【課題】化合物半導体層を形成する前の基板の状態で非接触のスクリーニングを行うことで、事前に化合物半導体層の不良発生を認識してこれを防止することができ、歩留まりの向上及び製造コストの削減を可能とする信頼性の高い化合物半導体装置を得る。
【解決手段】偏光レーザ１２によりＳｉＣ基板１の基板面に偏光レーザ光を照射し、検出部１３によりＳｉＣ基板１からの発光を検出し、表示部１４によりＳｉＣ基板１の発光強度の面内分布を得て、ＳｉＣ基板１の窒素混入量を評価した後、ＳｉＣ基板１の上方に化合物半導体積層構造２を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板の洗浄を効果的かつ安定して実施することが可能な洗浄装置、当該洗浄装置に用いられる溶存気体濃度測定装置の校正方法および溶存気体濃度の測定方法を提供する。
【解決手段】この発明に従った校正方法は、液体に溶存する気体の濃度を測定する測定装置を校正する校正方法であって、液体に溶存する気体の濃度を変化させて、液体に超音波を照射したときに生じる発光の強度がピークを示す当該気体の濃度を基準濃度として予め決定する工程（Ｓ１０）を実施する。次に、液体中の気体の濃度を変化させながら液体に超音波を照射することにより、発光の強度がピークを示すときに、校正する対象である測定装置により洗浄液中の窒素の濃度を測定して、当該窒素の濃度の測定値を決定する工程（Ｓ２０）を実施する。測定値と基準濃度とに基づいて、校正する対象である測定装置を校正する工程（Ｓ３０）を実施する。 （もっと読む）

【課題】広範囲なエリアに対して水素センシングが可能であり、かつ高温化で水蒸気が発生する様な環境下でも、これらに影響を受けることなく水素を計測できる水素センサを提供する。
【解決手段】図１は本発明の光ファイバー式水素センサの一例を示す図である。光ファイバーのクラッド２の外周にパラジウムをコーティングしてパラジウム層３を形成し、その外周に第１樹脂層４及び第２樹脂層５をコーティングして、該両樹脂層を紫外線照射処理により硬化させた光ファイバー式水素センサである。 （もっと読む）

【課題】転炉出鋼後から二次精錬終了前において採取した溶鋼試料のＳ濃度を迅速かつ精度よく分析することによって、高い精度で鋼のＳ濃度を制御することを可能とする溶鋼の脱硫方法、およびその脱硫方法を用いた溶鋼の製造方法を提案する。
【解決手段】転炉から出鋼した溶鋼を二次精錬する方法において、精錬中の溶鋼から採取した試料のＳ濃度を分析し、その分析値に基づいて、その後の脱硫処理条件を決定するに当たり、上記Ｓ濃度の分析を、試料を純酸素雰囲気下で高周波誘導加熱により酸化させて、溶鋼中のＳをＳＯ_２とする高周波誘導加熱工程と、上記高周波誘導加熱工程で生成したＳＯ_２含有ガスを、紫外蛍光法で分析して試料中のＳ濃度を定量する分析工程を含む分析方法で行う溶鋼の脱硫方法および製造方法。 （もっと読む）

【課題】レーザ発光分光分析法を利用して溶鋼中の炭素濃度を正確、且つ、迅速に分析すること。
【解決手段】溶鋼中炭素濃度の分析方法は、集光レンズを利用してレーザパルス光を溶鋼表面に集光照射するステップと、レーザパルス光の集光照射に伴い発生するレーザ誘起プラズマからの励起光を分光分析することによって溶鋼中の炭素濃度を分析するステップと、を含み、集光レンズの焦点距離と集光レンズと溶鋼表面との間の距離とが所定の関係を満足し、溶鋼表面におけるレーザパルス光の１パルスあたりのパワー密度が所定の関係を満足する。これにより、レーザ発光分光分析法を利用して溶鋼中の炭素濃度を正確、且つ、迅速に分析することができる。 （もっと読む）

