【課題】試料溶液に放電を生じさせ、そのプラズマ中の発光により分析を行うときの検出感度と検出精度及び再現性を向上させる。
【解決手段】狭小部を設けた流路１０１に導電性の試料溶液を満たし、流路に電界を印加して生じた気泡にプラズマを発生させ、流路中の狭小部以外の領域を計測の対象領域として発光を計測する。 （もっと読む）

【課題】人体内等における量的な分析物測度を獲得するための、外部ユニット（１０１ａ）および内部ユニット（１０２ａ）を含む量的測定システムを提供する。
【解決手段】内部ユニット（１０２ａ）が患者の体内に埋め込まれる。内部ユニット（１０２ａ）は、光学電子回路（１０２ｂ）を含んでおり、そのコンポーネントは、蛍光センシング・デバイスを備える。光学電子回路（１０２ｂ）は、量的測度情報を獲得する。負荷（１０２ｃ）は、外部ユニット（１０１ａ）のコイル（１０１ｆ）に結合されているコイル（１０２ｄ）を通る電流量を変化させる。復調器（１０１ｂ）が、外部コイル（１０１ｆ）内の内部コイル（１０２ｄ）によって誘導された電流の変動を検出し、検出した信号をプロセッシング回路、たとえばパルス・カウンタ（１０１ｃ）およびコンピュータ・インターフェース（１０１ｄ）等に印加する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、方式の異なる２方式で行っていた珪素鋼の溶鋼の定量分析を１方式に統一し、低エネルギー放電を用いた珪素鋼中Ｓｉの分析を迅速かつ安定的に実現する発光分光分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】不活性ガス雰囲気中で珪素鋼試料の表面にパルスレーザを照射し、前記珪素鋼試料と対電極との間で複数回のスパーク放電を行い、発生するＳｉの固有スペクトル線を測定し、検量線を用いて珪素鋼中のＳｉ成分の含有量を分析する発光分光分析方法において、前記スパーク放電の放電時間を２００マイクロ秒以下、電流値を３００アンペア以下とすることを特徴とする珪素鋼中のＳｉ成分の含有量を分析する発光分光分析方法。 （もっと読む）

【課題】装置の動作異常の原因究明を短時間で簡単に行え、その異常部分を短時間で正常にすることができるＸ線分析装置および発光分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し発生する２次Ｘ線６の強度をＸ線検出器７で測定する装置であって、分析室１０の真空度と温度、Ｘ線検出器７の高電圧、Ｘ線検出器７のフローガス流量のうちの少なくとも１つの計測値を求める計測手段１３と、当該装置の動作の異常を検出する異常検出手段２１と、現時点以前の所定の時間内の計測値の時系列を記憶しながら現時点以前の所定の時間内から外れた計測値の時系列を順に消去する記憶手段２２と、異常検出手段２１が異常を検出すると、記憶手段２２から記憶されている計測値の時系列を読出して記憶し、警告情報または異常情報、および記憶した時系列を表示手段２３に表示させる管理手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】成分元素のスペクトル強度のばらつきを抑える。
【解決手段】蓄放電手段に蓄えられたエネルギーを、電極と試料との間のギャップに供給してパルス発光を生じる発光分光分析装置において、パルス発光前の前記蓄放電手段に充電するエネルギーを検出する検出手段と、パルス発光後の前記蓄放電手段に残留するエネルギーを検出する検出手段とを備える。検出された光が蓄放電手段に蓄えた十分なエネルギーによって得られた発光か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】試料と対電極間隔を特別な状態に調整することなく、レーザを照射した箇所にスパーク放電を発生させ、金属試料の微小領域における成分を分析するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】金属試料と対電極との間にスパーク放電を発生させ、発生したスパーク放電による発光スペクトルを分光することで、金属試料の成分を分析する発光分光分析法において、対電極の先端より金属試料へ下ろした垂線の足を中心として半径３．０ｍｍ以内の金属試料表面に対し、該表面におけるパワー密度が１０^９Ｗ／ｃｍ^２以上であるパルスレーザを照射し、該パルスレーザの照射後２００μｓ以内に、金属試料のレーザ照射部位と対電極との間にスパーク放電を発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、可変振幅及び／又はピーク間持続時間を有する複数の比較的高い電流及び高い勾配のピークを含む第１の変調部分と、変調ピークを実質的に持たない比較的低い電流及び低い勾配の第２の変調部分とを含む電流波形を有する発光分光測定（ＯＥＳ）のためのスパークを発生させるスパーク発生器を提供する。好ましくは、スパークは、２つ又はそれよりも多くのプログラマブル電流源から発生される。本発明はまた、スパーク発生器を備える発光分光計と、スパーク発生器を用いた発光分光測定の方法とを提供する。 （もっと読む）

