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Fターム[2G046BA01]の内容

流体の吸着、反応による材料の調査、分析 (10,319) | 感ガス体の構造 (1,161) | 膜状のもの (405)

Fターム[2G046BA01]に分類される特許

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【構成】
ガスセンサのハウジングは、センサ本体を収容している第1の凹部と、周囲のガスから妨害ガスを除去するフィルタを収容している第2の凹部と、第1の凹部と第2の凹部との間のガスの流路とを備えている。第2の凹部は第1の凹部の側方でハウジングの同じ面に設けられている。
【効果】 センサ本体のハウジングにフィルタも収容でき、かつガスセンサをコンパクトにできる。 (もっと読む)


【課題】苛酷な環境条件下であっても計測精度の良い湿度検出装置を提供することにある。
【解決手段】電子回路基板1と、前記電子回路基板の一方の面に実装された湿度検出素子2を有し、前記湿度検出素子の全体と前記電子回路基板の一部を空気に晒して空気中の湿度を検出する湿度検出装置において、前記湿度検出素子が実装されている面と同一面に複数の加熱抵抗体3が実装され、前記加熱抵抗体は、前記湿度検出素子の周囲に設けた。 (もっと読む)


【構成】 ガスセンサは、妨害ガスを除去するフィルタと、フィルタで処理済みのガス中の検出対象のガス成分を検出するセンサ本体とを備えている。フィルタは、ゼオライトと活性アルミナの質量比で9:1〜1:4の混合物である。
【効果】 このフィルタは、シリコーンガスの除去能力が高く、炭化水素等を吸着しない。 (もっと読む)


【課題】予防保全により、信頼性を維持することが可能なガス検知技術を提供する。
【解決手段】フィルタパッケージ110に収容されたセンサ素子10のヒータ層3への間欠的な通電による加熱および感知層7への通電による電気抵抗値Rの検出によって雰囲気のガスの濃度を検出するガス検知装置100において、検出対象のガス以外の干渉ガスの有無を判別するガス種判定手段23を設け、干渉ガスが検出された場合には、検出対象ガスの検出のための閾値R2よりも大きな閾値R1を電気抵抗値Rが下回った場合にフィルタパッケージ110の劣化と判断して警報を出力することで、ガス検知装置100の予防保全を実現する。 (もっと読む)


【課題】ガス感応膜を挟む電極間のギャップを容易に非常に小さく形成することができるとともに、ガス感応膜が外気と接触できる面積及び電極がガス感応膜に対して接触できる面積を両方とも大きくとることができ、製造が容易でセンサ感度の優れた半導体ガスセンサを提供する。
【解決手段】電極層1、3、5、と、金属酸化物半導体からなるガス感応膜層2、4とが交互に複数回積層された積層体9を有する半導体ガスセンサであって、少なくとも1つのガス感応膜層4の両面を挟む2つの電極層3、5について、当該ガス感応膜層4の各面の略全域にわたって、金属からなる電極部31、51と、厚さ方向に貫通する空隙部32、52とを交互に形成した。 (もっと読む)


【課題】簡便な構造で耐久性が高く、しかも高い検出感度と良好な応答時間を有し、水素ガス選択性に優れた水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】水素ガスセンサは、絶縁基板上に内径500nm以下の微細孔又は外径1000nm以下の微細筒が形成されたチタン酸化物を主成分とするセンサ素子を有し、水素濃度に依存してセンサ素子の電気抵抗が変化する。センサ素子は質量百分率で0.01%以上のパラジウムあるいは白金を含むチタン合金の陽極酸化皮膜であることが好ましい。水素ガスセンサは、絶縁性基板上にチタン薄膜あるいはチタン合金薄膜を作製した後、チタン薄膜あるいはチタン合金薄膜を陽極酸化することで生成される。 (もっと読む)


【課題】半導体式薄膜ガスセンサにおいて、ガス検知の性能を十分に発揮させることである。
【解決手段】薄膜ガスセンサ10は、Si基板の中央部に熱絶縁された薄膜メンブレン構造体と、薄膜メンブレン構造体上に形成される薄膜ヒータ30と、感ガス膜70と、ヒータ電極用中間膜層42,43と薄膜ヒータ電極40,41とを含む薄膜ヒータ電極部と、感ガス膜電極用中間膜層52,53と感ガス膜電極50,51を含む感ガス膜電極部と、薄膜ヒータ電極40,41を覆う酸化防止保護膜60と、酸化防止保護膜60と薄膜ヒータ電極40,41との間にTiNを含む保護膜用中間膜層80,81を有して構成される。ここで、ヒータ電極用中間膜層42,43はTiNまたはTaNを含み、感ガス膜電極用中間膜層52,53は、TiO2またはTa25またはAl23の少なくとも1つを含む。 (もっと読む)


