【課題】半導体製造装置のチャンバあるいは搬送経路などの分析対象部に残留する物質を検出できる半導体装置の製造装置、残留成分の分析装置及び分析方法を提供する。
【解決手段】半導体製造のための所定の処理工程のために内部に基板が保持され、あるいは、処理工程の前後において内部に基板が搬送または収容される半導体装置の製造装置を構成する部分であり、内部における残留成分の分析対象となる分析対象部（１）と、分析対象部の内部に存在する残留成分から発せられる電磁波を受信する受信部５と、受信部で受信されて得られた信号を分光する分光部６とを有し、上記のように分光することにより、分析対象部の内部における残留成分を分析する。 （もっと読む）

【課題】取り外し可能なファームウェア（３０）を備えた試験片読取装置（１０）を開示する。
【解決手段】ファームウェアは、第１の電気接続端子（３２）と、データベースモジュール（３４）と、計算モジュール（３６）と、を含み、第１の電気接続端子（３２）を通して試験片読取装置の第２の電気接続端子（６１０）に取り外し可能に接続している。データベースモジュール（３４）は、試験片に対して複数の光反応式を記憶する。計算モジュール（３６）は、ファームウェアの第１の電気接続端子（３２）が第2の電気接続端子（６１０）から入力情報を受け取った後で、データベースモジュールから特定の光反応式を選択し、その特定の光反応式を計算する。 （もっと読む）

【構成】光源によって励起されたときに蛍光を発光できる種を含有するサンプルまたはサンプル成分を分析する分析システムおよび分析方法である。ここで使用する光源は、電圧／電流調整回路を持つ高電圧電源を備えたエキシマー光源からなる。 （もっと読む）

【課題】非侵襲で生体内の薬剤濃度分布を正確かつ迅速に測定できる薬剤濃度分布測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の生体内薬剤濃度分布測定装置１は、光を照射する光源３と、標識剤に光が照射された際に標識剤から生体外に放出される光が入射され、所定の波長域の光を透過するとともに、波長域を変更可能な液晶フィルタ４（波長可変フィルタ）と、液晶フィルタ４を通して入射された光の強度を検出して測定対象の複数位置から放出される光の強度分布を取得するエリアセンサ５（光検出手段）と、エリアセンサ５が取得した光強度分布に基づいて標識剤とともに投与された薬剤の濃度を算出するＤＳＰ６（薬剤濃度算出手段）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】他の化合物が存在していたとしてもチオールを検出することが可能なチオール分析物を検出するためのセンサ、センサアレイおよびチオール分析物の検出方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係るチオール分析物用センサは、チオール分析物との相互作用により物理的な性質が変化を受けるレドックス活性タンパク質と、レドックス活性タンパク質に物理的な性質の変化が生じると当該物理的な性質の変化を電気的な信号に変換するトランスデューサと、を備える。 （もっと読む）

【課題】分析すべき気体をイオン化する装置（２、６）と、イオン化された気体を分析する装置（４、５）とを備えた、制御された圧力下でエンクロージャ（３）内の気体を分析するガス分析システムを提供すること。
【解決手段】本発明によれば、
分析すべき気体をイオン化する装置（２、６）は、エンクロージャ（３）内に含まれれた気体と接触しかつ分析すべき気体からプラズマを発生させる発生器（６）に結合された専用プラズマ源（２）を備え、
イオン化された気体を分析する装置（４、５）は、プラズマが発生する領域の近傍に位置しかつ発生したプラズマによって放出された放射スペクトルの変動を分析する分光計（５）に接続された放射センサ（４）を備える。 （もっと読む）

（ａ）サンプルから光を集光するよう構成される対物レンズシステム；（ｂ）対物レンズシステムから受光された集光された光の一部を入力光として通過させるよう位置決めされる第１のアパーチャ；（ｃ）第１のアパーチャから受光された入力光を透過するよう位置決めされる第１のレンズ；（ｄ）第１のレンズから受光された入力光を第１の面で空間に分散させるよう構成される分散素子；（ｅ）空間に分散した光を透過するよう位置決めされる第２のレンズ；（ｆ）第２のレンズから受光された、空間に分散した光の一部を、検出光として通過させるよう位置決めされる第２のアパーチャ；および（ｇ）検出光を受光するよう位置決めされ、サンプルの、少なくとも１つの画像を形成するよう構成される検出器を含む、システムがここに開示される。
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【課題】試料ガスを、安全、簡便かつ前処理の時間を省いて測定でき、試料ガスと標準物質を混合して測定する際の問題を解決したポリ臭化ビフェニル、ポリ臭化ジフェニルエーテルなどの臭素を含む高分子化合物の分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】試料ガスとキャリアガスとの混合ガスをガスクロマトグラフ１０のインレット８に注入し、標準物質をマイクロシリンジ９からインレット８に注入する。気化室において標準物質は気化し、混合ガスと混合してカラム１１に流れて分離操作を受ける。カラム１１からのガスを質量分析計または原子励起検出器１２に送り、分析を行う。 （もっと読む）

