【課題】従来のグロー放電発光分析方法では正確に測定強度を測定することが困難な薄膜を有する測定対象材についての測定を行なうことが可能な測定方法、測定装置および当該測定方法によって測定された薄膜を備えるエピタキシャル基板を提供する。
【解決手段】本発明に従った測定方法は、基板（試料Ｓ）を準備する工程と、測定工程とを備える。測定工程では、グロー放電発光分析法を用いて、試料Ｓの表面からの深さ方向における成分元素の濃度分布を測定する。具体的には、試料Ｓに給電することによりグロー放電による発光を発生させ、当該発光を波長ごとに分光して分光した光の強度を測定することにより、試料Ｓの深さ方向における成分元素の濃度分布の測定を行なう。測定工程において、強度を測定する光のエネルギーは試料Ｓのバンドギャップエネルギーより大きい。 （もっと読む）

【課題】ＩＣＰ分析装置に装着されているプラズマトーチの種類を自動的に識別する。
【解決手段】プラズマ点灯時の反射電力が最小となるように誘導コイルのインピーダンスと電力供給部の出力インピーダンスとを整合させるインピーダンス調整部と、プラズマトーチの種類毎に整合時の設定値が保存された設定値記憶部と、前記インピーダンス調整部による整合時の設定値と前記設定値記憶部に保存されている標準設定値とに基づきＩＣＰ分析装置に装着されているプラズマトーチの種類を識別する識別手段と、を備えたＩＣＰ分析装置とする。トーチの溶損やトーチ周辺部の損傷を自動的に未然に防止するためには、制御部に対して設定されているトーチの種類と実際に装着されているトーチとが異なっている場合に、誘導コイルへの電力供給が停止する構成とするのが望ましい。 （もっと読む）

【課題】ＩＣＰ分析装置に装着されているプラズマトーチの種類と該分析装置に設定されているプラズマトーチの種類が同一であるか否かを自動的に判定する。
【解決手段】トーチの種類毎に、インピーダンス調整部の標準設定値及び標準設定値における反射電力値を記憶部に保存しておく。インピーダンス調整部の設定値を前記標準設定値としたときに得られる反射電力値と、記憶部に保存されている反射電力値とを比較することにより、ＩＣＰ分析装置に設定されているトーチの種類とＩＣＰ分析装置に装着されているトーチの種類とが同一であるか否かを判定する。インピーダンス調整部の標準設定値を所定範囲で変動させたときに得られる反射電力値の変化に基づき演算を行った値からトーチの判定を行ってもよい。トーチの溶損を確実に防止するためには、設定されているトーチと装着されているトーチが異なる場合に、誘導コイルへの電力供給が自動的に停止する構成とするのが望ましい。 （もっと読む）

差動マイクロ放電検出器システム。当該システムは２つのマイクロ放電検出器（ＭＤＤ）を含む。ＭＤＤのうちの一方は、測定されるサンプル分析物を受け入れるように接続され、他方のＭＤＤは、干渉するガスを含むと共に、測定されるサンプル分析物を全く含まないか、又ははるかに低い濃度で含む基準サンプルを取り込むように接続される。２つのＭＤＤの出力は、２つのＭＤＤの測定値間の差又は比のいずれかを生成する回路に供給される。さらに、２つのＭＤＤの電極間の電流、インピーダンス又は電圧を測定及び処理して、差又は比のいずれかの信号を生成し、それにより、サンプルガス分析物についての付加情報を得ることができる。
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