【課題】構成や製造工程を簡素化しつつ保護ゲル部が感湿膜に付着するのをより効果的に抑制することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】湿度センサ10は、基板20の一面20aにおいて対向配置された一対の検出電極31a,31bと感湿膜36を有する湿度検出部30と、一面20aにおいて湿度検出部30と離れて形成され、ボンディングワイヤ115が接続された状態で保護ゲル50に覆われるパッド40と、一面20aにおいて湿度検出部30とパッド40の間に形成され、パッド40側から湿度検出部30側への保護ゲル50の流動を抑制するダム部60と、を備える。ダム部60は、検出電極31a,31bと同一材料を用いて一面20aに形成されたダミー配線61と、感湿膜36と同一材料を用いて形成され、ダミー配線61の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜62を有する。 (もっと読む)


【構成】 MEMSガスセンサを用いてガスを検出する。ガスセンサのヒータへの電力を、低レベルと、検出対象ガスの検出に適した高レベルと、0レベルとの間で変化させることにより、低レベルで被毒ガスを蒸発もしくは酸化し、高レベルで検出対象ガスを検出する。
【効果】 MEMSガスセンサの被毒を防止する。 (もっと読む)


【構成】
シリコン基板表面の絶縁膜にヒータを備えるガス検知部が設けられ、ガス検知部の周囲で絶縁膜の底部に空洞が設けられ、シリコン基板がハウジングに収容されている。ハウジングに有機溶媒の吸着剤と有機溶媒の酸化触媒とが、ハウジングの外側から内側へ吸着剤、酸化触媒の順に設けられ、被検出雰囲気を吸着剤と酸化触媒とを介してガス検知部へ導くようにされている。
【効果】 有機溶媒による被毒を防止できる。 (もっと読む)


【課題】検出電極の貴金属層の縁端よりも外向きに突出する接着層の突出部を設けて貴金属層の反りを防ぐことができるガスセンサを提供する。
【解決手段】検出電極6は、基体15の主面17に形成されるチタン層62と、チタン層62の上面に形成されるプラチナ層61とからなる2層構造を有し、櫛歯形状のパターンに形成される。基体15の厚み方向に沿って見たときに、検出電極6は、プラチナ層61の幅方向Tにおける両側の縁端63よりも外向きにチタン層62が突出してなる突出部65を、少なくとも1カ所以上に有する。突出部65がプラチナ層61の反りを防止するクサビとして機能するため、ガス検知層の断層割れを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】湿式処理によって成膜した酸化金属膜を備え、光照射、水素ガスおよび気圧を測定可能であるセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかるセンサは、3つ以上の反応基を有する付加重合性化合物と、酸性基を有する付加重合性化合物と、親水性官能基を有する付加重合化合物と、を含有する下地組成物を用いて有機膜を形成する有機膜形成工程と、上記酸性基を金属(M1)塩にする金属塩生成工程と、金属(M2)イオン水溶液で処理することによって、上記酸性基の金属(M1)塩を、金属(M2)塩とする金属固定工程と、上記金属(M2)イオンを還元して上記有機膜表面に金属膜を形成する還元工程と、上記金属膜を酸化する酸化工程と、を含む方法によって製造された酸化金属膜を備え、光、水素ガスおよび気圧を検出可能である。 (もっと読む)


【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 (もっと読む)


【課題】ガス種の判定ロジックを改良し、検知性能を維持しつつ低消費電力化を実現しようとするガス検知装置を提供する。
【解決手段】通常時にあっては干渉ガスまたは検知対象ガスの有無を検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれるか否かを判定し、さらに干渉ガスまたは検知対象ガスが含まれる場合には干渉ガスを燃焼させる温度であってガス感知層が検知対象ガスのみを検知する温度となるように加熱してガス感知層の電気抵抗特性に基づいて検知対象ガスの有無または濃度を判定するガス検知装置とした。 (もっと読む)


