【課題】試料に対する前処理工程が不要で、リアルタイムに各種プラントのパイプ内部を流れる液体や気体などの各種成分の分光分析測定が行える分光分析装置を実現する。
【解決手段】パイプの内部を流れる被測定試料を分光分析する分光分析装置において、前記パイプの管壁に設けられた窓部から前記パイプの内部に電子を放出して前記被測定試料の原子を励起する電子放出素子と、この電子放出素子を駆動する電源と、前記励起された原子が基底状態に戻るときに発生する原子固有の波長の光を前記パイプの管壁に設けられた窓部から取り込み分光分析する分光分析部、とで構成されたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】検出信号が電子線照射に伴い経時変化するような試料において、カソードルミネッセンス特性のマッピング評価を短時間で実施すること。
【解決手段】カソードルミネッセンスのマッピング測定において、
隣接点を連続で測定しない電子線のスキャン方式を採用する。これによって、事前測定点の電子線照射の影響がなくなるまでの時間は事前測定点からある一定の距離離れた点を測定する事が可能となるため、従来の電子線スキャン方式で必要であったウェイト時間を短縮することでマッピング測定時間を大幅に短縮する事ができる。 （もっと読む）

【課題】内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能な、紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置を用いた治療器を提供する。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子２０の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片２５へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止し、かかるＸ線発生装置とともにＸ線照射部位から放出される各種の光を検出する検出器を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】原子吸光分析装置において、アトマイザーと光源との同期を簡易な構成によって実現すること。
【解決手段】原子吸光分析装置は、アトマイザー１と、光源２と、分析装置３と、電源装置４とによって構成されている。電源装置４は、図３に示すように、交流電源５と、半波整流回路６とによって構成されている。交流電源５は、商用の６０ＨｚのＡＣ電源を昇圧した電源であり、アトマイザー１と交流電源５は直接接続され、光源２は半波整流回路６を介して交流電源５に接続されている。アトマイザー１には、交流電源５からの６０Ｈｚの交流電圧がそのまま印加される。半波整流回路６は、たとえばダイオードなどを用いた回路であり、６０Ｈｚの交流電圧を半波整流して出力する。そして、その半波整流された電圧が光源２に印加される。 （もっと読む）

【課題】 真空紫外領域用の電子線励起発光検出装置が正常であることを示すと共に、試料の発光強度の定量的な比較や発光に寄与する元素の定量に基準となる、校正用標準試料を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、バンドギャップエネルギーが６．２ｅＶ以上の酸化物結晶よりなる電子線励起真空紫外発光測定装置用の校正用標準試料、測定試料及び該校正用標準試料の電子励起真空紫外発光を同じ測定条件で測定し、測定試料と校正用標準試料の発光強度の比（測定試料の発光強度／校正用標準試料の発光強度）を求める電子線励起真空紫外発光強度の定量的測定方法である。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーを用いずに伝送する光検出装置及び光伝送装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２内の試料台５に試料４が載置される。電子線照射部１から楕円面鏡３の孔部３０を通過して試料４の試料面に電子線が照射される。照射スポットに位置する試料４の試料面の一部が励起して散乱光を発する。散乱光は、楕円面鏡３の内面での反射により楕円面鏡３の２焦点と異なる位置に集光されて非散乱光に変換される。非散乱光は、チャンバ２の開口部２４を気密封止しているコリメートレンズ２１を通過して平行化され、チャンバ２外の分光部７へ伝送される。分光部７は、伝送された光を検出する。 （もっと読む）

【課題】正確な結晶欠陥量の制御を行うことができる電力用半導体装置の製造方法および電力用半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】電力用半導体装置の製造方法は、シリコンウエハ２を準備する工程と、シリコンウエハ２に電子線を照射する工程と、電子線の照射中にシリコンウエハ２から発生するカソードルミネセンス光の強度および波長を解析してシリコンウエハ２の結晶欠陥の量を検査する工程と、結晶欠陥の量を検査する工程により結晶欠陥の量を所定の値に制御するように電子線を照射する工程を有している。 （もっと読む）

