【課題】 湿度センサを用いることなく、測定雰囲気の湿度に応じたガス感度補正を容易に行うことのできる熱線型半導体式センサの感度補正方法、および、熱線型半導体式センサを具え、信頼性の高いガス検知を効率よく行うことのできるポータブル型ガス検知器を提供すること。
【解決手段】 測定雰囲気の湿度に応じた熱線型半導体式ガスセンサのガス感度の、基準湿度における当該熱線型半導体式ガスセンサの基準ガス感度に対するガス感度比の、測定雰囲気の湿度と基準湿度との湿度差による変動量と、測定雰囲気において検知対象ガスが含まれないガスが導入されることにより取得されるゼロ出力値と基準湿度のゼロ校正用ガスによるゼロ校正値との差で示されるゼロ出力変動量とが比例関係にあることを利用して、熱線型半導体式ガスセンサの基準ガス感度を補正する。ポータブル型ガス検知器は、上記ガス感度補正を行うガス感度補正機構を有する。 （もっと読む）

【課題】予防保全により、信頼性を維持することが可能なガス検知技術を提供する。
【解決手段】フィルタパッケージ１１０に収容されたセンサ素子１０のヒータ層３への間欠的な通電による加熱および感知層７への通電による電気抵抗値Ｒの検出によって雰囲気のガスの濃度を検出するガス検知装置１００において、検出対象のガス以外の干渉ガスの有無を判別するガス種判定手段２３を設け、干渉ガスが検出された場合には、検出対象ガスの検出のための閾値Ｒ２よりも大きな閾値Ｒ１を電気抵抗値Ｒが下回った場合にフィルタパッケージ１１０の劣化と判断して警報を出力することで、ガス検知装置１００の予防保全を実現する。 （もっと読む）

【課題】フィルター部材に目詰まりが生じ難く、メンテナンスが容易な吸引式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】ガスＧが導入されるガス導入口３と、ガスＧが排出されるガス排出口と、ガス導入口３とガス排出口とを連通するガス流路Ｐと、ガス導入口３を介してガス流路Ｐにガスを吸引するガス吸引手段と、ガス流路Ｐに吸引されたガスＧを検知するガス検知素子と、ガス吸引手段及びガス検知素子よりもガス流路の上流側に設けてあるフィルター部材１４とを備える吸引式ガス検知器であって、ガス導入口３とフィルター部材１４との間のガス流路Ｐに、ガスＧの流速を減速させるトラップ部材Ｔを設けてある吸引式ガス検知器。 （もっと読む）

【課題】作業者の手などが誤ってガス導入口に触れてこれを塞いだとしても、ガス検知が中断されることのない吸引式ガス検知器を提供すること。
【解決手段】ガスＧが導入されるガス導入口３と、ガスＧが排出されるガス排出口２４と、ガス導入口３とガス排出口２４とを連通するガス流路Ｐと、ガス導入口３を介してガス流路ＰにガスＧを吸引するガス吸引手段２３と、ガス流路Ｐに吸引されたガスＧを検知するガス検知素子２２と、ガス流路Ｐの閉塞状態を検知する閉塞検知手段２５と、閉塞検知手段２５が閉塞状態を検知するとガス吸引手段２３による吸引動作を停止させる制御部２６とを備える吸引式ガス検知器であって、ガス導入口３とは別にガス流路Ｐと外部とを連通する貫通部４を、ガス検知素子２２、ガス吸引手段２３、及び閉塞検知手段２５よりもガス流路Ｐの上流側に設けてある吸引式ガス検知器。 （もっと読む）

【課題】検出部に半導体ガスセンサを使用するとともにキャリアガスに大気を使用して試料ガス中の可燃性ガス成分を正確に測定することが可能な可燃性ガス測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】キャリアガスに搬送される試料ガス中の可燃性ガス成分を、検出部に半導体ガスセンサを用いたガスクロマトグラフによって測定する方法において、大気吸引部２１から大気を取り込んで触媒筒２３での金属触媒との触媒反応により大気中の可燃性ガスを燃焼させた後、燃焼によって生じた成分及び大気中に含まれる水分及び二酸化炭素を精製器２４で除去して精製大気とし、この精製大気をガスクロマトグラフのキャリアガスとして用いる。 （もっと読む）