【構成】光源によって励起されたときに蛍光を発光できる種を含有するサンプルまたはサンプル成分を分析する分析システムおよび分析方法である。ここで使用する光源は、電圧／電流調整回路を持つ高電圧電源を備えたエキシマー光源からなる。 （もっと読む）

【課題】絶縁体の性能を変化させないで、放電発光自体の発光強度を上げて、検出感度を向上させる。
【解決手段】本発明は、圧力容器内部に高電圧を印加する導体を有し、かつ絶縁ガスを充填したガス絶縁機器と、圧力容器内部の部分放電発光を検出して観察することのできる光学測定装置を備える。この絶縁ガスとしての電気負性ガスに0.1vol％〜10vol％の窒素ガスN₂を混入した混合ガスを用いる。 （もっと読む）

本発明は、媒体を汚染に晒すことなく媒体中の検体を測定するシステムおよび方法を提供する。システムおよび方法は、ルアーキャップに埋め込まれ、読取りデバイスにデータを無線で送信することができる、小型のセンサデバイスの新規な組み合わせを用いる。
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【課題】オシロスコープ等の測定機器を用いずに放電強度の時間的変化を確認できるような機能を持たせる。
【解決手段】単一波長の発光光を検出する検出器の検出信号を積分する積分器の積分開始と積分終了とで決まる測定期間をずらしながら、それぞれｎ回の繰り返し放電に対する積分データを取得する。同一の測定期間に対して得られたｎ個の積分データを平均して平均値データを求め、放電開始から終了までの期間をカバーするように設定した複数の測定期間毎の平均値データをデータ補間処理することで連続波形を得る。この連続波形を指定波長の放電プロファイル波形として表示部に出力する。 （もっと読む）

【課題】例えば、欧州のＲｏＨＳ指令に対応できる製品であるか否かを、製造ラインや製品形態において、簡便、かつ、高速に検査し、規制値以上のものをスクリーニングすることができる物質分析装置を提供する。
【解決手段】スパークプラグの高電圧放電により生成したマイクロプラズマをマイクロ波エネルギでアシストし被測定物の少なくとも一部をプラズマ化させるマイクロ波併用プラズマ生成手段と、分光分析手段とを備え、プラズマ生成手段によりプラズマを生成し、被測定物の少なくとも一部をプラズマ化させ、分光分析手段による発光分析により、特定の物質を検出する。 （もっと読む）

【課題】１パルスの放電における試料の発光状態について詳細なデータが得られるようにする。
【解決手段】分光部６は、光検出器から出力される光電流を１０μ秒以下の時間分解能をもってＡＤ変換するＡＤ変換部８に電流‐電圧変換部１１を介して接続されている。ＡＤ変換部８はメモリ２４に接続されており、ＡＤ変換部８でデジタル変換されたデータが時系列的にメモリ２４に格納される。演算処理部１２はメモリ２４に格納されているデータを用いて、１パルスの放電において作業者が任意に設定した領域のデジタルデータを積算処理する。
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本発明の目的は、二次真空のオーダの圧力のガスを分析するためのガス分析システム（２）である。このシステムは、円筒状ボリューム（１１）を画成する導電性壁部（１２）と、少なくとも１つの中央貫通穴（３１）を有するディスク（１５）とを有するカソード（１４）と、穴（３１）の実質的に中央に配置されるアノード（１３）と、電場Ｅ（１７）、および電場Ｅ（１７）に対して直交する磁場Ｂ（１９）の作用の組合せにより円筒状ボリューム中で生成されるプラズマのプラズマ発生源とを備えるガス・イオン化デバイス（４）と、プラズマにより発せられる光放射を集めるためのシステムと、円筒状ボリューム（１１）のコンダクタンスよりも低いコンダクタンスを有し、イオン化デバイス（５）と集光システム（５）との間に配置される、アノード（１３）と同軸の円筒状空洞部（２３）と、放射スペクトルの展開を分析するための光学分光器（４１）を備える、イオン化されたガスの分析デバイス（６）とを備える。好ましくは、円筒状ボリューム（１１）の対向側の空洞部（２３）の端部が、プラズマにより発せられる光放射に対して直交する窓（２１）によって閉じられる。
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本発明の態様は、1つまたは複数のガス、たとえば、プラズマエッチングまたはプラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの半導体製造プロセスから採取されたガス混合物の成分分析に関する。特定の態様は、多数の分子および分子断片を個々の原子に解離させるために、試料のプラズマに十分な電力を提供する。十分な電力（典型的には3〜40 W/cm³の出力密度）がプラズマに送出されると、発光ピークのほとんどが個々の原子の発光により生じ、それによって、試験されているガスの化学組成の同定を単純化するのに役立つスペクトルを作製することができる。このようにガスの成分を正確に同定することによって、行われているプロセスの段階を正確に決定すること、特に、プロセスのエンドポイントを検出することができる。

