かく把握、解析でき、プラズマの安定化技術の向上につながるプラズマ構成元素分析装置を提供する。
【解決手段】プラズマの構成元素を分析するプラズマ構成元素分析装置１であって、プラズマ光を集光する集光レンズ２と、集光レンズ２からの光を２つの光路に分離するスプリッタ４と、一方の光路３ａに設けられ、プラズマ光の実像を撮影する第１の高速度カメラ５と、他方の光路３ｂに設けられ、入力スリットを介したスペクトルを、波長軸および空間軸に関する分光スペクトル画像として撮影する第２の高速度カメラ６と、両高速度カメラ５、６から出力される画像信号を同期化して記憶する制御部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物質の正確な測定値を得ることができ、しかも多数の測定値を容易に且つ迅速に集約して分析することができる比色計を提供する。
【解決手段】比色計10を、比色計本体11、携帯電話機12、解析装置13から構成する。比色
比色計本体11は、台座14の上面に配置された４個のLED15a〜15d及びセル16を備えており、LED15a〜15dのいずれかから出射された光がセル16内に入射するようになっている。携帯電話機12は操作部21、液晶表示画面22、デジタルカメラ23を備えている。解析装置13は、ディスプレイ31、キーボード32、制御装置33を備えている。デジタルカメラ23によって撮影されたセル16からの出射光の画像は表示画面22に表示されると共にその画像データは無線通信回線を介して解析装置13に送信された後、解析装置によって解析されセル16内の試料溶液の吸光度が算出される。 （もっと読む）

【課題】各種生物系の実験系においても使用することができるような水溶液中におけるアニオンを定量的に測定することができるセンサー化合物を提供する。
【解決手段】環状ポリアミンの金属錯体から成るアニオンホスト及び蛍光色素を有する化合物であって、該金属錯体の金属イオンとの配位結合において、該蛍光色素上の置換基とアニオンとの間の配位子交換機能によって蛍光色素のスペクトルに変化が生じることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コスト、迅速、且つ高精度に試料を検査可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】測定されたスペクトルに基づいて取得される、含有率に相当する含有率判定値が、その検査対象成分について予め定められた閾値以上であるかがを判断され、その判断結果が表示装置１６に表示出力される。よって、試料３を自動的に検査できるので、迅速な検査を実現できるので、管理者および管理区域を要さず、従来の蛍光Ｘ線分析法に比較して、低コスト且つ迅速に試料３を検査できる。さらに、レーザ光は微少部分に照射可能であると共に、試料の厚みが薄い場合にも対応可能であり、例えば、めっき、基板上はんだ接合部など薄膜、微少な特定領域であっても高精度に検査可能である。 （もっと読む）