【構成】
シリコン基板表面の絶縁膜にヒータを備えるガス検知部が設けられ、ガス検知部の周囲で絶縁膜の底部に空洞が設けられ、シリコン基板がハウジングに収容されている。ハウジングに有機溶媒の吸着剤と有機溶媒の酸化触媒とが、ハウジングの外側から内側へ吸着剤、酸化触媒の順に設けられ、被検出雰囲気を吸着剤と酸化触媒とを介してガス検知部へ導くようにされている。
【効果】 有機溶媒による被毒を防止できる。 （もっと読む）

【構成】 MEMSガスセンサを用いてガスを検出する。ガスセンサのヒータへの電力を、低レベルと、検出対象ガスの検出に適した高レベルと、０レベルとの間で変化させることにより、低レベルで被毒ガスを蒸発もしくは酸化し、高レベルで検出対象ガスを検出する。
【効果】 MEMSガスセンサの被毒を防止する。 （もっと読む）

【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ガス種の判定ロジックを改良し、検知性能を維持しつつ低消費電力化を実現しようとするガス検知装置を提供する。
【解決手段】通常時にあっては干渉ガスまたは検知対象ガスの有無を検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれるか否かを判定し、さらに干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれる場合には干渉ガスを燃焼させる温度であってガス感知層が検知対象ガスのみを検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて検知対象ガスの有無または濃度を判定するガス検知装置とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、十分な機械的強度を備え、かつ、安定で、信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層上に形成されるガス感知層を備える薄膜ガスセンサであって、前記ガス感知層が、前記電気絶縁層上に形成される一対の感知電極層と、該一対の感知電極層の一部を覆うように、かつ、該一対の感知電極層の両方に渡って形成される感知層と、前記感知電極層及び該感知層を覆うように形成される選択燃焼層とを含み、前記選択燃焼層に含まれるバインダの粒径が、前記感知層を構成するＳｎＯ_２の粒径及び前記選択燃焼層を構成する金属酸化物の粒径よりも小さいことを特徴とする薄膜ガスセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】有機シリコーンガスに対する耐被毒性能が高く、ガスセンサの検出感度の回復時間をより短縮化させ、さらに被覆層におけるひび割れや剥離が生じ難いガス検知素子を提供すること。
【解決手段】検出電極２と、金属酸化物半導体を含むガス感応部４と、ガス感応部４を加熱する加熱部３とを備えるガス検知素子であって、ガス感応部４の外周面に、無定形の酸化アルミニウムを含む被覆層５を設けてあるガス検知素子。 （もっと読む）

【課題】検知感度を低下させることなく、簡素な構造からなるガス検知素子を提供する。
【解決手段】被検知ガスの濃度に応じた検知信号を出力するガス検知素子５０は、絶縁基板１の一方の面に形成された検出電極２と、絶縁基板１の一方の面に検出電極２と離間して形成される加熱部３と、検出電極２と加熱部３とを含む絶縁基板１の一方の面を覆うように設けられる感応部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検出対象ガスの有無及び濃度の検出を行うに、非検出対象ガスの影響を排除し、消費電力の低減を図ることができながらも、ガス漏れ発生から警報を発するまでの時間を短くして検知応答規定時間内に警報を発することが可能な技術を提供する。
【解決手段】ガス検知装置であって、筐体の外部に存在する検出対象ガスが筐体の内部に設けられたセンサ素子に到達してガス検知層にて検出対象ガスが警報すべき濃度以上存在することの検出が可能となる下限時間の検知応答時間と、筐体の外部に存在する検出対象ガスを筐体内のガス検知層にて検出することが必要とされる時間の検知応答規定時間とに関して、ガス種を判定するガス種判定手段による判定結果に基づいて、検出タイミングが、検知応答時間以上かつ検知応答規定時間よりも短く設定された時間帯内となるように、通常周期を変更する通電周期変更手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】電池駆動型であって、感知薄膜にクラックが生じることなく信頼性が高く、消費電力が低減された薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】貫通孔を有する基板と、貫通孔を有する基板と、前記基板の第一の表面に接し、前記貫通孔の開口部を覆うように設けられた支持絶縁薄膜と、前記支持絶縁薄膜の反基板側表面上に設けられる薄膜ヒータと、支持絶縁薄膜およびヒータ層を覆うように設けられる層間絶縁膜と、さらに前記層間絶縁膜の上に形成された、金属電極とガス感知薄膜とを有し、前記金属電極とガス感知薄膜とが選択燃焼層で覆われた薄膜ガスセンサにおいて、前記ガス感知薄膜がグラフェン薄膜からなるものとする。 （もっと読む）