【課題】偏極電子ビームを簡便に発生させることができる偏極電子銃、偏極電子線の発生方法、電子銃の評価方法、及び逆光電子分光方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる偏極電子銃は、レーザ光源１１と、レーザ光源からの光を分岐する光分岐手段１２と、光分岐手段１２で分岐された一方のレーザ光に入射位置に応じた位相差を与える偏光変換素子３６と、偏光変換素子３６を介して入射した一方のレーザ光を集光するレンズ１８と、レンズ１８によって集光された一方のレーザ光が他方のレーザ光と同期して入射する半導体のフォトカソード２１と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】スペクトルデータを生成せずに試料の分析が行なえ、測定時間を短縮することができる分析装置を提供する。
【解決手段】試料にエネルギ線を照射するエネルギ線照射部と、エネルギ線が照射された試料から発する光の強度を測定する光検出部と、分析を行う波長領域において、光の波長と当該波長における光の透過率とが１対１の対応関係にある特性を有する光学フィルタと、光検出部が受光する光の光路上に光学フィルタを移動可能に設置する光学フィルタ移動部、又は、光学フィルタを光検出部が受光する光の光路上に設置するよう若しくは光路上から除去するように指示する光学フィルタ指示部と、光検出部からの出力信号を受信して、光学フィルタを設置せずに測定された試料からの発光強度Ａを示す出力信号と、光学フィルタを設置して測定された試料からの発光強度Ｂを示す出力信号とから、光学フィルタを透過した光の強度の割合を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる検査方法及び検査装置に関し、該試料の光学像と、一次線（電子線、荷電粒子線）を用いた像の同時取得を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面に接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され、膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、一次線７の照射により試料２０に含まれる検査対象物から発生する二次的信号を検出する信号検出手段４と、該検査対象物の光学像を取得する光学像取得手段を備え、該一次線照射手段と該光学増取得手段とが該膜３２を間に介して対向配置されており、該膜３２が遮光性を有している。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造鋳片や厚板等の中心偏析を、定量的かつ高精度で、しかも広い領域を迅速に評価することができる中心偏析評価方法を提案する。
【解決手段】連続鋳造鋳片および厚鋼板の中心偏析を評価する方法であって、ＥＰＭＡ等を用いて中心偏析部を含む領域の濃度マッピング分析を行い、Ｎｂ等の指標元素の濃度が所定の閾値濃度以上である面積を求め、その面積をもって中心偏析を評価することを特徴とする中心偏析評価方法。 （もっと読む）

【課題】生物学的用途のための優れた有機発光半導体ナノクリスタルプローブを提供すること。
【解決手段】親和性分子に連結でき、かつ励起された場合に狭い波長バンドの電磁放射線を放射し得る発光半導体ナノクリスタル化合物であって、該化合物は、以下のａ）およびｂ）を含有する：
ａ）励起された場合に狭い波長バンドの光を放射し得る半導体ナノクリスタル；および
ｂ）該半導体ナノクリスタルに連結し、かつ該親和性分子に連結し得る少なくとも１種の連結剤。好ましくは、前記半導体ナノクリスタルが、広いバンド幅にわたって、エネルギーを吸収し得る。 （もっと読む）