【課題】試料に対する前処理工程が不要で、リアルタイムに各種プラントのパイプ内部を流れる液体や気体などの各種成分の分光分析測定が行える分光分析装置を実現する。
【解決手段】パイプの内部を流れる被測定試料を分光分析する分光分析装置において、前記パイプの管壁に設けられた窓部から前記パイプの内部に電子を放出して前記被測定試料の原子を励起する電子放出素子と、この電子放出素子を駆動する電源と、前記励起された原子が基底状態に戻るときに発生する原子固有の波長の光を前記パイプの管壁に設けられた窓部から取り込み分光分析する分光分析部、とで構成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】 簡易な設備でナトリウム検出の精度が高いナトリウム検出装置を提供する。
を目的とする。
【解決手段】 ナトリウム検出装置１は、サンプリング気体２１を捕集する複数のサンプリング配管３と、複数のサンプリング配管の各々に設けられる複数のイオン式測定器４と、複数のサンプリング気体２１中のナトリウム濃度をイオン式ナトリウム濃度演算結果３２として演算するイオン式ナトリウム濃度演算装置１０と、複数のサンプリング気体２１をを混合し混合気体２２とする合流配管６と、合流配管６において設けられるレーザ式測定器７と、混合気体２２の中のナトリウム濃度をイオン式ナトリウム濃度演算結果３４として演算するレーザ式ナトリウム濃度演算装置１１と、イオン式ナトリウム濃度演算結果３２およびレーザ式ナトリウム濃度演算結果３４がナトリウム検出用閾値を上回ることによって、サンプリング気体２１にナトリウムが含まれることを判定する警報判定装置１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の動的な光解析方法を迅速に効率良く行なう光測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源１と、対物レンズ１０と、光検出器２と、試料容器２２と、光学素子と、偏芯回転ミラー４０と偏芯回転ミラー４０を回転させるモーター４１とにより構成されるビーム走査機構９と、制御信号を発生し、ビーム走査機構９の駆動制御を行なうビーム走査機構制御部とを備え、試料容器に保持された溶液中の生物学的試料の物理的性質について複数種類の測定項目に対応した測定を行なう光測定装置であって、ＦＩＤＡ測定を行なう場合は、偏芯回転ミラー４０を回転させてレーザ光の集光スポットを前記試料容器に保持された溶液内のフォーカス位置で略楕円状に光走査し、ＦＣＳ測定を行なう場合は、光軸を通った光が対物レンズを光軸に沿って通過する向きに偏芯回転ミラーのミラー面を固定し、光軸を通った光により溶液内でコンフォーカル照明を行う。 （もっと読む）

【課題】合成石英ガラス成形体に存在する不純物汚染による不良部位を確実に選別することが可能な合成石英ガラス成形体の検査方法を提供する。
【解決手段】合成石英ガラス成形体に対して、可視光を遮蔽又は減光するフィルターを通したＨｇランプの波長２５４ｎｍのスペクトル線を照度１０ｍＷ／ｃｍ^２以上という条件で照射する工程と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長２５４ｎｍの輝線強度と、前記合成石英ガラス成形体が発する波長５００ｎｍ〜６００ｎｍを中心とした緑色から黄色の蛍光の蛍光強度とを測定する工程と、前記輝線強度と前記蛍光強度との比（蛍光強度／輝線の強度）に基いて合成石英ガラス成形体の良部位を選別する工程と、を含む、合成石英ガラス成形体の検査方法。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高い精度でＳｉＨ_４ガスなどのガスの濃度を測定することができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】基板上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、レーザ光照射窓を備える成膜容器と、薄膜の原料である原料ガスを成膜容器に供給する原料ガス供給部と、原料ガスに希ガスを添加する希ガス添加部と、成膜容器の内部にプラズマを発生させるプラズマ発生部と、レーザ光照射窓から成膜容器の内部にレーザ光を照射するレーザ光照射部と、レーザ光照射部から照射されたレーザ光による、成膜容器の内部の空間の応答を検出する検出部と、検出部が検出した結果に基づいて、原料ガス供給部が供給する原料ガスの流量を制御する制御部と、を備えることを特徴とする薄膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】二酸化塩素の濃度を簡便かつ、精度良く計測できる技術を提供すること。
【解決手段】自身が保有する発色団の分子内にチロシン残基あるいはそれに類似した構造を持ち、二酸化塩素によって酸化的に修飾されることにより発色団が壊れて蛍光が弱くなる蛍光タンパク質からなる二酸化塩素濃度測定用タンパク質であり、オワンクラゲ（Aequorea victoria）から単離された緑色蛍光タンパク（ＧＦＰ）からなる二酸化塩素濃度測定用タンパク質。 （もっと読む）

【課題】エンジンの制御装置において、使用する燃料としての重油の性状をオンラインで検出して不具合の発生を未然に防止する。
【解決手段】第１燃料タンク２３Ａに貯留された燃料としての重油を燃料供給管２５から燃焼室１５に供給可能な燃料供給系２４を構成し、燃料供給管２５を流れる燃料の一部を分取してその燃料中の粗悪成分を検出するレーザ分析装置３０を設け、レーザ分析装置での分析の結果、燃料粗悪成分が所定の閾値を超えているか否かを確認し、燃料の良否を判定する燃料判定手段５１とを具備し、燃料判定手段の判定結果に基づいて前記エンジンを制御装置５２により制御する。 （もっと読む）

【課題】潤滑油の燃料油によるダイリューションの発生を早期に検出することができるエンジン用潤滑油のトレーサー物質検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本発明に係るエンジン用潤滑油のトレーサー物質検出装置４０Ａはディーゼルエンジン１０に供給される燃料油４３にトレーサー物質４４を供給するトレーサー物質供給ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を分取する潤滑油分取ラインＬ１２と、潤滑油分取ラインＬ１２で分取した潤滑油３２中に含まれるトレーサー物質４４を検知する分析装置４１と、を有し、分析装置４１で得られた分析結果から潤滑油３２中に燃料油４３が混入する希釈（ダイリューション）の発生の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】サンプル採取とサンプル分析との間の時間を短縮し、当該採取サンプルへの不純物混和を防止することである。
【解決手段】サンプルチャンバ３が浸漬ランスの浸漬端位置に配置される。サンプルチャンバ３は、その浸漬端位置に入口４を有する楕円形断面の平坦なサンプルチャンバであり、カートリッジ５内に固定される。サンプルチャンバ３は前記カートリッジ５を介して浸漬ランス２に移送され、その直ぐ後方に続く移送導管６を介して分光器７に移送される。 （もっと読む）