【解決手段】開示される装置は、静電チャックのエッジビードに装着されるように構成されたエッジ接合シールを含む。エッジ接合シールは、光学的に監視可能な種を放出するように、又は監視可能な電気抵抗値を有するように、又はその両方であるように構成された第１の材料からなる監視層を含む。エッジ接合シールは、更に、少なくとも監視層とプラズマ環境との間に散在されるように構成されたエッジ接合層も含む。エッジ接合層は、プラズマ環境との反応に起因する浸食を受けやすくプラズマ環境に十分に暴露されると監視層をプラズマ環境に暴露させるように構成された第２の材料からなる。 （もっと読む）

【課題】ランス先端からの入射光のレベルが外乱要因により大きく変動したとしても、転炉や鍋等の容器内に収容された溶銑の成分の変化をオンラインで精度よく検出する。
【解決手段】上吹吹錬法において、送酸を行うランスの下端の送酸孔を含む部分をランスを介して撮影し、この撮影した画像の輝度分布からランスの下端の送酸孔４の下方に発生する火点５が発する放射光の放射光輝度Ｓを求め、この求めた放射光輝度の移動平均の値の相対的な時間変化量から溶銑の成分の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】生体での分布する化学発光物質や蛍光物質の画像をブレなく十分な露出量で撮影する。
【解決手段】蛍光物質が投与された生体３に麻酔ガスを吸引させるために装着されるマスク３５に呼吸センサ３６を組み込んである。また、拍動センサ３７が生体３に装着される。タイミング制御部３３は、イメージセンサ２１が光電変換し電荷を蓄積する状態を維持している下で、呼吸センサ３６と拍動センサ３７とからの各信号に基づいて、生体３の呼吸状態、拍動状態がいずれも特定の状態となるごとに、上部光源１６または底部光源１７をオンとして、励起光を生体３に照射し、蛍光物質から蛍光を発生させ。この蛍光をイメージセンサ２１で受光させる。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造鋳片や厚板等の中心偏析を、定量的かつ高精度で、しかも広い領域を迅速に評価することができる中心偏析評価方法を提案する。
【解決手段】連続鋳造鋳片および厚鋼板の中心偏析を評価する方法であって、ＥＰＭＡ等を用いて中心偏析部を含む領域の濃度マッピング分析を行い、Ｎｂ等の指標元素の濃度が所定の閾値濃度以上である面積を求め、その面積をもって中心偏析を評価することを特徴とする中心偏析評価方法。 （もっと読む）

本発明は、生物学的分析用の平坦な媒体の表面または本体内の生物分子標的の高速定量的測定のためのデバイスおよび方法に関する。本発明による方法は、ａ）少なくとも２つのレーザービーム（Ｆ’’）の同時交差によってこれらのビームを前記媒体の各測定点に集束させ重ね合わせて、標的に存在する測定される化学元素およびこの媒体に既知の量存在する標的の外部の別の化学元素を含む含有ホットプラズマ（Ｐ）を引き出すステップ、ｂ）定量される元素および外部元素に対応する各プラズマの発光光線を、各測定点に対して検出および分析すると共に、これらの光線の輝度を測定するステップ、次いで、ｃ）定量される元素の各測定点の濃度を、定量される元素の光線の事前較正によって決定して、前記元素に特有の光線の輝度と、定量される元素と外部元素の既知の割合の混合物中の前記元素の濃度との間の相関性を決定するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】エレクトロルミネッセンス素子の発光中心の深さ方向分布および面内分布を非破壊で解析可能なエレクトロルミネッセンス素子の３次元発光中心分布の解析方法を提供する。
【解決手段】スペクトルイメージング分光装置を用いて、解析対象のエレクトロルミネッセンス素子の素子発光面内におけるエレクトロルミネッセンススペクトルのマッピング測定を行い、エレクトロルミネッセンススペクトルマップを作成するステップと、エレクトロルミネッセンス素子の深さ方向に単一発光領域を予測して分布関数を設定し、該分布関数を構成するパラメータがエレクトロルミネッセンススペクトルの測定値を満足するように光多重干渉を考慮した計算法を用いてフィッティングを行い、発光中心の最適な素子深さ方向分布および素子面内分布を推定するステップとを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析により炭素質材料に含まれる元素をより迅速且つ容易に定量分析する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置２０は、蛍光Ｘ線分析方法とは異なる第２の測定方法（例えばＩＣＰ発光分析法）によって炭素質材料に含まれる含有元素の含有量を求めると共に、蛍光Ｘ線測定ユニット３０によってこの含有元素の強度値を求め、得られた含有量と強度値との対応関係情報（検量線）をＨＤＤ２５に記憶し、未知試料を蛍光Ｘ線の強度を検出し、この含有元素の強度値とＨＤＤ２５に記憶された対応関係情報とに基づいてこの未知試料の含有元素の含有量を定量する。蛍光Ｘ線分析方法では、炭素に対する感度がないが、第２の測定方法を利用することにより、定量可能とし、試料に含まれている元素の定量を非破壊で迅速に行う。 （もっと読む）