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【課題】従来のグロー放電発光分析方法では正確に測定強度を測定することが困難な薄膜を有する測定対象材についての測定を行なうことが可能な測定方法、測定装置および当該測定方法によって測定された薄膜を備えるエピタキシャル基板を提供する。
【解決手段】本発明に従った測定方法は、基板（試料Ｓ）を準備する工程と、測定工程とを備える。測定工程では、グロー放電発光分析法を用いて、試料Ｓの表面からの深さ方向における成分元素の濃度分布を測定する。具体的には、試料Ｓに給電することによりグロー放電による発光を発生させ、当該発光を波長ごとに分光して分光した光の強度を測定することにより、試料Ｓの深さ方向における成分元素の濃度分布の測定を行なう。測定工程において、強度を測定する光のエネルギーは試料Ｓのバンドギャップエネルギーより大きい。 （もっと読む）

【課題】プラズマトーチの種類や試料の溶媒の種類に応じて、インピーダンス整合を適切に行えるＩＣＰ用高周波電源装置を提供する。
【解決手段】電力供給部３と、誘導コイル２のインピーダンスと電力供給部３の出力インピーダンスとを調整するインピーダンス調整部４と、電力供給部３及びインピーダンス調整部４を制御する制御部５と、プラズマの点灯に適したインピーダンス調整部４のインピーダンス設定値２６をプラズマトーチの種類毎に記憶する点灯時設定値記憶部１０と、点灯時設定値記憶部１０に保存されているインピーダンス設定値２６を予め設定されたプラズマトーチの種類に応じて読み出し、プラズマの点灯時に、インピーダンス調整部４に対してインピーダンス設定値２６の設定を行う点灯時インピーダンス設定部９とを備える。 （もっと読む）

【課題】回路の構成要素を減らすことができ、分光分析用の誘導結合プラズマを励起して保持するための比較的安価なＲＦ発電機を提供する。
【解決手段】分光分析のための、トーチ２７内で誘導結合プラズマを励起する誘導コイル２６のためのＲＦ発電機１０。発電機１０は、誘導コイル２６と、並列接続させたコンデンサ２５とを備えた共振負荷回路１６にＲＦ電力を供給するためにゲート駆動電圧２２を介して固体スイッチング装置２０のオン・オフを交互に切り替えるためのスイッチング回路１２を備えている。各固定スイッチング装置２０のためのゲート駆動回路２４はそれぞれ、誘導コイル２６の導線と互いに誘導結合する一部分３０を有し、ゲート駆動電圧２２を提供する。 （もっと読む）

【課題】発光分析装置においては、多数のスパーク放電を行により、電極上に試料電極から蒸発した堆積物が形成され、これを除去するための電極の研磨作業が負担となる。
【解決手段】放電ギャップとイグナイタ回路と主放電電源を有する発光分析装置で、イグナイタ回路はイグニッショントランスと一対の電流制御装置と励磁電源とを有し、イグニッショントランスの二次コイルには放電ギャップと主放電電源が直列に接続されて主放電電流経路を形成し、イグニッショントランスの一次コイルには一対の電流制御装置と前記励磁電源が直列に接続されて励磁電流経路を形成し、さらに一対の電流制御装置は、互いに逆の極性で接続される。励磁電源の電圧極性を反転することで、イグニッショントランスの二次コイルに発生させる高電圧の極性を反転し、同時に主放電電源の電圧極性を反転することで、主放電電流の向きを反転する。逆極性の放電により電極上の堆積物を除去する。 （もっと読む）

【課題】ＩＣＰ分析装置に装着されているプラズマトーチの種類と該分析装置に設定されているプラズマトーチの種類が同一であるか否かを自動的に判定する。
【解決手段】トーチの種類毎に、インピーダンス調整部の標準設定値及び標準設定値における反射電力値を記憶部に保存しておく。インピーダンス調整部の設定値を前記標準設定値としたときに得られる反射電力値と、記憶部に保存されている反射電力値とを比較することにより、ＩＣＰ分析装置に設定されているトーチの種類とＩＣＰ分析装置に装着されているトーチの種類とが同一であるか否かを判定する。インピーダンス調整部の標準設定値を所定範囲で変動させたときに得られる反射電力値の変化に基づき演算を行った値からトーチの判定を行ってもよい。トーチの溶損を確実に防止するためには、設定されているトーチと装着されているトーチが異なる場合に、誘導コイルへの電力供給が自動的に停止する構成とするのが望ましい。 （もっと読む）