【課題】低い消費電力でメタン、ＣＯ並びに水素を選択的に検出することができるガス警報器およびガス検出方法を提供する。
【解決手段】薄膜ガスセンサが備えるヒータ層に所定の周期で間欠的に通電し、ガス検出層の抵抗値を計測してガス濃度を求めるに際し、清浄空気中におけるヒータ制御手段による通電加熱中、ガス検出層が第一の温度に到達したときにおけるガス検出層の第一基準抵抗値と、更にガス検出層の温度が上昇して第二の温度に到達したときにおけるガス検出層の第二基準抵抗値と、更にガス検出層の温度が上昇して略一定の第三の温度に到達したときにおけるガス検出層の第三基準抵抗値とをそれぞれ予め保持し、第一〜第三の抵抗値と第一〜第三基準抵抗値とを比較してガス種を判定する。 （もっと読む）

【課題】 通電により加熱された状態で検知対象ガスに感応するガス感応素子を有するガスセンサを具えてなるものにおいて、電源投入後、ガス濃度測定を行うことのできる状態を早期に得ることのできるガス検知器を提供すること。
【解決手段】 前記ガスセンサを具えたガス検知器において、ガスセンサの起動時にゼロガスが導入されている状態において、センサ出力値が対数関数的に経時的に変化する特定の時間範囲内で選ばれた２つの測定時の各々においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値に基づいて、前記特定の時間範囲内におけるいずれかの測定時を出力補正対象測定時として当該出力補正対象測定時におけるセンサ出力値を予測して、これを補正用出力値として取得し、この補正用出力値に基づいて、前記出力補正対象測定時においてガスセンサより実際に取得されるセンサ出力値を補正する機能を有する出力補正機構を具えてなる。 （もっと読む）

本発明は、気体環境中の少なくとも一種の化学的分析物の蒸気を検出する方法であって、繊維ベースの電気化学的センサーを準備する工程、但し、前記繊維ベースのセンサーは、少なくとも一種の複合体繊維を含み、前記複合体繊維は、第一及び第二の連続ポリマー相を含む共連続相ブレンドを含み、第一ポリマー相は、使用時に検出されるべき化学的分析物の蒸気に対して感受性であり、前記第一ポリマー相は、パーコレーション閾値より上の濃度のカーボンナノチューブの分散体を含み、化学的分析物は、前記第一ポリマー相中に溶解可能である；繊維ベースのセンサーの初期導電率を測定する工程；前記繊維ベースのセンサーを少なくとも一種の化学的分析物と接触させて、繊維の導電率の変化を誘導する工程；前記繊維ベースのセンサーの生じた導電率の変化を測定して、検出されるべき化学的分析物の濃度と前記変化を相関させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】吸着燃焼式ガスセンサの感応素子及び補償素子における温度上昇特性の差異によって生じる誤差電位差を小さくして、検出対象ガスの検出感度を向上できるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１は、吸着燃焼式ガスセンサ回路部１０、並びに、複数の比較回路部２０、を含むブリッジ回路２を備える。ブリッジ回路２には、複数の比較回路部２０のうち１つの比較回路部２０を増幅器６に接続する比較回路部切換器５０が設けられ、そして、吸着燃焼式ガスセンサ回路部１０が備える感応素子及び補償素子の温度が上昇する過渡期間において、所定の比較回路部切換情報に基づき、複数の比較回路部２０のうち、感応素子と補償素子との温度上昇特性の差異により生じるブリッジ回路２の誤差電位差が最も小さくなる比較回路部２０が増幅器６に接続されるように、比較回路部切換器５０を制御する。 （もっと読む）

【課題】消費電力の増加を極力抑え、ガス感知層が温度により影響される事態を排するとともに目的ガスに感応するようにして、周囲環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】ガス感知層が目的ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して目的ガス濃度を算出し、また、ガス感知層が一酸化炭素ガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動して温度が安定してからガス感知層の感知層抵抗の値を算出して一酸化炭素ガス濃度を算出し、温度による影響を排した薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム部に生じる歪(熱による歪・割れによって生じた歪)を検出し、故障を自己診断するようにして、検出特性の変化により発生する事故の未然防止に寄与する薄膜ガスセンサを提供する。更にこのような薄膜ガスセンサを製造する薄膜ガスセンサの製造方法も併せて提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部の上に歪感知層８１を４個配置し、さらにホイートストンブリッジ回路を形成する。これにより、ピエゾ抵抗素子として機能する歪感知層８１によりダイヤフラム部の歪を抵抗値の変化として検出することが可能になる。また、歪感知層８１はガス感知層５３と同じ材料とし、歪感知層８１とガス感知層５３とを同時に形成するため工数低減が可能となる。 （もっと読む）