【課題】不活性雰囲気における試料の分光分析を容易にし、且つ／又は試料の分析を行っている状態で試料と雰囲気との反応を開始させることができる分光分析用試料容器を提供する。
【解決手段】分光分析用試料容器１０の内側領域と外側領域とを隔てる試料容器壁、及び分光分析を行うための分析窓１６を有し、且つ分析される試料１を試料容器の内側領域に密封できる、分光分析用試料容器１０であって、試料容器壁及び／又は分析窓１６の少なくとも一部が、樹脂フィルムによって形成されていることを特徴とする、分光分析用試料容器とする。また、（ａ）本発明の分光分析用試料容器１０の内側領域に、試料１を密封し、（ｂ）この試料容器を、分光分析装置の試料ステージ上に配置し、そして（ｃ）この試料容器の樹脂フィルム１６を開封することを含む、分光分析方法とする。 （もっと読む）

【課題】微小間隔でスポットされた検体を解析する際もスポット間の干渉による測定誤差を低減できる生体物質検出装置を提供する。
【解決手段】隣り合う第１および第２のサンプルスポット211,212が異なる発光スペクトルで発光するように複数種類の標識酵素で標識した検体をアレイ状に定着したスライド101を対象とし、スライド101の画像を取得するカラー画像取得部102と、カラー画像取得部102からのカラー画像情報111から標識酵素の種類毎に対応した画像情報を抽出し、抽出した複数の抽出画像情報112,113を出力する画像抽出回路103と、複数の抽出画像情報112,113の各々に対応して設けられていて、各抽出画像情報112,113間で定量的な評価が可能となるように各抽出画像情報112,113を補正し、補正画像情報114,115を出力する第１および第２の画像補正回路104,105とを備えた生体物質検出装置とする。 （もっと読む）

【課題】磁気標識が付着した生物学的分子などの被標識物質を効果的に捕捉し、誘導搬送することができ、更にはその被標識物質の同定、計数および選別を効率よく行うことができる装置および方法を提供する。
【解決手段】ターゲット分子２に付着した磁気標識４は、当初ＭＲセンサ１２（ｄ）の磁界によって右側のエッジ引き付けられ、且つそれ自体が磁化される（（Ａ））。外部磁界１００が印加されると、磁気標識４は再磁化され、ＭＲセンサ１２（ｄ）の左側のエッジに移動する（（Ｂ））。続いて、外部磁界１００がオフになると、磁気標識４はＭＲセンサ１２（ｄ）から解放され、ＭＲセンサ１２（ｃ）により捕獲される（（Ｃ））。再び外部磁界１００が印加されることにより、磁気標識４はＭＲセンサ１２（ｃ）の左側のエッジに移動する（（Ｄ））。このような捕獲・解放過程の繰り返しにより磁気標識４がアレイに沿って搬送される。 （もっと読む）

【課題】検査対象の発光素子に対する物理的な接触が無くても漏れ電流の有無のような不良の可否を判断することができる発光素子検査装置及びこれを用いた発光素子検査方法が提案される。
【解決手段】本発明の発光素子検査装置は、発光素子にＵＶを照射するＵＶ照射部、ＵＶが照射された発光素子のイメージを生成するイメージ生成部及び発光素子のイメージから発光素子の色相または強度情報を取得し色相または光強度情報に基づいて発光素子の不良の可否を判断する制御部を含む。 （もっと読む）

本発明は、（ａ）試験すべき血清又は血漿サンプルを備え；そして（ｂ）表１ａ又は１ｂに定義された群から選択される２つ又はそれ以上のタンパク質の、試験サンプル中における存在及び／又は量を測定することにより、試験サンプルのタンパク質シグネチャーを決定する工程を含む、個体における乳がん細胞の存在を決定するための方法であって、表１ａ又は１ｂに定義された群から選択される２つ又はそれ以上のタンパク質の、試験サンプル中における存在及び／又は量が乳がん細胞の存在の指標となる方法を提供する。好ましい実施態様において、２つ又はそれ以上のタンパク質はＩＬ−５及び／又はＭＣＰ−３を含む。また、本発明の方法で使用するためのアレイ及び診断キットも提供される。
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