【課題】本発明は、十分な機械的強度を備え、かつ、安定で、信頼性の高い薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】電気絶縁層上に形成されるガス感知層を備える薄膜ガスセンサであって、前記ガス感知層が、前記電気絶縁層上に形成される一対の感知電極層と、該一対の感知電極層の一部を覆うように、かつ、該一対の感知電極層の両方に渡って形成される感知層と、前記感知電極層及び該感知層を覆うように形成される選択燃焼層とを含み、前記選択燃焼層に含まれるバインダの粒径が、前記感知層を構成するSnOの粒径及び前記選択燃焼層を構成する金属酸化物の粒径よりも小さいことを特徴とする薄膜ガスセンサを提供する。 (もっと読む)


【課題】高感度に分解ガスを検出できるCNTガスセンサを、GISの設備診断におけるオフライン検査に利用する。
【解決手段】絶縁ガスが封入された密閉容器31と、絶縁ガスを通気する通気口32と、通気口32に接続し絶縁ガスを導通する導管33と、導管33の中途部に配設され絶縁ガスの導通を調節するバルブ34とを備えるガス絶縁開閉装置30の設備診断を行う分解ガス検出装置であって、導管33端部の開口部から供給される絶縁ガスが、真空又は負圧状態で導入される気密性容器20と、気密性容器20内に配設され、不平等電界を発生する縁部が設けられた一対のマイクロ電極と不平等電界にしたがったカーボンナノチューブ(CNT)の架橋構造とを有し、CNTが絶縁ガスの分解により発生する分解ガスを吸着し、吸着により生じるマイクロ電極間の電気的特性の変化に基づいて分解ガスを検出するCNTガスセンサ1とを備える。 (もっと読む)


【課題】導電性高分子膜を用いた小型かつ安価なガスセンサであって、特に、湿度変化に対する安定性が高く、アンモニアやアルコール等のにおい成分の選択的な検出が可能で、車載用として好適なガスセンサを提供する。
【解決手段】基板10上に設けられた一対の電極12a,12bおよび13a,13bの間に、導電性高分子膜20が形成されてなり、導電性高分子膜20にガス成分が付着した際の抵抗値変化を測定して、該ガス成分の濃度を検出するガスセンサであって、導電性高分子膜20が、ガス成分の付着により抵抗値が変化するアニオン性高分子感ガス膜32と、アニオン性高分子感ガス膜32の電荷を打ち消すカチオン性高分子膜31との、第1の交互積層膜41を有してなるガスセンサ100とする。 (もっと読む)


【課題】ダイアフラム構造のガスセンサにおいて、大きな応力が加わった場合でも、ガス感応膜を覆う外層膜等の剥離が発生し難いガスセンサを提供すること。
【解決手段】ダイアフラム上に特定ガスの検知を行うガス検知部5を備えたガスセンサ1において、ガス検知部5は、特定ガスの検知を行うガス感応膜47とガス感応膜47の表面及び周囲を覆う外層膜49とからなる2重構造を有する。そして、ガス検知部5を基板3に垂直に破断した破断面において、多重領域における外層膜50の外側表面の基板表面からの高さの平均値をAとし、変曲点のうち基板表面からの高さの高い方をBとした場合に、平均値Aと変曲点の高さBとの比B/Aを、0.00<B/A≦0.70の範囲とする。これにより、ダイアフラム構造のガスセンサ1において、大きな応力が加わった場合でも、ガス感応膜を覆う外層膜等の剥離が発生し難い。 (もっと読む)


【課題】検知感度を低下させることなく、簡素な構造からなるガス検知素子を提供する。
【解決手段】被検知ガスの濃度に応じた検知信号を出力するガス検知素子50は、絶縁基板1の一方の面に形成された検出電極2と、絶縁基板1の一方の面に検出電極2と離間して形成される加熱部3と、検出電極2と加熱部3とを含む絶縁基板1の一方の面を覆うように設けられる感応部4と、を備える。 (もっと読む)


【構成】
半導体チップの中空部に感ガス部を設けると共に、感ガス部に接続された複数のパッドを設ける。通気性のあるセラミックパッケージもしくはガラスパッケージの、半導体チップ側の面とその反対面とに配線を設けて、互いに接続する。パッケージのチップ側の面の配線に複数のパッドをフリップチップ接続する。
【効果】
ダイボンドもワイヤボンドも無しに、MEMS型ガスセンサをプリント基板へ組み付けることができる。 (もっと読む)


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