【課題】検出精度の高い蛍光センサ１０の補正方法を提供する。
【解決手段】実施形態の蛍光センサの補正方法は、励起光Ｅを発生するＬＥＤ素子１２と、蛍光Ｆを発生するインジケータ層１６と、蛍光Ｆに起因する蛍光検出信号に励起光Ｅに起因する励起光検出信号が重畳された検出信号を出力するＰＤ素子１３と、を具備し、温度検出機能および温度調整機能を有する蛍光センサ１０を用いて、第１の温度において第１の検出信号を取得する第１の検出信号取得工程と、第２の温度において第１の検出信号取得工程と同じアナライト量のときの第２の検出信号を取得する第２の検出信号取得工程と、第１の検出信号と第２の検出信号とにもとづいて、蛍光検出信号を算出するための補正係数を算出する補正係数算出工程と、補正係数と温度検出信号とを用いて以降の検出信号を補正する補正工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】検出される信号のＳＮ比を改善するように、（発光分光分析で）輝線の強度を、及び／又は（質量分析で）イオン化収量を増しながら、エッチング速度を高めると同時にエッチングの均質性を増すことが可能な、放電発光分光分析による有機（層）またはポリマー（層）を含む固体試料の分析方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの有機材料層を含む固体試料の放電発光分光分析による測定方法に関し、放電発光ランプに前記試料を配置するステップと、放電発光ランプに、少なくとも１つの希ガスと酸素とを含む混合気を投入し、酸素の濃度が混合気の１質量％〜１０質量％であるステップと、前記放電発光ランプの電極に無線周波数の放電を行って放電発光プラズマを発生するステップと、前記有機材料層を前記プラズマで照射するステップと、前記プラズマのイオン種及び／又は励起種を示す少なくとも１つの信号を分光分析により測定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、方式の異なる２方式で行っていた珪素鋼の溶鋼の定量分析を１方式に統一し、低エネルギー放電を用いた珪素鋼中Ｓｉの分析を迅速かつ安定的に実現する発光分光分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気中で珪素鋼試料の表面にパルスレーザを照射し、前記珪素鋼試料と対電極との間で複数回のスパーク放電を行い、発生するＳｉの固有スペクトル線を測定し、検量線を用いて珪素鋼中のＳｉ成分の含有量を分析する発光分光分析方法において、前記スパーク放電の放電時間を２００マイクロ秒以下、電流値を３００アンペア以下とすることを特徴とする珪素鋼中のＳｉ成分の含有量を分析する発光分光分析方法。 （もっと読む）

【課題】作業者の有する専門知識に左右されることなく、多変量の環境変化による影響にも対応した解析結果を得る技術を提供する。
【解決手段】本発明の反応解析装置は、ＬＩＢＳを用いた分光測定装置により反応条件を規定する条件属性と属性値が特定された物体を計測することで得られたスペクトルデータに基づいて求められる、前記条件属性と前記属性値とをパラメータとしてもつ収録データを格納する収録データ記憶部と、スペクトルデータが入力されるスペクトルデータ入力部と、前記収録データ記憶部に格納された収録データを用いて前記スペクトルデータに対して所定のパターン認識をするパターン認識処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】非接触型で、多種類のガスの濃度をほぼリアルタイムで測定することができる光学式ガスセンサの提供。
【解決手段】測定対象ガスが導入されるガスセルと、ガスセルにレーザー光を照射するレーザー装置と、ガスセルからのラマン散乱光を反射する反射機構と、反射機構により反射された前方および後方ラマン散乱光を集光するための波長選択フィルターを有する受光機構と、前方および／または後方ラマン散乱光に基づき測定対象ガスの濃度を算出する演算部と、を備えたガスセンサであって、検出対象となる一のガスの種別に応じた波長選択フィルターを選択可能に構成されたガスセンサ及びその方法。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生部に導かれる試料ガス中に含まれる液体試料の液滴を微細化する。
【解決手段】マイクロホローカソード放電を利用したプラズマ発生部１０２を容器４に取り付ける。容器４内には防御壁９−１，９−２を設置する。防御壁９−１，９−２には、その中心部を避けた位置（超音波振動子８の中心部に対向する位置から離れた位置）に、貫通孔９ｂが形成されている。１段目の防御壁９−１の貫通孔９ｂに対して、２段目の防御壁９−２の貫通孔９ｂを１８０゜離隔した位置とする。これにより、試料ガスに含まれている液滴の大きな液体試料が１段目の防御壁９−１で振り落とされ、残りの試料ガスが１段目の防御壁９−１の貫通孔９ｂ、２段目の防御壁９−２の貫通孔９ｂを通過し（試料ガスの中継経路が長くなる）、試料ガスに含まれる液体試料の液滴が微細化される。 （もっと読む）