【課題】フィルター部材に目詰まりが生じ難く、メンテナンスが容易な吸引式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】ガスＧが導入されるガス導入口３と、ガスＧが排出されるガス排出口と、ガス導入口３とガス排出口とを連通するガス流路Ｐと、ガス導入口３を介してガス流路Ｐにガスを吸引するガス吸引手段と、ガス流路Ｐに吸引されたガスＧを検知するガス検知素子と、ガス吸引手段及びガス検知素子よりもガス流路の上流側に設けてあるフィルター部材１４とを備える吸引式ガス検知器であって、ガス導入口３とフィルター部材１４との間のガス流路Ｐに、ガスＧの流速を減速させるトラップ部材Ｔを設けてある吸引式ガス検知器。 （もっと読む）

【課題】作業者の手などが誤ってガス導入口に触れてこれを塞いだとしても、ガス検知が中断されることのない吸引式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】ガスＧが導入されるガス導入口３と、ガスＧが排出されるガス排出口２４と、ガス導入口３とガス排出口２４とを連通するガス流路Ｐと、ガス導入口３を介してガス流路ＰにガスＧを吸引するガス吸引手段２３と、ガス流路Ｐに吸引されたガスＧを検知するガス検知素子２２と、ガス流路Ｐの閉塞状態を検知する閉塞検知手段２５と、閉塞検知手段２５が閉塞状態を検知するとガス吸引手段２３による吸引動作を停止させる制御部２６とを備える吸引式ガス検知器であって、ガス導入口３とは別にガス流路Ｐと外部とを連通する貫通部４を、ガス検知素子２２、ガス吸引手段２３、及び閉塞検知手段２５よりもガス流路Ｐの上流側に設けてある吸引式ガス検知器。 （もっと読む）

【課題】ガス種の判定ロジックを改良し、検知性能を維持しつつ低消費電力化を実現しようとするガス検知装置を提供する。
【解決手段】通常時にあっては干渉ガスまたは検知対象ガスの有無を検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれるか否かを判定し、さらに干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれる場合には干渉ガスを燃焼させる温度であってガス感知層が検知対象ガスのみを検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて検知対象ガスの有無または濃度を判定するガス検知装置とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、十分な機械的強度を備え、かつ、安定で、信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層上に形成されるガス感知層を備える薄膜ガスセンサであって、前記ガス感知層が、前記電気絶縁層上に形成される一対の感知電極層と、該一対の感知電極層の一部を覆うように、かつ、該一対の感知電極層の両方に渡って形成される感知層と、前記感知電極層及び該感知層を覆うように形成される選択燃焼層とを含み、前記選択燃焼層に含まれるバインダの粒径が、前記感知層を構成するＳｎＯ_２の粒径及び前記選択燃焼層を構成する金属酸化物の粒径よりも小さいことを特徴とする薄膜ガスセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】検知感度を低下させることなく、簡素な構造からなるガス検知素子を提供する。
【解決手段】被検知ガスの濃度に応じた検知信号を出力するガス検知素子５０は、絶縁基板１の一方の面に形成された検出電極２と、絶縁基板１の一方の面に検出電極２と離間して形成される加熱部３と、検出電極２と加熱部３とを含む絶縁基板１の一方の面を覆うように設けられる感応部４と、を備える。 （もっと読む）

【構成】
半導体チップの中空部に感ガス部を設けると共に、感ガス部に接続された複数のパッドを設ける。通気性のあるセラミックパッケージもしくはガラスパッケージの、半導体チップ側の面とその反対面とに配線を設けて、互いに接続する。パッケージのチップ側の面の配線に複数のパッドをフリップチップ接続する。
【効果】
ダイボンドもワイヤボンドも無しに、MEMS型ガスセンサをプリント基板へ組み付けることができる。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】衝撃や振動等によるダイヤフラム構造体上に設けられた層状部の剥離を抑制すると共に、生産性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム構造体３９Ｄ、４９Ｄと、ダイヤフラム構造体の絶縁層上に形成されたガス検知層を含む層状部３１、４１と、ガス検知層を介して互いに接続する一対の検知電極３６Ａ，３６Ｂ、４６Ａ，４６Ｂと、電極取出し辺３Ｐ、４Ｐに沿って設置されて検知電極に接続する一対の検知パッド３３、４３とを有するガス検出素子３、４と、検知パッドに接続する基板側パッド２３が表面に形成され、複数のガス検出素子が一列に並ぶよう実装された配線基板２とを備え、ガス検出素子の下面Ｒ１と配線基板の表面との間に介装される第１接着層６１，６２と、隣接するガス検出素子の下面Ｒ２同士を跨ぐように当該下面と配線基板の表面との間に介装される第２接着層６３とを備えるガスセンサ１０である。 （もっと読む）