【課題】膜厚に起因するピークシフトの影響を除去することである。
【解決手段】薄膜試料Ｗに向かって電子線を照射する電子線照射部と、前記電子線の照射によって薄膜試料Ｗから発生する光）Ｌを分光し、検出する光検出部と、前記光検出部からの出力信号を受信して光）Ｌのスペクトルのピーク波長である測定ピーク波長を算出するピーク波長算出部４１と、膜厚既知の標準試料により得られた膜厚とその膜厚におけるピーク波長である基準ピーク波長との関係を示す基準データを格納する基準データ格納部Ｄ１と、前記基準データから前記薄膜試料Ｗの膜厚に対する基準ピーク波長を算出する基準ピーク波長設定部４２と、前記測定ピーク波長及び前記基準ピーク波長をパラメータとして、前記薄膜試料Ｗの状態を分析する分析部４３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光の進行方向の変更に用いる反射鏡を高精度に回転制御できるコンパクトな回転装置を提供する。
【解決手段】反射鏡用の回転装置２０は、光の進行方向の変更に用いる反射鏡１４に固定された第１回転軸２１と、第１回転軸２１から所定の間隔を離れて配された第２回転軸２４と、第１および第２回転軸２１、２４との間を連結して構成され、第２回転軸２４のトルクを第１回転軸２１に伝達しているリンク機構３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】標本から受容される光を集めるように配置されるとともに、分析軸に交差する光軸に概ね沿うよう光を向けるミラーを用いる構成において、分析軸と、光軸に沿って位置決めされる光学系との双方に対して、ミラーが正確かつ反復性をもって位置決めされるようにする。
【解決手段】ミラー（１８）は、分析軸上の作動位置に挿入可能、かつ分析軸から離れた非作動位置に後退可能である。調整可能な第１マウント（４４）が放物面ミラー（１８）の挿入位置を定める。また、調整可能な第２マウント（４６）が放物面ミラー（１８）の後退位置を定めるとともに、作動位置から非作動位置へ後退する間にミラーの位置を定める。 （もっと読む）

【課題】結晶を破壊することなく簡便に精度良く転位を評価する方法を提供する。
【解決手段】結晶試料の表面にＸ線を照射することにより、逆格子空間における結晶試料の非対称回折面からの水平方向の強度分布曲線を作成し、該強度分布曲線の半値幅により結晶試料の転位を評価する。 （もっと読む）

【課題】 優れた深さ空間分解能および空間分解能を有するカソードルミネッセンス装置の提供
【解決手段】試料台に載置される試料の表面の近傍に、試料側に突出し、その頂部に照射電子線および試料からの発光を透過させるための小孔を有する採光部をもつカソードルミネッセンス測定装置。
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【課題】ヘドロ、廃液、土壌中に含まれる固体元素の原子の同定及び定量を可能とする。
【解決手段】一対の微小電極間に放電ガスを流して、非平衡大気圧プラズマを発生するプラズマ発生装置１０と、非平衡大気圧プラズマを照射する照射対象物２２が設置され、プラズマ発生装置により発生された非平衡大気圧プラズマを照射対象物に誘導するプラズマ誘導電極２１を有し、プラズマ発生装置の電極とプラズマ誘導電極の間にバイアス電圧を印加して、非平衡大気圧プラズマを照射対象物に照射するバイアス電圧印加装置と、非平衡大気圧プラズマの照射により、照射対象物を構成する物質を原子化し、この原子を吸光分析する分光装置とから成る。 （もっと読む）

ラマン分光装置において、励起光はラインフォーカス（３８）としてサンプル（２６）上に焦点を合わせられる。ラインフォーカス内のポイントからのスペクトルは、２次元配列のピクセルを有するＣＣＤ検出器（３４）の行（４６）に散乱される。そのラインフォーカスは、サンプルに対して方向Ｙ（矢印４８）に長手方向に移動する。同時にかつ同期して、電荷は、サンプルの所与のポイントからのデータが蓄積し続けるように、ＣＣＤ内で平行方向Ｙ´（矢印５０）にシフトされる。これは、各サンプルポイントからのデータが照明に起因し、ラインフォーカスに沿ってまとめられることを確実にし、また、サンプルのイメージを形成するように続いて一緒にデータを合わせることをより容易にする。
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【課題】試料の大きさに影響されない低転送倍率の試料測定装置を提供することである。
【解決手段】エネルギ線ＥＢを試料Ｗに照射することにより生じる光ＣＬを測定する試料測定装置１であって、試料Ｗを収容する試料収容部２と、前記試料収容部２内の試料Ｗにエネルギ線ＥＢを照射するエネルギ線照射部３と、前記エネルギ線ＥＢが照射された試料Ｗから生じる光ＣＬを集光する集光ミラー４１と、前記集光ミラー４１により集光された光ＣＬを受光して、前記試料収容部２外に伝送する光ファイバ４２と、を備え、前記光ファイバ４２が、前記試料収容部２内において、前記集光ミラー４１に近い支持部４２ａと、前記集光ミラー４１から遠い支持部４２ｂとで支持されている。 （もっと読む）