【課題】酸化セリウムによるガスセンサにおける初期安定化状態を、測定対象ガスを用いることなく短時間で簡便に判定する方法を提供する。
【解決手段】感応部に酸化セリウムを含むガスセンサにおける前記感応部の初期化安定化状態を判定する方法であって、交流インピーダンス法を用い、交流電圧を印加しながら周波数を断続的に変化させて少なくとも２点の特定の周波数の測定で得られる実抵抗値を求め、特定の１点の周波数の実抵抗値を基準値とし、この基準値と他の周波数の実抵抗値の比または差を判定値とし、この判定値に基づいて前記感応部の初期安定化状態を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電池駆動型であって、感知薄膜にクラックが生じることなく信頼性が高く、消費電力が低減された薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】貫通孔を有する基板と、貫通孔を有する基板と、前記基板の第一の表面に接し、前記貫通孔の開口部を覆うように設けられた支持絶縁薄膜と、前記支持絶縁薄膜の反基板側表面上に設けられる薄膜ヒータと、支持絶縁薄膜およびヒータ層を覆うように設けられる層間絶縁膜と、さらに前記層間絶縁膜の上に形成された、金属電極とガス感知薄膜とを有し、前記金属電極とガス感知薄膜とが選択燃焼層で覆われた薄膜ガスセンサにおいて、前記ガス感知薄膜がグラフェン薄膜からなるものとする。 （もっと読む）

【課題】低い消費電力でメタン、ＣＯ並びに水素を選択的に検出することができるガス警報器およびガス検出方法を提供する。
【解決手段】薄膜ガスセンサが備えるヒータ層に所定の周期で間欠的に通電し、ガス検出層の抵抗値を計測してガス濃度を求めるに際し、清浄空気中におけるヒータ制御手段による通電加熱中、ガス検出層が第一の温度に到達したときにおけるガス検出層の第一基準抵抗値と、更にガス検出層の温度が上昇して第二の温度に到達したときにおけるガス検出層の第二基準抵抗値と、更にガス検出層の温度が上昇して略一定の第三の温度に到達したときにおけるガス検出層の第三基準抵抗値とをそれぞれ予め保持し、第一〜第三の抵抗値と第一〜第三基準抵抗値とを比較してガス種を判定する。 （もっと読む）

【課題】 通電により加熱された状態で検知対象ガスに感応するガス感応素子を有するガスセンサを具えてなるものにおいて、電源投入後、ガス濃度測定を行うことのできる状態を早期に得ることのできるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 前記ガスセンサを具えたガス検知器において、ガスセンサの起動時にゼロガスが導入されている状態において、センサ出力値が対数関数的に経時的に変化する特定の時間範囲内で選ばれた２つの測定時の各々においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値に基づいて、前記特定の時間範囲内におけるいずれかの測定時を出力補正対象測定時として当該出力補正対象測定時におけるセンサ出力値を予測して、これを補正用出力値として取得し、この補正用出力値に基づいて、前記出力補正対象測定時においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値を補正する機能を有する出力補正機構を具えてなる。 （もっと読む）

【課題】シロキサン被毒や水分吸着が生じている状態を判定することができながら、ＣＯガス等の検出対象ガスの濃度を適正に検出する。
【解決手段】高温状態と低温状態とに切り換えるように加熱部４の作動を制御して低温状態のガス検出部３の電気抵抗値に基づいて検出対象ガスを検出する制御部５と、ガス検出部３の電気抵抗値に基づいて、ガス検出部３の周囲が清浄空気であるか否かを判定する清浄空気判定処理を行い、その清浄空気判定処理にて清浄空気であると判定した場合に、高温状態におけるガス検出部３の電気抵抗値が正常範囲よりも低下していることを検出するとシロキサン被毒状態であると判定するシロキサン被毒判定処理、及び、高温状態におけるガス検出部３の電気抵抗値が正常範囲よりも増大していることを検出すると水分吸着状態であると判定する水分吸着判定処理の少なくとも一方を行う判定部１４を備えている。 （もっと読む）

例えば喘息、糖尿病、血中コレステロール、および肺ガンを含む様々な疾患および状態のための個人向けの携帯モニタリングデバイスを含む医学的診断用に、信頼性があり迅速でしかも廉価な呼気検出システム。ガスを検出するためのセンサーデバイス（１００）は、標的ガスの存在下で変化する電気抵抗を有するセンサー素子（１０９）；標的ガスの存在によりセンサー素子に電気的に連結し、そして測定値をデジタル信号に変換する読み出し回路；およびセンサー素子のベースライン抵抗の変動を補正するためのデジタルユニット（２０５）から読み出し回路へのフィードバックループ（２０３）を含む。 （もっと読む）

【課題】使用状況下での時間経過に伴いガス検出素子の特性変化（劣化）が生じる場合であっても、検出対象ガスのガス検出精度の低下を抑制するガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１５０は、劣化判定処理（Ｓ１４０）にてＤ素子３が劣化状態であると判定された場合には、ガス検知性能設定処理（Ｓ１５０）において、ガス検知判定処理（Ｓ１６０）でのガス検出感度を上げるための補正処理を行う。このようにしてガス検出感度（酸化性ガス検知閾値Ｔｄ）の補正処理を行うことで、Ｄ素子３が劣化して酸化性ガス検出時における電気的特性の正方向への変化量が減少した場合であっても、ガス検知判定処理（Ｓ１６０）での判定精度が低下するのを抑制できる。ガス検出装置１５０によれば、使用状況下での時間経過に伴い酸化性ガス用ガスセンサ素子３の特性変化（劣化）が生じる場合であっても、検出対象ガスの検出精度が低下するのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式ガスセンサの感応素子及び補償素子における温度上昇特性の差異によって生じる誤差電位差を小さくして、検出対象ガスの検出感度を向上できるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、吸着燃焼式ガスセンサ回路部１０、並びに、複数の比較回路部２０、を含むブリッジ回路２を備える。ブリッジ回路２には、複数の比較回路部２０のうち１つの比較回路部２０を増幅器６に接続する比較回路部切換器５０が設けられ、そして、吸着燃焼式ガスセンサ回路部１０が備える感応素子及び補償素子の温度が上昇する過渡期間において、所定の比較回路部切換情報に基づき、複数の比較回路部２０のうち、感応素子と補償素子との温度上昇特性の差異により生じるブリッジ回路２の誤差電位差が最も小さくなる比較回路部２０が増幅器６に接続されるように、比較回路部切換器５０を制御する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム部に生じる歪(熱による歪・割れによって生じた歪)を検出し、故障を自己診断するようにして、検出特性の変化により発生する事故の未然防止に寄与する薄膜ガスセンサを提供する。更にこのような薄膜ガスセンサを製造する薄膜ガスセンサの製造方法も併せて提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部の上に歪感知層８１を４個配置し、さらにホイートストンブリッジ回路を形成する。これにより、ピエゾ抵抗素子として機能する歪感知層８１によりダイヤフラム部の歪を抵抗値の変化として検出することが可能になる。また、歪感知層８１はガス感知層５３と同じ材料とし、歪感知層８１とガス感知層５３とを同時に形成するため工数低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、メタン及び水素に対する選択性が良く、かつ、十分なＣＯ濃度勾配をもつことにより、高い精度で検知対象を検知することができる半導体ガスセンサの間欠駆動方法を提供する。
【解決手段】ガス感知膜に吸着した雑ガスをクリーニングするために、センサをヒータにより高温状態（Ｈｉｇｈ）まで加熱し、該高温状態で保持し、ガスを検知し、一酸化炭素の濃度を求めるために、前記センサを第一の低温状態（Ｌｏｗ１）まで下げ、該第一の低温状態で保持し、一酸化炭素のみを更に前記ガス感知膜へ吸着させるために、前記センサを一旦オフ（Ｏｆｆ）にし、該オフ状態で保持し、一酸化炭素に対するメタン及び水素の選択性を測定するために、前記センサを第二の低温状態（Ｌｏｗ２）まで上げ、該第二の低温状態で保持することを特徴とする半導体ガスセンサの間欠駆動方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】警報器のセンサ回路２の出力電圧を増幅する低濃度側増幅回路３と高濃度側増幅回路４の異常を専用の回路を用いずに検出する。
【解決手段】マイコン１により低濃度側増幅回路３と高濃度側増幅回路４でガス濃度を測定する。センサ回路２の出力電圧により、低濃度側増幅回路３で第１の計測ガス濃度を求め、高濃度側増幅回路４で第２の計測ガス濃度を求める。第１の計測ガス濃度と第２の計測ガス濃度が等しいか否かを判定する。両者の計測ガス濃度が等しくなければ、低濃度側増幅回路３または高濃度側増幅回路４の故障と判断し、表示部５に故障表示を行う。高濃度側の第２の計測ガス濃度が切替えポイント濃度未満で、低濃度側の第１の計測ガス濃度が切替えポイント以上の場合、警報を発生する。 （もっと読む）